台车传送系统和制造物品的方法

    公开(公告)号:CN106170422A

    公开(公告)日:2016-11-30

    申请号:CN201580019164.1

    申请日:2015-04-14

    Inventor: 山本武

    CPC classification number: B65G43/00 B60L13/03 B65G37/00 B65G54/02 G05B19/4189

    Abstract: 一种台车传送系统,包含:传送路径,该传送路径由多个传送模块形成;多个低级控制器,每个低级控制器被配置为进行所述多个传送模块之中的被覆盖的传送模块上的台车的驱动控制;以及高级控制器,该高级控制器被配置为控制所述多个低级控制器,其中,所述多个低级控制器各自预先从所述高级控制器接收用于所述传送路径上的台车的驱动指令,并且当分别接收到在相同的定时同时从所述高级控制器传输的一组传送指令时,所述多个低级控制器各自以进入被覆盖的传送模块的次序将所述驱动指令施加到存在于所述被覆盖的传送模块上的台车和要进入所述被覆盖的传送模块的台车中的一个,以由此进行台车的驱动控制。

    输送系统
    33.
    发明授权

    公开(公告)号:CN113258746B

    公开(公告)日:2024-12-31

    申请号:CN202110154441.7

    申请日:2021-02-04

    Inventor: 山本武

    Abstract: 一种输送系统包括:动子,所述动子能够在输送方向上移动;定子,所述定子具有沿所述输送方向布置的多个线圈,并利用施加有电流的所述多个线圈向所述动子施加力;获取单元,所述获取单元获取沿所述输送方向移动的所述动子的位置和姿态;以及控制单元,所述控制单元确定施加至所述多个线圈的电流值并基于所述动子的位置和姿态来控制所述力。

    传送系统、控制方法、处理系统以及物品的制造方法

    公开(公告)号:CN110471464B

    公开(公告)日:2023-12-12

    申请号:CN201910386546.8

    申请日:2019-05-10

    Abstract: 本发明公开了传送系统、控制方法、处理系统以及物品的制造方法。实施例包括:多个传送模块,所述多个传送模块形成传送路径,台车在所述传送路径上行进;以及多个控制单元,每个控制单元被提供给所述多个传送模块中的对应的一个传送模块并且被配置为根据预先存储的驱动条件和控制开始定时执行所述台车的位置控制,并且所述多个控制单元中与第一传送模块对应的一个控制单元通过使用所述台车进入所述第一传送模块的进入定时与所述控制开始定时之间的差来校正所述驱动条件,所述第一传送模块是所述多个传送模块中的一个传送模块。

    成膜设备、成膜方法和制造物品的方法

    公开(公告)号:CN115679253A

    公开(公告)日:2023-02-03

    申请号:CN202210874546.4

    申请日:2022-07-25

    Inventor: 山本武

    Abstract: 本发明涉及成膜设备、成膜方法和制造物品的方法。在被构造成经由掩模在基板上形成成膜材料的成膜设备中,基板保持部件保持基板,掩模保持部件保持掩模以使得掩模与保持在基板保持部件上的基板相对,磁力产生部件产生磁力以使保持在掩模保持部件上的掩模朝保持在基板保持部件上的基板弯曲成凸形,并且控制部件控制基板保持部件和磁力产生部件。控制部件控制磁力产生部件以使得掩模以第一曲率弯曲,并且控制基板保持部件以使得在掩模保持以第一曲率弯曲的状态下基板更靠近掩模并与掩模接触。

    运输系统、加工系统和物品制造方法

    公开(公告)号:CN109720789B

    公开(公告)日:2022-09-02

    申请号:CN201811256305.3

    申请日:2018-10-26

    Abstract: 一种运输系统,其使沿固定部分在运输方向上移动的移动部分移动同时通过标尺和传感器检测移动部分的位置,在运输系统中,导块安装在移动部分的第一部分的第二表面上,导轨安装在固定部分的第一表面上,标尺安装在移动部分的第一部分的跨导块的相对侧上的一端,在面向所述标尺的位置处具有检测单元的传感器安装在所述固定部分中。还公开了具有该运输系统的加工系统和用该加工系统制造物品的方法。

    输送系统以及输送系统的控制方法

    公开(公告)号:CN114435965A

    公开(公告)日:2022-05-06

    申请号:CN202111244233.2

    申请日:2021-10-26

    Abstract: 本发明涉及一种输送系统以及该输送系统的控制方法。该输送系统包括:具有第一磁力单元的定子;具有第二磁力单元的动子;和控制单元。所述控制单元控制作用在所述第一磁力单元和所述第二磁力单元之间的磁力,以沿第一方向输送所述动子。所述定子具有包括多个第一管控构件的第一管控构件排和包括多个第二管控构件的第二管控构件排,所述动子在与所述第一方向交叉的第二方向上设置在所述第一管控构件排与所述第二管控构件排之间。当所述动子接触所述第一管控构件排时所述控制单元执行第一处理,即,向所述动子施加旋转力,使得所述第一管控构件排中的一个所述第一管控构件用作支点。

    输送系统、其控制方法、处理系统以及物品的制造方法

    公开(公告)号:CN113562425A

    公开(公告)日:2021-10-29

    申请号:CN202111078977.1

    申请日:2018-09-25

    Abstract: 本发明提供输送系统、其控制方法、处理系统以及物品的制造方法。一种输送系统包括:第一输送模块,滑架在第一输送模块上沿第一方向移动;第二输送模块,其被构造为能够向用于连接到第一输送模块的位置移动,并且在第二输送模块上,滑架能够向第一输送模块移动和从第一输送模块移动;位置检测单元,其检测第二输送模块在移动方向上的位置,并且输出位置信息;以及控制单元,其控制滑架在第一输送模块上的移动以及第二输送模块沿与第一方向相交的第二方向的移动,其中,基于从位置检测单元输出的位置信息,控制单元对第二输送模块连接到第一输送模块的位置进行校正。

    输送装置和制造物品的方法

    公开(公告)号:CN113315336A

    公开(公告)日:2021-08-27

    申请号:CN202110147218.X

    申请日:2021-02-03

    Abstract: 本公开涉及一种输送装置,其包括定子和动子,所述定子包括沿着第一方向布置的多个线圈。所述动子沿着所述多个线圈移动,并且包括第一磁体组和第二磁体组,所述第一磁体组包括沿着所述第一方向布置以面向所述多个线圈的多个第一磁体,所述第二磁体组包括沿着与所述第一方向交叉的第二方向布置以面向所述多个线圈的多个第二磁体。所述多个线圈中的至少一个包括磁芯、围绕所述磁芯卷绕的绕组部分、以及磁轭。所述磁轭与所述绕组部分的沿着所述第一方向的部分的外周邻接并且在所述第一方向上延伸。本公开还涉及一种制造物品的方法。

    传输系统、加工系统、以及传输系统的控制方法

    公开(公告)号:CN113291733A

    公开(公告)日:2021-08-24

    申请号:CN202110787359.8

    申请日:2018-05-15

    Inventor: 山本武

    Abstract: 本发明涉及一种传输系统,其包括:多个线圈;以及滑架,所述滑架具有磁体并且能够根据磁体承受的来自多个线圈的电磁力而沿着多个线圈在第一方向上移动,并且所述滑架具有可移动机构,所述可移动机构被设置成能够与所述磁体互锁并且由所述磁体在与所述第一方向交叉的第二方向上承受的来自所述多个线圈的电磁力驱动。本发明还涉及一种加工系统、一种通过使用加工系统制造物品的制造方法、以及一种传输系统的控制方法。

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