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公开(公告)号：CN101389387A
公开(公告)日：2009-03-18
申请号：CN200680053064.1
申请日：2006-11-29
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
CPC classification number: B01D53/002 , B01D2256/14 , C01B13/0251 , C01B13/10 , C01B13/11 , C01B2201/80 , C01B2201/82 , C01B2210/0092 , Y02C10/10 , Y02C10/12
Abstract: 特定气体的浓缩、稀释装置以及特定气体的浓缩、稀释方法，其中，在1个臭氧浓缩小室内，形成能够从臭氧化氧气中使臭氧选择性地结露或使氧气选择性地透过而被排出的冷却温度范围的部分和能够使结露的臭氧蒸气化的温度范围的部分，使结露的臭氧借助流体的流动或重力作用，移动至能够使上述结露的臭氧蒸气化的部分，使其蒸气化，由此可以使臭氧化氧气更高浓度化。填充于臭氧浓缩小室11、12内的结露、蒸气化粒子材料13为球形且侧面成为具有多个平面的特殊形状或是能够使臭氧气中的氧气选择性地透过的氧透过膜130。
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公开(公告)号：CN111527796B
公开(公告)日：2022-08-19
申请号：CN201880084691.4
申请日：2018-01-10
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
IPC: H05H1/24 , B01J19/08 , C23C16/452 , C23C16/455 , C23C16/50 , H05H1/30
Abstract: 本发明的目的在于提供一种能够生成优质的活性气体的活性气体生成装置。然后，本发明具有特征(一)～特征(三)。特征(一)为“以接地侧电极构成部(2X)支承高压侧电极构成部(1X)的方式构成活性气体生成用电极组(300)”。特征(二)为“具有设置在高压侧电极构成部(1X)的电介质电极(110)的放电空间外区域、向下方突出的台阶部(115H，115M，115L)，通过这些台阶部的形成高度(S15)来规定放电空间(68)的间隙长度”。特征(三)为“高压侧电极构成部(1X)及接地侧电极构成部(2X)分别将放电空间形成区域(R68)的厚度形成得比较薄，并且将上述放电空间外区域的厚度形成得比较厚”。
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公开(公告)号：CN111527796A
公开(公告)日：2020-08-11
申请号：CN201880084691.4
申请日：2018-01-10
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
IPC: H05H1/24 , B01J19/08 , C23C16/452 , C23C16/455 , C23C16/50 , H05H1/30
Abstract: 本发明的目的在于提供一种能够生成优质的活性气体的活性气体生成装置。然后，本发明具有特征(一)～特征(三)。特征(一)为“以接地侧电极构成部(2X)支承高压侧电极构成部(1X)的方式构成活性气体生成用电极组(300)”。特征(二)为“具有设置在高压侧电极构成部(1X)的电介质电极(110)的放电空间外区域、向下方突出的台阶部(115H，115M，115L)，通过这些台阶部的形成高度(S15)来规定放电空间(68)的间隙长度”。特征(三)为“高压侧电极构成部(1X)及接地侧电极构成部(2X)分别将放电空间形成区域(R68)的厚度形成得比较薄，并且将上述放电空间外区域的厚度形成得比较厚”。
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公开(公告)号：CN107079575B
公开(公告)日：2020-08-04
申请号：CN201480083011.9
申请日：2014-10-29
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
Abstract: 本发明提供一种即使是大面积的被处理体也能够实施均匀的使用了自由基气体的处理的放电发生器及其电源装置。本发明所涉及的放电发生器及其电源装置具备自由基气体生成装置(100)、处理室装置(200)和n相逆变器电源装置(9)。在处理室装置(200)相邻配置自由基气体生成装置(100)，自由基气体生成装置(100)具有多个(n个)放电单元(70)。n相逆变器电源装置(9)采用具有能够对n相的交流电压进行输出控制的手段的电源电路结构，对应于所述放电单元(70)的设置位置对各相的交流电压进行可变控制。
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公开(公告)号：CN108292603A
公开(公告)日：2018-07-17
申请号：CN201680068427.2
申请日：2016-01-06
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
IPC: H01L21/31 , C23C16/455
CPC classification number: C23C16/455 , H01L21/31
Abstract: 本发明的目的在于，提供一种能够以超过马赫的超高速向处理对象衬底供给气体的气体供给装置。并且，本发明的气体供给装置的气体喷出器(1)具有喷嘴部(10)。构成喷嘴部(10)的第一段限制筒(13)的开口部截面形状呈直径r1的圆形。第二段限制筒(14)沿着Z方向与第一段限制筒(13)连续地形成，开口部截面形状呈直径r2的圆形，将从第一段限制筒(13)供给的原料气体(G1)向下方的低真空处理腔(18)进行供给。这时，直径r2被设定为满足“r2>r1”。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106797698A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201480082514.4
申请日：2014-10-29
