公开(公告)号：CN104049097B

公开(公告)日：2018-02-27

申请号：CN201410094387.1

申请日：2014-03-14

Applicant: FEI ,  公司

Inventor： M.施米德特 ,  S.斯通 ,  C.塞诺维奇

IPC: G01N35/10

CPC classification number: H01J37/3023 ,  G01N1/286 ,  H01J2237/201 ,  H01J2237/208 ,  H01J2237/31745

Abstract: 本发明公开了一种提取和处理多个样品用于S/TEM分析的改进的方法。本发明的优选实施例利用一种在堆叠形成中一次附接多个样品的显微操纵器和一种将每个样品放置到TEM栅格上的方法。通过使用一种允许加工多个样品的方法，样品制备的生产能力得到显著提高。

公开(公告)号：CN107068526A

公开(公告)日：2017-08-18

申请号：CN201610792406.7

申请日：2016-08-31

Applicant: 中航西安飞行自动控制技术有限公司

Inventor： 司超阳 ,  霍登平 ,  谌祖辉 ,  范恽 ,  杨兵

IPC: H01J37/20

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/201

Abstract: 本发明公开了一种用于微挠性零件表面形貌分析的夹持装置，包括外框(1)、台体(2)、盖板(3)和紧固螺钉(4)，其中，台体(2)嵌套在外框(1)内，外框(1)和台体(2)的厚度相同，两者嵌套安装后，两侧结合部位形成可以放置微挠性零件的沉槽，通过紧固螺钉(4)将盖板(3)固定在台体(2)上，从而夹持微挠性零件，将外框(1)从台体(2)上取下，所述微挠性零件的中部关键部位露出。

公开(公告)号：CN103492851B

公开(公告)日：2016-09-07

申请号：CN201280019427.5

申请日：2012-04-23

Applicant: FEI公司

Inventor： P.戈特利布

IPC: G01N1/28 ,  H01J37/20

CPC classification number: G01N1/28 ,  G01N1/06 ,  G01N1/286 ,  G01N1/36 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/201

Abstract: 通过一种大大减少样品制备时间和促进自动化的系统制作用于在分析仪器中使用的矿物样品。例如，在一些实现方式中，不是进行研磨以暴露出在环氧树脂化合物内包含矿物颗粒的样品塞中的矿物颗粒的内部，用锯将样品塞切成片，这在许多应用中更迅速地在所暴露的颗粒表面上提供足够光滑的表面，以便进行观察。不是缓慢地混合慢固化环氧树脂以避免向样品塞内引入泡沫，一些实现方式使用避免泡沫的快速沉淀固定剂和机械混合物。

公开(公告)号：CN102564818B

公开(公告)日：2016-03-23

申请号：CN201110318890.7

申请日：2011-08-01

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： L·莱克纳 ,  U·凯瑟 ,  J·比斯库佩克

IPC: G01N1/28 ,  G01N1/44

CPC classification number: G01N1/28 ,  G01N1/32 ,  H01J37/20 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/201 ,  H01J2237/20207 ,  H01J2237/31745 ,  Y10T428/24479

Abstract: 一种TEM-薄片制作方法包括将具有厚度的板状基底安装(51)在支撑件内；用粒子束在基底第一侧面上制作(53)相对支撑件成第一角度的第一条形凹部；及用粒子束在基底第二侧面上制作(55)相对支撑件成第二角度的第二条形凹部，使第一和第二条形凹部彼此成锐角或直角，且二者间形成厚度更小的交叠区域。薄片具有较厚的边缘区域和较薄的中央区域，其第一侧上有第一条形凹部，第二侧上有第二条形凹部，第一和第二条形凹部彼此成锐角或直角，且二者间形成厚度小于100nm的交叠区域。一种实施上述方法或制作上述薄片的设备包括可绕横轴和相对竖直方向倾斜的纵轴枢转的薄片支撑件、用于绕纵轴旋转的装置、及限制薄片支撑件绕横轴的倾侧的制动件。

公开(公告)号：CN104067368A

公开(公告)日：2014-09-24

申请号：CN201280067960.9

申请日：2012-12-03

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 寺田尚平 ,  谷口佳史 ,  长久保康平

IPC: H01J37/20

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/201 ,  H01J2237/20214 ,  H01J2237/2802

Abstract: 本发明的目的是提供一种能够配置多个试样台且至少一个试样台能够移动，并且能够利用聚焦离子束装置制作多个透射型电子显微镜用试样的电子显微镜用试样支架。在试样支架(1)的前端部设有支架前端开口部(9)。并且，在试样支架(1)的后端部具有按钮(5)、旋转机构(6)、粗调机构(7)以及连接器(8)。通过按压按钮(5)而使旋转机构(6)的固定被解除，从而从旋转机构(6)至后端部、以及试样支架的前端部进行旋转。利用本旋转机构，能够使利用透射型电子显微镜进行观察的情况和利用聚焦离子束装置制作透射型电子显微镜用试样的情况的试样的配置进行旋转。并且，能够利用粗调机构(7)及微调机构使试样台移动。

公开(公告)号：CN103928279A

公开(公告)日：2014-07-16

申请号：CN201410016917.0

申请日：2014-01-15

Applicant: FEI公司

Inventor： F.内德洛夫

IPC: H01J37/20 ,  G01N1/44

CPC classification number: H01J37/20 ,  G01N23/2204 ,  G01N23/2251 ,  H01J2237/201 ,  H01J2237/26

