半导体基片及其制备方法
    37.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1139969C

    公开(公告)日:2004-02-25

    申请号:CN98109689.1

    申请日:1998-03-26

    CPC classification number: H01L21/2007

    Abstract: 提供一种制备高质量的SOI晶片且具有极好的可控性和生产率、经济的方法、以及用该方法制备的晶片。在利用键合晶片制备基片的方法中,相互键合第一基片部件和第二基片部件,然后在形成于第一基片部件主表面的第一层和第二层的界面分离第二基片部件与第一基片部件,由此第二层转移到第二基片部件。在分离过程中,通过改变多孔Si层的孔隙率的方法、使多孔Si的孔聚集形成容易分离面的方法、在界面进行离子注入的方法、或利用异质外延界面的方法来确保分离位置在第一第二层的界面。

    半导体基片的制作方法
    40.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1099698C

    公开(公告)日:2003-01-22

    申请号:CN97105478.9

    申请日:1992-02-15

    Abstract: 本发明是关于多孔硅腐蚀液,使用该腐蚀液的腐蚀方法以及使用该腐蚀液制作半导体基片的方法,其优点在于,提供不给半导体工艺带来不良影响、不腐蚀非多孔硅、并能高效率、均匀地对多孔硅进行化学腐蚀的腐蚀液,该腐蚀液可以是氢氟酸;制作半导体基片的制造方法包括如下工序:形成具有非多孔硅单晶层和多孔硅层的衬底,将有绝缘性材料表面的衬底接合在该单晶层的表面上,用浸入氢氟酸的方法腐蚀除去多孔硅层。

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