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
Abstract: 本发明的目的在于，在远程等离子体型成膜处理系统中，提供一种即便为例如大面积的被处理体、也能够均匀地实施使用原子团气体的处理的原子团气体产生系统。而且，在本发明的原子团气体产生系统(500)中，处理室装置(200)具有使被处理体(202)旋转的转台(201)。原子团气体生成装置(100)具有多个放电单元(70)。此外，放电单元(70)具有开口部(102)，该开口部(102)与处理室装置(200)内连接，且与被处理体(202)相面对，并且输出原子团气体(G2)。而且，在俯视观察下，越是远离所述旋转的中心位置而配设的放电单元(70)，越增大第一电极构件(1)与第二电极构件(31)对置的区域即对置面积。
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公开(公告)号：CN104105659B
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：CN201280069495.2
申请日：2012-08-30
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
CPC classification number: C01B13/11 , B01J35/004 , B01J35/02 , C01B2201/10 , C01B2201/20 , C01B2201/64 , C01B2201/70 , C01B2201/90
Abstract: 本发明的目的在于提供一种能够抑制副产品的产生且低成本的臭氧生成系统。在本发明中，具备对臭氧产生装置(1)输出原料气体的气体流量调整装置(7)。气体流量调整装置(7)具备多个流量调整部(71、72、73、75)，并将由从第一氧流量调整部(71)输出的氧气和从混合气体流量调整部(75)输出的第一混合气体构成的第二混合气体作为原料气体而对臭氧产生装置(1)输出。在此，在气体流量调整装置(7)中生成的原料气体由氧气和氮气构成，氮相对于氧气的添加率比0ppm大且为100ppm以下。
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公开(公告)号：CN103459308B
公开(公告)日：2016-02-10
申请号：CN201180070004.1
申请日：2011-04-13
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
IPC: C01B13/11
CPC classification number: C01B13/11 , C01B2201/12 , C01B2201/64 , C01B2201/66 , C01B2201/76 , C01B2201/90
Abstract: 本发明的目的在于获得一种谋求无氮添加臭氧产生器单元的小型化的无氮添加臭氧产生单元，该无氮添加臭氧产生器单元附带具有用于输出高纯度、高浓度的臭氧气体的多个机构的功能。而且，在本发明中，气体配管集成模块(30)具有多个内部配管路线(R30a～R30f)，通过将上述多个内部配管路线与向放电面涂敷有用于生成臭氧的光催化剂物质的无氮添加臭氧产生器(1)、控制机构(MFC(3)、气体过滤器(51)及APC(4))、原料气体供给口(14)、臭氧气体输出口(15)连结起来，形成从原料气体供给口经由APC而到达无氮添加臭氧气体产生器的原料气体输入配管路线及从无氮添加臭氧产生器经由气体过滤器、MFC而到达臭氧气体输出口的臭氧气体输出配管路线实现一体化的单元。
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公开(公告)号：CN102770369A
公开(公告)日：2012-11-07
申请号：CN201080053584.9
申请日：2010-09-06
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
IPC: C01B13/11
CPC classification number: B01J19/088 , B01J2219/0805 , C01B13/11 , C01B2201/64 , C01B2201/76 , C01B2201/90
Abstract: 本发明的目的在于得到一种臭氧发生单元及上述臭氧发生单元，其中上述臭氧发生单元可实现具有用于输出臭氧气体的多个元件且设有控制元件的臭氧发生器单元的小型化。此外，在本发明中，气体配管集成块(30)具有多个内部配管路径(R30a～R30f)，通过将上述多个内部配管路径与臭氧发生器(1)、控制元件(MFC(3)、气体过滤器(51)及APC(4))、原料气体供给口(14)、臭氧气体输出口(15)及冷却水出入口(13A、13B)连接，从而形成将从原料气体供给口经由APC直至臭氧气体发生器的原料气体输入配管路径、及从臭氧发生器经由臭氧过滤器、臭氧浓度计(5)、MFC(3)直至臭氧气体输出口的臭氧气体输出配管路径一体化的单元。
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公开(公告)号：CN110088038A
公开(公告)日：2019-08-02
申请号：CN201680091718.3
申请日：2016-12-19
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
IPC: C01B13/11
Abstract: 本发明的目的在于，提供一种实现装置整体的结构紧凑化、而且安装了多个气体产生器单元的气体产生装置。本发明的气体产生装置具有：6台气体产生器单元(4a～4f)，各个气体产生器单元具有气体产生器(43)；一个单位的多交流电源部(3001)，对6台气体产生器单元(4a～4f)供给6个高频交流电压；一个单位的气体控制部(3003)，控制6台气体产生器单元(4a～4f)的原料气体及输出气体；以及一个单位的控制操作部构成部(3002)，执行交流电力控制动作，使得分别供给彼此独立的具有期望的电量的6种高频交流电压。并且，6台气体产生器单元(4a～4f)、一个单位的多交流电源部(3001)、气体控制部(3003)及控制操作部构成部(3002)被设置成一体。
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