Abstract: 本发明公开了用于电子显微镜的样品载体。本发明涉及用于透射电子显微镜的样品载体（10）。当使用现有技术样品载体时，比如与检测器检测例如以大发射角发射的X射线相组合的半月形格子时，遮蔽是个问题。当执行其中样品在大角度内旋转的断层摄影时出现类似问题。本发明通过将毗连样品与格子之间的接口的格子部分（16）形成为锥形部分来提供针对遮蔽的技术方案。

公开(公告)号：CN103492851A

公开(公告)日：2014-01-01

申请号：CN201280019427.5

申请日：2012-04-23

Applicant: FEI公司

Inventor： P.戈特利布

IPC: G01N1/28 ,  H01J37/20

CPC classification number: G01N1/28 ,  G01N1/06 ,  G01N1/286 ,  G01N1/36 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/201

Abstract: 通过一种大大减少样品制备时间和促进自动化的系统制作用于在分析仪器中使用的矿物样品。例如，在一些实现方式中，不是进行研磨以暴露出在环氧树脂化合物内包含矿物颗粒的样品塞中的矿物颗粒的内部，用锯将样品塞切成片，这在许多应用中更迅速地在所暴露的颗粒表面上提供足够光滑的表面，以便进行观察。不是缓慢地混合慢固化环氧树脂以避免向样品塞内引入泡沫，一些实现方式使用避免泡沫的快速沉淀固定剂和机械混合物。

公开(公告)号：CN101921990B

公开(公告)日：2012-03-21

申请号：CN200910261623.3

申请日：2009-12-18

Applicant: 日新离子机器株式会社

Inventor： 立道润一 ,  小野田正敏 ,  织平浩一

IPC: C23C14/48

CPC classification number: H01L21/67213 ,  H01J37/20 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/201 ,  H01J2237/204 ,  H01J2237/31701 ,  H01L21/68764 ,  H01L21/68771

Abstract: 本发明提供一种离子注入装置，能统一对多个基板进行离子注入，且使各基板面内的离子注入量分布均匀。该离子注入装置包括：注入室(8)，被导入离子束(4)；托架(12)，把基板(10)沿X方向保持在第一列和第二列两列上；托架驱动装置(16)，能使托架(12)成水平状态且位于基板交换位置(48)，还能使托架(12)成立起状态，在离子束(4)的照射区域沿X方向往复直线驱动托架(12)。还具有两个加载互锁机构(20a，20b)、以及两个基板输送装置(30a，30b)，基板输送装置(30a，30b)各具有两个在各加载互锁机构(20a，20b)与基板交换位置(48)之间输送基板(10)的臂(32a～32d)。

公开(公告)号：CN1959416A

公开(公告)日：2007-05-09

申请号：CN200610143243.6

申请日：2006-11-01

Applicant: FEI公司

Inventor： H·G·塔佩尔 ,  I·J·B·希斯范 ,  D·兰克斯 ,  G·N·A·维恩范 ,  R·杨 ,  L·A·吉安努兹

IPC: G01N35/00 ,  G01N13/00 ,  H01J37/20

CPC classification number: H01L21/68 ,  G01R31/2898 ,  H01J37/20 ,  H01J37/3005 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/201 ,  H01J2237/202 ,  H01J2237/20207 ,  H01J2237/20214 ,  H01J2237/20221 ,  H01J2237/20242 ,  H01L21/68764

Abstract: 一种粒子光学设备，包括：第一源，用来沿第一轴线(A1)产生第一照射束(E)；第二源，用来沿第二轴线(A2)产生第二照射束(I)，第二轴线在束交叉点与第一轴线相交，第一和第二轴线(A1，A2)确定一个束平面。工作台组件(3)，它将样品安置在束交叉点(c)附近，此组件包括：可安装样品的样品台(21)；一组致动器，它实现样品台(21)沿以下方向的平动：基本平行于垂直束平面的X－轴线，平行于束平面的Y－轴线，和平行于束平面的Z－轴线，此X－轴线，Y－轴线和Z－轴线相互垂直且通过该束交叉点(c)。其特征是这组致动器安装成可实现：样品台(21)围绕基本平行于Z－轴线的旋转轴线(RA)旋转，和样品台(21)围绕基本垂直于Z－轴线的翻转轴线(FA)旋转，其中翻转轴线(FA)本身可以绕旋转轴线(RA)旋转。

公开(公告)号：CN104979151B

公开(公告)日：2018-11-30

申请号：CN201510171305.3

申请日：2015-04-13

Applicant: FEI ,  公司

Inventor： B.R.小劳思 ,  V.布罗登 ,  M.施米德特

IPC: H01J37/26 ,  G01N1/28

CPC classification number: H01J37/20 ,  G01N1/44 ,  H01J37/26 ,  H01J37/261 ,  H01J2237/08 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/201 ,  H01J2237/204 ,  H01J2237/2602 ,  H01J2237/31745

Abstract: 本发明涉及高容量TEM栅格，特别是一种TEM栅格提供立柱，立柱具有台阶，台阶增加了能附连到栅格上的样品数量。在某些实施例中，每个立柱包括单侧楼梯台阶配置。一种用于提取多种样品的方法包括提取样品并且将样品附连到立柱的不同楼梯台阶上。