光电转换装置和成像系统
    32.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104253138B

    公开(公告)日:2017-04-12

    申请号:CN201410302220.X

    申请日:2014-06-27

    Abstract: 本发明涉及光电转换装置和成像系统。一种光电转换装置包括:构造第一光电转换元件的第一导电类型的第一半导体区;构造第二光电转换元件的第一导电类型的第二半导体区;第一导电类型的第三半导体区;第一导电类型的第四半导体区;协同构造第一传输晶体管的第一栅电极;以及构造第二传输晶体管的第二栅电极。在半导体基底表面的平面图中在第一栅电极朝向第一半导体区的侧边的位置处,第一栅电极朝向第一半导体区的侧边的长度比有源区的长度短,并且第一栅电极朝向第一半导体区的侧边的长度比第一半导体区的长度长。

    电子器件的制造方法
    35.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1093982C

    公开(公告)日:2002-11-06

    申请号:CN97121182.5

    申请日:1997-10-24

    Inventor: 进藤寿 冲田彰

    Abstract: 提供一种用于制造在衬底上具有氮化硅膜的电子器件的工艺,包括下述步骤:分别在用于形成元件的衬底表面和衬底的相反表面上形成氮化硅膜,分别在所述氮化硅膜上叠层氧化硅膜;在用于形成元件的衬底表面一侧的所述氧化硅膜上存在抗蚀剂的状态下,用湿法刻蚀除去所述相反表面一侧的所有氧化硅膜;用湿法刻蚀除去所述相反表面上的所有氮化硅膜;以及用湿法刻蚀除去用于形成元件的衬底表面一侧的所有氧化硅膜,使所述氮化硅膜保留在用于形成元件的衬底表面一侧上。

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