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公开(公告)号:CN108538785B
公开(公告)日:2020-09-15
申请号:CN201810175506.4
申请日:2018-03-02
Applicant: 上海交通大学
IPC: H01L21/82 , H01L27/105 , H01L29/788
Abstract: 一种基于浮栅充放电的状态非易失光开关及其制备方法。光开关由下到上依次为单晶硅衬底、二氧化硅埋层、单晶硅n型掺杂层、绝缘二氧化硅层、单晶硅浮栅层、氧氮氧隔离层、单晶硅p型掺杂层、二氧化硅上包层和金属电极,本发明整体上包含两个串联连接的浮栅电容,浮栅内的载流子浓度可通过电子隧穿效应改变。由于载流子色散效应导致波导有效折射率的改变,从而可实现对光路的调控。切换后的光路可以在电压断掉后还能保持原状态,在光通信和光互连数据交换领域具有广阔的应用前景。
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公开(公告)号:CN109633611B
公开(公告)日:2020-02-07
申请号:CN201811484764.7
申请日:2018-12-06
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01S7/4911
Abstract: 本发明公开了一种基于巴特勒矩阵的集成二维多波束激光雷达发射系统,包括可调激光器阵列、调频连续波调制阵列、N×N巴特勒光学矩阵网络、N×M光学扩束网络、M路移相器阵列和M路二维激光雷达发射端,可调激光器阵列输出的窄线宽连续光经过调频连续波调制阵列产生N路调频连续光信号,经过N×N巴特勒矩阵网络和N×M光学扩束网络处理后,每一路调频连续光信号的能量均分到M路输出端口,M路移相器阵列对M路光信号产生相位差连续可调的等差相位;通过M路二维激光雷达发射端将相位差连续可调的M路光信号发射,实现不多于N个不同的二维可调发射波束。系统简单且能提高雷达的分辨率、抗干扰能力和生存能力,充分利用了发射波束能量。
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公开(公告)号:CN110488414A
公开(公告)日:2019-11-22
申请号:CN201910720041.0
申请日:2019-08-06
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种微环型光开关的自动校准装置和校准方法,包括:读取初始状态的微环辅助马赫-增德尔干涉光开关传输谱;对所述初始传输谱进行预处理;利用已训练的参数计算模型对所述预处理传输谱进行处理以获取光开关的状态参数;根据所述状态参数将光开关自动校准到交叉和直通状态。本发明利用已训练的神经网络模型来实时获取微环辅助马赫-增德尔干涉光开关的工作状态,并联合自动控制装置实现其工作状态的自动校准。将机器学习算法与光开关工作状态校准有效结合起来,可以大幅提高光开关单元和阵列的校准效率。
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公开(公告)号:CN110221455A
公开(公告)日:2019-09-10
申请号:CN201910402824.4
申请日:2019-05-15
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种基于硅波导受激布里渊散射效应的微波光子带通滤波芯片,包括相位调制器、波分复用器、布里渊增益产生硅波导、带阻滤波器以及锗硅光电探测器。输入的微波信号加载到相位调制器上,产生两个相位相差180度的边带。之后,波分复用器将泵浦光和调制后的信号光合为一路,合波后的光束经过一段具有前向受激布里渊散射效应的硅波导,当泵浦光功率增大到阈值之后,在上边带与泵浦光相差一个布里渊频移的范围内产生增益,最终由锗硅光电探测器生成窄带微波信号。本发明可实现微波信号的带通滤波,具有尺寸小、集成度高、功耗低、通带窄、滤波中心频率灵活可调等优点,能在微波光子信号处理系统中发挥关键作用,具有广阔的应用前景。
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公开(公告)号:CN109991582A
公开(公告)日:2019-07-09
申请号:CN201910187328.1
申请日:2019-03-13
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01S7/481
