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公开(公告)号：CN105489750A
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201610023704.X
申请日：2016-01-14
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01L39/04 , H01L39/22 , G01R33/035
CPC classification number: H01L39/045 , G01R33/0354 , H01L39/223
Abstract: 本发明提供一种超导量子干涉器件的封装结构，包括：封装槽，底部和侧壁形成有低通滤波层；底板，固定于所述封装槽底部的低通滤波层表面，且制备有器件引出电极；超导量子干涉器件，固定于底板上，并实现电性连接；盖板，密封覆盖于封装槽上形成容置空间，以将超导量子干涉器件封装于该容置空间内，且盖板朝向封装槽的一面形成有低通滤波层，所述低通滤波层包括金属粉末与低温胶的混合物层。本发明在超导量子干涉器件的封装结构中加入由金属纳米粒子构成的屏蔽层，可以有效防止外界射频电磁场进入到超导量子干涉器件中，同时低温胶的绝缘特性使得屏蔽层不能构成导通回路因此不产生金属涡流，从而提高了超导量子干涉器件的稳定性。
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公开(公告)号：CN103792500A
公开(公告)日：2014-05-14
申请号：CN201210430981.4
申请日：2012-11-01
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01R33/035
Abstract: 一种基于SBC构型的磁通量子计数的磁场直接读出电路，其特征在于SBC芯片（1）、放大器（2）、积分器（3）、反馈电阻（4）和反馈线圈（5）构成磁通锁定环路，磁通计数单元（6）进行逻辑判定、控制波形发生与整形后，通过放电开关对积分器（3）进行复位操作，实现磁通量子计数，磁通计数单元（6）的计数脉冲包括C+和C-，作为电路输出与积分器输出共同用于波形重构。所述的方法包括（a）利用SBC构型磁通-电流曲线非对称特性，增加磁通量子计数工作稳定性；（b）基于复位开关控制波形整形实现软开关，消除复位浪涌电流/电压。本发明基于SBC和软开关的读出电路构型简单，参数易调整、抗干扰能力强，适合运动平台下的多通道磁场测量与系统集成。
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公开(公告)号：CN103389478A
公开(公告)日：2013-11-13
申请号：CN201210427956.0
申请日：2012-10-31
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01R33/035
Abstract: 本发明涉及一种超导磁传感器的数字化实时磁补偿装置及方法，其特征在于在传统磁通锁定环读出电路的基础上引入具有不同通带特性的两级负反馈，分别实现高灵敏度待测磁场信号的读取和低灵敏度待补偿磁场干扰的补偿，采用ADC、微处理器、DAC及其附属器件组成的数字电路构建磁补偿电路，并增加了可提高磁补偿装置可靠性的软启动和磁通锁定环直流偏置自动消除功能。其补偿方法特征在于通过ADC采集磁通锁定环的输出信号，然后由微处理器进行直流偏置消除、滤波、反转、积分，最后由DAC输出磁补偿反馈需要的信号。充分利用SQUID Feedback（反馈）线圈进行反馈，极大地简化了磁补偿装置的结构，提高了它的可维护性、可靠性和待补偿信号的提取能力。
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公开(公告)号：CN102426343A
公开(公告)日：2012-04-25
申请号：CN201110254091.8
申请日：2011-08-31
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01R33/035
Abstract: 本发明涉及一种基于SQUID偏置电压反转的读出电路及低频噪声的抑制方法，其特征在于通过偏置反转电路，实现偏置反转，从而抑制低频噪声的产生，具体是所述的读出电路是由SBC构型SQUID低温部分和偏置反转读出电路两部分构成。抑制方法主要过程包括：(1)放大器输入偏置电压调整；(2)交流方法偏置电压加在；(3)磁通相位调整与直流磁通补偿；(4)载波消除；(5)积分反馈输出。本发明所涉及的电路结构相对简单，便于多通道集成，可广泛应用于生物磁、物探等低频测量。
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公开(公告)号：CN110148664B
公开(公告)日：2021-01-19
申请号：CN201910394198.9
申请日：2019-05-13
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种约瑟夫森结的制备方法，包括：于基底上外延生长第一超导材料层、第一绝缘材料层及第二超导材料层的三层薄膜结构；刻蚀三层薄膜结构定义出底电极，刻蚀第一绝缘材料层及第二超导材料层定义出结区；于器件表面沉积第二绝缘材料层，第二绝缘材料层的厚度大于三层薄膜结构的厚度，去除结区上表面凸起的第二绝缘材料层；平坦化第二绝缘材料层，使其上表面与结区的上表面平齐；于第二绝缘材料层表面生长金属薄膜，并刻蚀形成旁路电阻；于器件表面生长第三超导材料层，并刻蚀形成电极引出结构。本发明通过缩小结区和其它位置减薄速率的差别，提升器件表面的平坦度；通过化学机械抛光避免弱连接；大大提高器件质量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110133379B
