基于电热电磁驱动的双向双稳态微驱动器

    公开(公告)号:CN101544347B

    公开(公告)日:2011-04-06

    申请号:CN200910049872.6

    申请日:2009-04-23

    Abstract: 本发明涉及一种微机电系统技术领域的基于电热电磁驱动的双向双稳态微驱动器,包括:永磁体、衬底、电热电磁驱动单元、双向运动梁单元、机械锁定单元和电接触单元,其中:永磁体位于衬底下方,并与衬底紧密相连;电热电磁驱动单元、双向运动梁单元、机械锁定单元和电接触单元分别位于衬底上方,双向运动梁单元与电热电磁驱动单元相连,构成一个悬空自由运动的可动梁;一对机械锁定单元对称分布于双向运动梁单元与电热电磁驱动单元的左右两边;一对电接触单元对称分布于双向运动梁单元的左右两端。本发明工艺简单,不仅充分体现了MEMS技术与灵巧机械结构的完美结合,而且合理利用了电热电磁力的协调互助作用,实现了无功耗的双稳态机制。

    基于氧化铝薄膜与聚合物联合作用的电热微驱动器

    公开(公告)号:CN101905851A

    公开(公告)日:2010-12-08

    申请号:CN201010243115.5

    申请日:2010-08-05

    Abstract: 一种微机电系统技术领域的基于氧化铝薄膜与聚合物联合作用的电热微驱动器,包括:热基座、氧化铝结构层、镍电阻丝发热层和聚合物功能辅助层,其中:镍电阻丝发热层、氧化铝结构层和热基座依次由上而下设置,所述的氧化铝结构层为重叠部和悬臂梁部构成的T字型结构,聚合物功能辅助层覆盖于氧化铝结构层的悬臂梁部的外部并包裹镍电阻丝发热层,驱动电压施加于镍电阻丝发热层的悬臂梁部上。本发明利用多层膜材料不同,其热学性能及机械性能有显著差异,从而实现在小功率驱动下,输出较大的面外位移,该热驱动器结构简单而且制作工艺可靠,适于批量制造。

    闭锁电热双稳态微开关
    33.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101661853A

    公开(公告)日:2010-03-03

    申请号:CN200910308026.1

    申请日:2009-09-30

    Abstract: 一种微机电技术领域的闭锁电热双稳态微开关,包括:正、负两个电极、正极和负极两个驱动层、正极和负极两个偏置层、基座、上触点和下触点,其中:正极驱动层的一端和负极驱动层的一端分别固定设置于基座上且另一端均伸出悬空形成悬梁结构,正极偏置层位于正极驱动层上方,负极偏置层位于负极驱动层上方,正极驱动层和正极偏置层以及负极驱动层和负极偏置层分别形成双层膜结构在受热时能够发生翘曲,正电极位于正极驱动层的上方并与正极偏置层紧密连接,上触点和下触点分列于正极驱动层和负极驱动层的末端,上触点和下触点在垂直方向上交叠设置。本发明充分发挥电热驱动器驱动力大、响应速度较快、位移功率密度高、便于集成制造的优势。

    闭锁电热双稳态微开关
    38.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101661853B

    公开(公告)日:2011-08-31

    申请号:CN200910308026.1

    申请日:2009-09-30

    Abstract: 一种微机电技术领域的闭锁电热双稳态微开关,包括:正、负两个电极、正极和负极两个驱动层、正极和负极两个偏置层、基座、上触点和下触点,其中:正极驱动层的一端和负极驱动层的一端分别固定设置于基座上且另一端均伸出悬空形成悬梁结构,正极偏置层位于正极驱动层上方,负极偏置层位于负极驱动层上方,正极驱动层和正极偏置层以及负极驱动层和负极偏置层分别形成双层膜结构在受热时能够发生翘曲,正电极位于正极驱动层的上方并与正极偏置层紧密连接,上触点和下触点分列于正极驱动层和负极驱动层的末端,上触点和下触点在垂直方向上交叠设置。本发明充分发挥电热驱动器驱动力大、响应速度较快、位移功率密度高、便于集成制造的优势。

    燃煤烟气中总汞的测量方法

    公开(公告)号:CN101699252A

    公开(公告)日:2010-04-28

    申请号:CN200910309608.1

    申请日:2009-11-12

    Abstract: 一种环境监测技术领域的燃煤烟气中总汞的测量方法,包括如下步骤:步骤一,将吸附剂填充于石英管中,两端用脱脂棉封闭;步骤二,将采样枪与串联的多个装有吸附剂的石英管连接;步骤三,采样,采样完毕后,取出吸附剂及脱脂棉,洗脱,得洗脱液;步骤四,测定洗脱液中汞的含量。本发明的测定方法所需的仪器装置少,操作方法简单,便于现场应用;本发明的方法对烟气中汞的回收率高达70%~100%,测定准确度高;本发明方法涉及的采样及分析设备均可选用国产产品,降低了成本。本发明的方法适合在国内推广应用。

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