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公开(公告)号：CN101905851A
公开(公告)日：2010-12-08
申请号：CN201010243115.5
申请日：2010-08-05
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种微机电系统技术领域的基于氧化铝薄膜与聚合物联合作用的电热微驱动器，包括：热基座、氧化铝结构层、镍电阻丝发热层和聚合物功能辅助层，其中：镍电阻丝发热层、氧化铝结构层和热基座依次由上而下设置，所述的氧化铝结构层为重叠部和悬臂梁部构成的T字型结构，聚合物功能辅助层覆盖于氧化铝结构层的悬臂梁部的外部并包裹镍电阻丝发热层，驱动电压施加于镍电阻丝发热层的悬臂梁部上。本发明利用多层膜材料不同，其热学性能及机械性能有显著差异，从而实现在小功率驱动下，输出较大的面外位移，该热驱动器结构简单而且制作工艺可靠，适于批量制造。
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