Abstract: 一种硅基混合集成激光雷达芯片系统,按照光路顺序,其发射端依次包括:可调谐窄线宽激光源、氮化硅分束器、硅基移相器阵列、氮化硅单向发射天线阵列。按照光路可逆原理,其接收端依次包括:氮化硅单向接收天线阵列、氮化硅分束器、硅基相干接收模块。还包备份系统及电域控制处理模块。其中,硅平台与氮化硅平台上各模块借助硅/氮化硅渐逝波耦合器实现多层单片集成;可调谐激光源模块中的增益芯片与氮化硅波导通过水平耦合进行混合集成。本发明通过多平台、多领域混合集成,以相控阵方式实现了自由空间激光信号高速灵活的波束成形、旋转及方向性接收。该发明不含活动器件、集成密度高、CMOS兼容性好、规模化量产成本低,具有极高的实用价值。
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公开(公告)号:CN109870833A
公开(公告)日:2019-06-11
申请号:CN201910148577.X
申请日:2019-02-28
Applicant: 上海交通大学
IPC: G02F1/025
Abstract: 一种基于硅-相变材料混合集成硅波导的多级非易失性光衰减器,制作在绝缘体硅基片上,所述的绝缘体硅基片包含底层本征硅层、中间绝缘体层和上面的第二本征硅层,在第二本征层中形成硅波导,在硅波导有源区的部分进行掺杂,形成掺杂波导区域,再在掺杂波导区域的部分区域和硅波导有源区部分区域的顶部依次沉积相变材料层和上电极层,整体结构再覆盖一定厚度的上包层,所述的掺杂硅波导和上电极层通过通孔与位于所述的上包层外的阳极金属平板和阴极金属平板相连接。本发明多级光衰减器具有读写速度快(ns量级)、循环次数高(>1012)、功耗低、与现有的CMOS工艺兼容、技术实现难度和产业成本较低、尺寸紧凑等特点。
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公开(公告)号:CN108803090A
公开(公告)日:2018-11-13
申请号:CN201810407934.5
申请日:2018-05-02
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种基于硅和二氧化钒复合波导的电光调制器,自下而上依次是硅衬底、二氧化硅下包层和电光调制器,所述的电光调制器采用三层堆栈式结构,下层为P型掺杂单晶硅层,上层为N型掺杂多晶硅层,中间层包括二氧化硅薄膜和二氧化钒薄膜,所述的N型掺杂多晶硅层和P型掺杂单晶硅层横向错开交叠,交叠部分为波导区域,横向延伸的两端为两铝电极的接触区域,所述的N型掺杂多晶硅层、二氧化钒薄膜、二氧化硅薄膜和P型掺杂单晶硅层重叠区域构成纵向狭缝波导。本发明电光调制器具有结构紧凑、驱动电压小、功耗低等优点,在集成光电子领域具有广泛的应用前景。
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公开(公告)号:CN108761439A
公开(公告)日:2018-11-06
申请号:CN201810424574.X
申请日:2018-05-07
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01S13/02
CPC classification number: G01S13/02 , G01S2013/0245
Abstract: 一种用于微波光子多波束相控阵雷达的基于波分复用的集成多波束光相控阵延迟网络,由N路行波导、N×M微环分束器、N×M固定光真延迟网络、M路可调光真延迟阵列和M路列波导构成,所述的N×M个微环分束器排布成N行、M列,所述的N×M固定光真延迟网络与所述的N×M个微环分束器相连。本发明只需M个可调单元,即可实现M阵元、N波束的相控阵雷达,具有结构控制简单、灵活、集成度高、瞬时带宽大、分辨率高的优点。
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公开(公告)号:CN119123700B
公开(公告)日:2025-05-02
申请号:CN202411541066.1
申请日:2024-10-31
Applicant: 济南大森制冷工程有限公司 , 上海交通大学
Abstract: 本发明涉及蒸发器管内制冷剂流量控制技术领域,更具体地说,涉及基于蒸发器管内干度预测模型的制冷供液阀门控制方法,用于解决现有技术的氨制冷系统一般采用较高循环倍率,无法有效减少氨制冷剂的充注量,难以保证氨制冷系统安全运行,不能提高蒸发器的制冷效果的问题;本发明通过建立干度预测模型,获取机组中干度预测模型的相关参数,将干度预测模型转化为不同制冷剂质量流量下蒸发管内的干度变化,并选取最佳的制冷剂质量流量,使得氨制冷系统的氨液循环倍率低于1.2,能够有效减少氨制冷剂的充注量,保证氨系统安全运行,能够提高蒸发器的制冷效果。
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