公开(公告)日：2020-07-31
申请号：CN201910506053.3
申请日：2019-06-12
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01R27/26 , G01R33/035
Abstract: 本发明提供一种约瑟夫森结寄生电感的测量方法，包括：提供第一测试结构，得到第一电感；提供第二测试结构，得到第二电感；提供第三测试结构，得到第三电感；提供第四测试结构，得到第四电感；基于第一测试结构及第二测试结构中导线的电感之和与第三测试结构及第四测试结构中导线的电感之和相同，计算得到单个约瑟夫森结的寄生电感。本发明采用SQUID电压‑磁通调制技术获取各测试结构的电感，再基于各测试结构之间的差异计算得到单个约瑟夫森结的寄生电感，是一种直接测量电感的方法，相比间接法将提升寄生电感的测量效率和准确性，为在超导数字电路设计中减小寄生电感影响提供依据。
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公开(公告)号：CN103792500B
公开(公告)日：2017-12-29
申请号：CN201210430981.4
申请日：2012-11-01
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01R33/035
Abstract: 一种基于SBC构型的磁通量子计数的磁场直接读出电路，其特征在于SBC芯片（1）、放大器（2）、积分器（3）、反馈电阻（4）和反馈线圈（5）构成磁通锁定环路，磁通计数单元（6）进行逻辑判定、控制波形发生与整形后，通过放电开关对积分器（3）进行复位操作，实现磁通量子计数，磁通计数单元（6）的计数脉冲包括C+和C‑，作为电路输出与积分器输出共同用于波形重构。所述的方法包括（a）利用SBC构型磁通‑电流曲线非对称特性，增加磁通量子计数工作稳定性；（b）基于复位开关控制波形整形实现软开关，消除复位浪涌电流/电压。本发明基于SBC和软开关的读出电路构型简单，参数易调整、抗干扰能力强，适合运动平台下的多通道磁场测量与系统集成。
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公开(公告)号：CN103389482B
公开(公告)日：2016-08-03
申请号：CN201210427979.1
申请日：2012-10-31
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01R35/00
Abstract: 本发明涉及一种超导量子干涉仪的数字化模拟器，其特征在于通过ADC、微处理器和DAC数字电路在常温下实现SQUID的电特性模拟；所述模拟器，采用嵌入式系统架构，通过模数转换的方式将读出电路的反馈信号按照微控制器内部建立的在线更新SQUID特性参数库进行磁通换算，再与内置的测试磁通信号进行代数运算，最后根据基于SQUIDV?Φ特性曲线建立的数学模型进行反馈输出，从而在同一平台实现不同特性的SQUID在磁通锁定环读出电路中的硬件在环仿真。本发明极大地提高了SQUID模拟器的集成度、灵活性、通用性和量程，有效地简化SQUID读出电路的测试。
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公开(公告)号：CN102944855B
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201210393486.0
申请日：2012-10-16
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01R33/035
Abstract: 本发明涉及超导量子干涉器件（SQUID，Superconducting QUantum Interference Device）技术领域。其特征在于将多环结构SQUID与电感线圈、电阻集成在一起构成全集成多环结构SBC SQUID，其中两个电感线圈分别与多环结构SQUID器件存在磁耦合，另一个电感作为器件的反馈线圈，两个电阻分别是器件的并联支路电阻和器件的加热电阻。本器件具有功能全面、易于调整参数等特点，而且因为器件结构均是由窄条薄膜构成，减小了磁通蠕动效应的影响，提高了器件对工作环境的适应能力。
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公开(公告)号：CN103955003A
公开(公告)日：2014-07-30
申请号：CN201410195796.0
申请日：2014-05-09
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01V3/10
Abstract: 本发明涉及一种在超导瞬变电磁应用中的噪声抑制方法，其特征在于所述的噪声抑制方法是将经验模态分解方法和环境磁场参考测量相结合；具体是首先建立TEM接收系统和环境磁场参考测量系统，分别测量TEM信号和环境磁场信号，并采用EMD模块对这两类信号进行高频噪声滤除处理，接着在接收信号中去除环境参考部分相关的低频干扰，最后得到需要的TEM信号。所述的方法不仅能抑制高频噪声，而且在低频噪声抑制方面十分有效，而且通过DSP模块的实时信号处理操作，有利于提高信号处理速度和节省系统存储空间，对系统的应用起重要的推动作用，有效提高系统测量精度。
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