三维半导体存储器件及其制造方法

    公开(公告)号:CN111180418A

    公开(公告)日:2020-05-19

    申请号:CN201911105606.0

    申请日:2019-11-12

    Abstract: 公开了三维半导体存储器件及其制造方法。可以提供一种三维半导体存储器件,包括:衬底,包括单元阵列区和连接区;电极结构,包括交替堆叠在衬底上的多个电极和多个介电层,电极结构在连接区上具有阶梯部分;蚀刻停止结构,在电极结构的阶梯部分上;以及多个接触插塞,在连接区上,接触插塞穿透蚀刻停止结构并且分别连接到电极的对应焊盘部分。蚀刻停止结构可以包括蚀刻停止图案和水平介电层,水平介电层具有均匀的厚度并且覆盖蚀刻停止图案的顶表面和底表面。

    三维半导体存储器件
    32.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111146207A

    公开(公告)日:2020-05-12

    申请号:CN201911043745.5

    申请日:2019-10-30

    Abstract: 公开了三维半导体存储器件及其制造方法。所述三维半导体存储器件包括:衬底,所述衬底包括单元阵列区域和连接区域;电极结构,所述电极结构包括交替堆叠在所述衬底上的多个电极和多个介电层,并且在所述连接区域上具有阶梯结构;以及蚀刻停止图案,所述蚀刻停止图案覆盖所述电极结构的所述阶梯结构。当在俯视图中观察时,所述电极结构和所述蚀刻停止图案在平行于所述衬底的顶表面的第一方向上延伸。所述电极结构在平行于所述衬底的顶表面并且与所述第一方向相交的第二方向上具有第一宽度。所述蚀刻停止图案在所述第二方向上具有第二宽度。所述第二宽度小于所述第一宽度。

    多媒体装置及其电力管理方法

    公开(公告)号:CN106331804A

    公开(公告)日:2017-01-11

    申请号:CN201610368593.6

    申请日:2016-05-30

    Abstract: 提供了用于基于在移动多媒体装置时使用的把手来有效管理其电力消耗的多媒体装置。该多媒体装置包括显示器、附接至多媒体装置的把手、用于感测把手的状态的传感器、电源以及控制器,其中,控制器配置为在传感器的感测值表示把手被使用的状态时阻断供给至显示器的电力。

    三维半导体存储器件及其制造方法

    公开(公告)号:CN111180418B

    公开(公告)日:2025-05-06

    申请号:CN201911105606.0

    申请日:2019-11-12

    Abstract: 公开了三维半导体存储器件及其制造方法。可以提供一种三维半导体存储器件,包括:衬底,包括单元阵列区和连接区;电极结构,包括交替堆叠在衬底上的多个电极和多个介电层,电极结构在连接区上具有阶梯部分;蚀刻停止结构,在电极结构的阶梯部分上;以及多个接触插塞,在连接区上,接触插塞穿透蚀刻停止结构并且分别连接到电极的对应焊盘部分。蚀刻停止结构可以包括蚀刻停止图案和水平介电层,水平介电层具有均匀的厚度并且覆盖蚀刻停止图案的顶表面和底表面。

    半导体器件和包括该半导体器件的数据存储系统

    公开(公告)号:CN118159032A

    公开(公告)日:2024-06-07

    申请号:CN202311575824.7

    申请日:2023-11-22

    Abstract: 一种半导体器件,包括:第一衬底结构,包括第一解码器电路区域、第二解码器电路区域和页缓冲器电路区域;以及第二衬底结构,连接到第一衬底结构。第二衬底结构包括第一单元结构和第二单元结构,第一单元结构包括第一水平延伸栅电极,并且第二单元结构包括第二水平延伸栅电极。第二单元结构设置在第一单元结构下方。第一阶梯结构设置在第一单元结构和第二单元结构的一侧,并且第二阶梯结构设置在与第一侧相对的第二侧。虚设结构设置在第一阶梯结构下方。第一接触插塞穿过第一阶梯结构和第一虚设结构,并分别连接到第一栅电极,并且第二接触插塞穿过第二阶梯结构,并分别连接到第二栅电极。

    半导体器件和包括该半导体器件的数据存储系统

    公开(公告)号:CN117497560A

    公开(公告)日:2024-02-02

    申请号:CN202310904992.X

    申请日:2023-07-21

    Abstract: 一种半导体器件,可以包括:第一半导体结构,包括下衬底;以及第二半导体结构,在第一半导体结构上,并通过接合结构接合到第一半导体结构。第二半导体结构可以包括:图案结构;上绝缘层,在图案结构上;堆叠结构,包括在第一半导体结构和图案结构之间交替地堆叠的栅电极层和层间绝缘层;沟道结构,延伸穿过堆叠结构;分离结构,延伸穿过堆叠结构,并分离堆叠结构。每个分离结构可以包括第一部分和第二部分,第一部分延伸穿过堆叠结构,第二部分从第一部分延伸并延伸穿过图案结构,并且第二半导体结构还可以包括间隔物层,该间隔物层将每个分离结构的第二部分与图案结构分离。

    半导体器件和包括该半导体器件的电子系统

    公开(公告)号:CN115701221A

    公开(公告)日:2023-02-07

    申请号:CN202210411018.5

    申请日:2022-04-19

    Abstract: 提供了半导体器件和包括该半导体器件的电子系统。所述半导体器件包括:电极结构,所述电极结构包括堆叠在基板上的电极和位于所述电极中的最上电极上的绝缘图案;垂直结构,所述垂直结构穿透所述电极结构并且连接到所述基板;第一绝缘层,所述第一绝缘层位于所述电极和所述垂直结构上;导电图案,所述导电图案穿透所述第一绝缘层并且连接到所述垂直结构;上水平电极,所述上水平电极位于所述导电图案上;以及上半导体图案,所述上半导体图案穿透所述上水平电极并且连接到所述导电图案。所述导电图案具有位于所述垂直结构上的第一侧表面和位于所述绝缘图案上的第二侧表面。

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