公开(公告)号：CN118463858A

公开(公告)日：2024-08-09

申请号：CN202410570813.8

申请日：2024-05-09

申请人： 郑州轻工业大学

发明人： 叶国永 ,  贾贻斐 ,  杨宏杰 ,  何文斌 ,  赵峰 ,  杜文辽 ,  邬昌军 ,  明五一 ,  张亚琳 ,  李智超

IPC分类号： G01B11/27 ,  G01B11/00 ,  G01B11/02 ,  G01B9/02

摘要： 本发明公开了一种电子制造装备直线运动精度的超精密光栅干涉在位检测系统，包括线偏振激光器、保偏光纤、大量程一维反射光栅、迈克尔逊干涉模块、多普勒频移干涉模块、干涉信号解析模块、以及显示模块。线偏振激光器发射的激光经保偏光纤垂直入射至测量模块，通过迈克尔逊干涉模块得出直线度干涉信号，由多普勒频移干涉模块得出位移干涉信号；干涉信号解析模块从干涉信号中解析直线度及其位置信息，并显示于显示模块。该检测系统实现了直线度及其位置信息的超精密在位检测，为电子制造装备大量程精密运动平台运动精度监测和补偿提供了技术手段。