-
公开(公告)号：CN117722943A
公开(公告)日：2024-03-19
申请号：CN202410162812.X
申请日：2024-02-05
Applicant: 中国科学技术大学
IPC: G01B9/02001 , G01B9/02056
Abstract: 本发明公开了一种集成高精度电容位移传感器的压电驱动机械式移相器，包括固定端板、移动端板、后盖板，移动端板的环形侧壁的内壁上一体设置有可柔性变形的内环形铰链，固定端板的环形侧壁的外壁上一体设置有可柔性变形的外环形铰链；固定端板的底部端面内嵌设有若干组围绕通孔的轴线均匀分布的压电驱动器单元和电容传感器单元，固定端板的底部端面内固定嵌设有引线转接PCB板，压电驱动器单元和电容传感器单元通过引线转接PCB板与外部线缆电连接。本发明通过压电堆栈驱动实现移相器的位移输出，利用精密电容传感器单元探测压电堆栈驱动器的实时位移，通过闭环控制回路补偿位移，实现移相器长期位置稳定、运动无漂移和滞后的运行。
-
公开(公告)号：CN105337530A
公开(公告)日：2016-02-17
申请号：CN201510895564.0
申请日：2015-12-01
Applicant: 中国科学技术大学
Abstract: 本发明公开了一种压电马达，包括定子、转子以及与所述转子连接的直流电机，所述定子包括具有压电堆以及位移放大装置的压电换能器；所述压电堆具体为两个相互垂直设置的竖直压电堆和水平压电堆，所述竖直压电堆与所述水平压电堆的振动处于相同频率且相位相差90度。所述压电换能器通过柔性铰链连接轴承架，所述轴承架内侧壁设置有用以与所述转子连接的轴承。上述压电马达，由两个相互垂直的压电换能器在相同频率且相位相差90度的交变电压驱动下，通过振动驱动逐渐替代直流电机的拖动使得转子转动；同时直流电机可作为发电机对外输出能量。
-
公开(公告)号：CN103471641B
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：CN201310396067.7
申请日：2013-09-03
Applicant: 中国科学技术大学
IPC: G01D18/00
Abstract: 本发明提供一种电涡流传感器的温度漂移自动校正方法，该方法是采用一定的阻抗测量电路同时获取探测线圈的等效电感和电阻，利用其电感和电阻随温度和被测量变化的关系，来消除温度变化的影响，提取出实际的被测量的变化信息。本发明由阻抗测量模块（4）和校正运算模块（5）组成的涡流传感器信号调理电路，实现了在获取被测量信息的同时，自动校正、消除了温度变化的影响。本发明进行温度漂移校正不增加额外的探头、线圈或温度传感器，温漂校正效果显著，而且具有适用范围广、结构简单、易于实现等诸多优点。采用本发明对单线圈的电涡流位移传感器探头进行温度漂移自动校正，其温漂系数一般可以从500nm/℃降低到了5nm/℃以下。
-
公开(公告)号：CN104716865A
公开(公告)日：2015-06-17
申请号：CN201510066230.2
申请日：2015-02-06
IPC: H02N2/02
Abstract: 本发明实施例提供了一种稳幅结构，该稳幅结构应用于供风设备，该稳幅结构包括：振动片；驱动元件，用于驱动振动片振动，其中振动片设置在驱动元件的第一端；探测元件，设置在驱动元件的第二端，与驱动元件错位连接，用于探测振动片的振动信息；以及反馈电路，连接在驱动元件与探测元件之间，用于根据探测元件探测到的振动片的振动信息调整驱动元件的输出频率，使驱动元件的输出频率与振动片的固有频率一致。本发明实施例的稳幅结构，根据探测元件探测到的振动片的振动信息调整驱动元件的输出频率，使得驱动元件的输出频率与振动片的固有频率一致，能够使振动片工作在最佳频率，进而稳定振动片的振动幅度。
-
公开(公告)号：CN104154852A
公开(公告)日：2014-11-19
申请号：CN201410412326.5
申请日：2014-08-20
Applicant: 中国科学技术大学
IPC: G01B7/06
Abstract: 一种基于电涡流传感器的导电膜厚度测量系统及对应测量方法，利用涡流传感器探测线圈的阻抗在电阻-电感平面中的对应点在不同探测距离下形成的提离线的斜率与被测导电膜厚度的关系来实现厚度测量。所述导电膜厚度测量系统包括：带有探测线圈的电涡流传感器探头、阻抗测量电路、实现探头上下移动的微型致动器以及控制测量过程和厚度结果输出的控制器。本发明方法简单高效，可以非接触地准确测量出导电膜的厚度，测量结果几乎不受探测距离的影响，厚度测量范围从几十nm到几mm，可以广泛地用于半导体金属膜检测、工业生产线上的金属膜在线测量系统以及各种镀膜工艺的质量监控或检测等应用中。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103644835A
