一种涡旋光束激励的精密光栅位移测量装置及测量方法

    公开(公告)号:CN114739295B

    公开(公告)日:2023-06-16

    申请号:CN202210494629.0

    申请日:2022-05-07

    Abstract: 一种涡旋光束激励的精密光栅测量装置,本发明以携带拓扑电荷的涡旋光束作为光栅的激励光源,利用±m级衍射涡旋光束的干涉进行位移测量。涡旋光激励的精密光栅测量方法与装置中,被测位移移动p/m对应干涉花瓣图案旋转一周2π,则干涉图案旋转1°对应的被测位移量为p/360m。与采用传统光源激励的精密测量光栅方法相比,光栅干涉传感信号自身实现了更高的光学细分倍数。同时,光栅干涉传感信号的电子细分方法,由相位插值变为圆周角度细分,圆周具有360°的自然基准,避免了光栅干涉传感信号质量对相位插值细分有效性的影响,从原理上提升了精密光栅测量的分辨力及精度。

    一种光栅读数头辅助安装装置及安装方法

    公开(公告)号:CN116202429A

    公开(公告)日:2023-06-02

    申请号:CN202310209924.1

    申请日:2023-03-07

    Abstract: 本发明公开了一种光栅读数头辅助安装装置及安装方法,包括设置于读数头和光栅尺之间的柔性智能垫片,所述柔性智能垫片包括柔性腔体和布置于所述柔性腔体面向所述读数头一侧的外部的阵列式柔性薄膜压力传感器;所述柔性腔体内部经导液管与储液泵连通。本发明采用上述光栅读数头辅助安装装置及安装方法,在安装读数头时,首先将柔性智能垫片放至在读数头和光栅尺之间,再向柔性智能垫片充液至预设间隙,微调至读数头和光栅尺之间平行后,抽液降低柔性智能垫片的高度,即可将其由读数头和光栅尺之间取出,大大减小了对光栅尺的磨损,从而避免了柔性智能垫片取出时对光栅尺的划伤风险,同时提高了读数头的安装精度。

    一种声场力学势阱驱动的单细胞有序排列与包裹装置

    公开(公告)号:CN115678770A

    公开(公告)日:2023-02-03

    申请号:CN202211320817.8

    申请日:2022-10-26

    Abstract: 一种声场力学势阱驱动的单细胞有序排列与包裹装置,包括阿基米德螺旋形叉指换能器,阿基米德螺旋形叉指换能器上制作有阿基米德螺旋形叉指电极,阿基米德螺旋形叉指换能器上部制作有微阵列层,微阵列层上部制作有微流道系统,阿基米德螺旋形叉指换能器、微阵列层与微流道系统配合;本发明通过微流控芯片阿基米德螺旋形叉指换能器和微流道结构的匹配设计,构建声场力学势阱,驱动细胞有序排列,可实现单细胞的精准包裹;采用阿基米德螺旋形叉指换能器和微流道结构的螺旋结构设计,装置集成化高,体积小。

    一种用于磁栅尺的单场扫描装置及扫描方法

    公开(公告)号:CN115597477A

    公开(公告)日:2023-01-13

    申请号:CN202211266383.8

    申请日:2022-10-17

    Abstract: 一种用于磁栅尺的单场扫描装置,由M组扫描探测单元组成,每组扫描探测单元由N个微尺度霍尔元件构成。N个微尺度霍尔元件(编号为A1,A2,...,AN)等间距地分布在一个磁栅尺栅距Λ内,编号相同的微尺度霍尔元件信号线连接在一起。扫描时把用于感知磁栅尺磁场变化的霍尔元件在空间彼此混合,最终输出的传感信号由多个具有不同空间位置、相同相位关系的微尺度霍尔元件共同产生,相比与现有磁栅尺四场扫描方式,其具有误差均化效应,当磁栅尺局部污染或个别感应元件失效时,本发明依旧可以输出高质量、高可靠性的传感信号,从而提高磁栅尺的服役精度和可靠性。

    一种具有收线功能的精密定位平台及其使用方法

    公开(公告)号:CN116352665A

    公开(公告)日:2023-06-30

    申请号:CN202310324945.8

    申请日:2023-03-29

    Abstract: 本发明公开了一种具有收线功能的精密定位平台,涉及到定位平台技术领域,包括定位平台本体、压电驱动器和控制箱,所述定位平台本体上固定连接有一对固定杆,一对所述固定杆上固定连接有侧板,所述侧板上通过螺栓固定连接有一对第一滑板,一对所述第一滑板上滑动连接有第二滑板,所述第二滑板通过螺栓固定连接在置物台上,所述置物台的一侧固定连接有固定块。本发明结构合理,实现了通过夹持装置可以对材料进行初步定位,然后再通过操作控制箱使压电驱动器进行运作,便于对置物台的位置进行更加精确的定位,通过收卷组件可以对设备的线缆进行收卷起来,防止线缆留在置物台上,从而影响到材料的加工进度。

    一种用于磁栅尺的单场扫描装置及扫描方法

    公开(公告)号:CN115597477B

    公开(公告)日:2023-06-16

    申请号:CN202211266383.8

    申请日:2022-10-17

    Abstract: 一种用于磁栅尺的单场扫描装置,由M组扫描探测单元组成,每组扫描探测单元由N个微尺度霍尔元件构成。N个微尺度霍尔元件(编号为A1,A2,...,AN)等间距地分布在一个磁栅尺栅距Λ内,编号相同的微尺度霍尔元件信号线连接在一起。扫描时把用于感知磁栅尺磁场变化的霍尔元件在空间彼此混合,最终输出的传感信号由多个具有不同空间位置、相同相位关系的微尺度霍尔元件共同产生,相比与现有磁栅尺四场扫描方式,其具有误差均化效应,当磁栅尺局部污染或个别感应元件失效时,本发明依旧可以输出高质量、高可靠性的传感信号,从而提高磁栅尺的服役精度和可靠性。

    孪生结构光场动态调制的纳米位移传感器及其测量方法

    公开(公告)号:CN115854884A

    公开(公告)日:2023-03-28

    申请号:CN202211408267.5

    申请日:2022-11-10

    Abstract: 一种孪生结构光场动态调制的纳米位移传感器及测量方法,利用微纳光学结构干涉成像过程的自修复效应,孪生构建高精度(超越微纳结构本体精度)、高稳定(无热变形)的结构光场,作为测量基准。传感器包括光场孪生、光场调制、光场感知、解调电路等模块,测量过程为:所述光场孪生模块固定,投影结构光场作为测量基准;所述光场调制模块产生调制信号S1,调制得到动态结构光场;所述光场感知模块随被测目标运动,探测动态结构光场产生时空传感信号S2;所述解调电路模块,通过对S1和S2进行高频时钟脉冲插分,解得被测位移。本发明实现了测量基准从传统栅线向结构光场的演变、感知信息从传统空域向时空域的拓展,具有高精度、高分辨等特点。

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