公开(公告)日：2014-03-19
申请号：CN201310740208.2
申请日：2013-12-29
Applicant: 中国科学技术大学
IPC: G01B7/02
Abstract: 本发明公开了一种电涡流位移传感器温度漂移系数的测量装置，该装置利用超低热膨胀系数的垫片，和普通材料制造的探头固定结构、弹性体，以及目标导体片、支架、底座构成一个非常精确稳定的位移固定系统。不同于以往的测量装置全部采用低温漂的因瓦（Invar）合金等材料制造的温度漂移测量装置，本装置的主体可以是廉价而易于加工制造的常用材料，确定位移的垫片采用低热膨胀系数的材料制造。本发明装置可以用来精确测量高分辨率电涡流位移传感器的温度漂移，还可以安装精密位移制动器来校准灵敏度和线性度等。基于本发明的涡流传感器温度系数测量装置，结构简单，成本低，而且其所固定的位移温漂系数可以低至1nm/℃以下。
-
公开(公告)号：CN1343037A
公开(公告)日：2002-04-03
申请号：CN00128909.8
申请日：2000-09-13
Applicant: 中国科学技术大学
IPC: H02N15/00
Abstract: 本发明涉及磁悬浮应用技术。它包括悬浮物体及产生磁场的电磁线圈,其电磁线圈的铁芯横截面是矩形或近似矩形,在悬浮物体上设有横截面为矩形或近似矩形的永磁铁,在电磁线圈的表面上设有测定垂直方向和圆周方向的两个传感器,它们分别连接在电磁线圈的控制电路中,该控制电路由位置传感器、信号处理电路、励磁电流控制电路构成。相比现有技术,本发明简化了实现磁悬浮物体旋转的结构,使整体结构保持对称,因而能适用于各种要求悬浮并稳定旋转的场合。
-
公开(公告)号：CN119468893B
公开(公告)日：2025-05-06
申请号：CN202510028038.8
申请日：2025-01-08
Applicant: 中国科学技术大学
IPC: G01B7/02
Abstract: 本发明涉及传感器技术领域，公开了一种感应式位移传感器，包括基板、固定设置于基板表面上的两对矩形状的接收线圈和一个涡状线型的激励线圈，以基板的中心为原点创建初始平面坐标系，每对的两个接收线圈平行设置，两对接收线圈垂直设置，激励线圈位于接收线圈远离基板的一侧并与基板的表面平行设置；初始状态下，激励线圈的中心点在基板上的投影与初始平面坐标系的原点重合，接收线圈相对于激励线圈有xy平面内的位移时，两对线圈分别输出x和y方向上的相对位移，同时实现两个方向上的相对位移的解耦。本发明能够同时进行两个方向的位移测量，实现对位移信号的高精度和高稳定性测量，且具有良好的动态响应特性，减少机械部件运动带来的误差。
-
公开(公告)号：CN119468893A
公开(公告)日：2025-02-18
申请号：CN202510028038.8
申请日：2025-01-08
Applicant: 中国科学技术大学
IPC: G01B7/02
Abstract: 本发明涉及传感器技术领域，公开了一种感应式位移传感器，包括基板、固定设置于基板表面上的两对矩形状的接收线圈和一个涡状线型的激励线圈，以基板的中心为原点创建初始平面坐标系，每对的两个接收线圈平行设置，两对接收线圈垂直设置，激励线圈位于接收线圈远离基板的一侧并与基板的表面平行设置；初始状态下，激励线圈的中心点在基板上的投影与初始平面坐标系的原点重合，接收线圈相对于激励线圈有xy平面内的位移时，两对线圈分别输出x和y方向上的相对位移，同时实现两个方向上的相对位移的解耦。本发明能够同时进行两个方向的位移测量，实现对位移信号的高精度和高稳定性测量，且具有良好的动态响应特性，减少机械部件运动带来的误差。
-
公开(公告)号：CN115683189B
公开(公告)日：2024-12-17
申请号：CN202211335706.4
申请日：2022-10-28
Applicant: 中国科学技术大学
IPC: G01D11/30
Abstract: 本发明的一种基于压电位移台的高稳定性闭环测量系统，包括压电位移台和传感器支架；压电位移台设置有样品台；样品台上设置有两个相互垂直的反射面；传感器支架上连接有传感器夹头和探针支架；传感器夹头开设有装夹孔，以及三个条形切槽口，且三条形切槽口成Y型设置，并交汇于装夹孔位置；传感器夹头侧面开设有贯通孔，与装夹孔相互垂直设置，将装夹孔分隔为前后两段共六个接触面，对激光干涉仪进行六点夹持保证了装夹的稳定性。本发明通过在传感器夹头上开设装夹孔和三个成Y型设置的条形切槽口，实现柔性夹持，使得传感器夹头能够适应激光干涉仪探头受温度影响产生的应力和应变，使得测量系统整体的测量稳定性和精确性得到有效的提高。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
60
records
(took 0.034 seconds)
