非接触式扫描反射镜大动态角度测量装置

    公开(公告)号:CN115031662A

    公开(公告)日:2022-09-09

    申请号:CN202210481414.5

    申请日:2022-05-05

    Abstract: 本发明公开了一种非接触式扫描反射镜大动态角度测量装置,包括:激光发射模块、空间滤波器、接收屏、分布式探测系统和主控计算机;激光发射模块产生圆形光斑作为测量目标,经过空间滤波器整形后进入被测扫描反射镜,经被测扫描反射镜反射后在接收屏接收激光光斑;分布式探测系统对接收屏上的激光光斑进行探测分析,将采集到的数据经缓存后上传至主控计算机;当被测扫描反射镜运动时,接收屏上的光斑图像位置发生变化,由此计算被测扫描反射镜的偏转角度。本发明实现了扫描反射镜大动态角度的绝对测量,可以达到亚像素级别的位置精度,并且误差不会随着角度的增加而增加;可以避免自准直仪测量时十字线目标亮度损失较大的问题。

    一种衍射光学元件的补偿加工方法

    公开(公告)号:CN114101716A

    公开(公告)日:2022-03-01

    申请号:CN202111391979.6

    申请日:2021-11-19

    Abstract: 本发明属于衍射光学零件的超精密制造技术领域,公开了一种衍射光学元件的补偿加工方法,该方法流程:首先进行衍射光学零件的金刚石车削加工,利用接触式轮廓仪进行面形轮廓检测,得到零件表面面形检测数据,根据衍射光学零件的理论方程对检测数据进行数据处理和拟合,得到衍射光学表面面形的误差数据,然后以此数据、理论方程和金刚石车刀的技术参数为基础计算出金刚石刀具补偿加工路径。本发明完整的解决了金刚石车削加工非球面基底的衍射光学零件高精度和高效问题。

    一种含有次镜调焦机构的共孔径光学系统装调方法

    公开(公告)号:CN110596910B

    公开(公告)日:2021-05-18

    申请号:CN201910881002.9

    申请日:2019-09-18

    Abstract: 本发明公开了一种含有次镜调焦机构的共孔径光学系统装调方法,属于高成像质量光学系统精密装调领域。其主要过程为:利用中心偏测量仪器确定次镜光轴和运动导轨轴线的偏差,通过测试次镜处于导轨两端时的中心偏差,来调整导轨的位置使次镜在两端时的中心偏差一致;然后按照原始零位位置(出射为平行光)装配次镜调焦机构,利用平面补偿器搭建光路,借助于干涉仪进行自准直调校,调整次镜调焦机构整体装配位置,使波像差在零位满足系统波像差要求。本方法解决了含有次镜调焦机构的共孔径光学系统高精度装调过程中存在的问题,具有仪器架设简单、操作方便、装调精度高等特点。

    二维快速控制反射镜角度温漂测量装置

    公开(公告)号:CN114993210A

    公开(公告)日:2022-09-02

    申请号:CN202210494119.3

    申请日:2022-05-05

    Abstract: 本发明公开了一种二维快速控制反射镜角度温漂测量装置,其包括:准直光发射模块、偏振分光系统、温度控制箱、光点位置传感器、数据采集传输模块和主控计算机;待测FSM布置在温度控制箱内;准直光发射模块发出的激光被偏振分光系统分为两部分,分别为S分量和P分量,S分量在经过温度控制箱的入射窗口后到达FSM,经FSM反射后,反射光出射后经偏振分光系统到达光点位置传感器,光点位置传感器将输出的信号转换后经数据采集传输模块上传至主控计算机,主控计算机通过PSD输出光电压和激光光斑的位移量,解算出FSM的角度变化量。本发明能够有效抑制普通分光棱镜所产生的鬼影现象,可以直接解算处FSM在在温度变化情况下的角度变化值。

    基于自适应理论光学系统加工误差的检测装置

    公开(公告)号:CN108827595B

    公开(公告)日:2020-07-14

    申请号:CN201810197931.3

    申请日:2018-03-12

    Abstract: 本发明公开了一种基于自适应理论光学系统加工误差的检测装置,采用点光源经扩束系统产生标准平面波,经透射被测光学系统,分光棱镜、移相器,以可变性反射镜作为反射波面,获取光学系统的干涉条纹,通过控制可变性反射镜的变形量获取均匀干涉条纹,则反射镜的变形量则为光学系统的系统加工误差。本发明的检测装置可以检测任意透射式光学系统,包含非球面、自由曲面等单个光学元件。本发明基于自适应理论采用干涉仪作为评判依据,通过移相器实现干涉条纹,采用可控变形反射镜的精确控制,调制出均匀的干涉条纹,采集反射镜的控制信息获取系统误差。本发明克服了以往光学系统无法测量系统加工误差的难点。

    一种用于大尺寸光学窗口零件面形和平行差开放式检测装置及检测方法

    公开(公告)号:CN110487208A

    公开(公告)日:2019-11-22

    申请号:CN201910786119.9

    申请日:2019-08-24

    Abstract: 本发明公开了一种用于大尺寸光学窗口零件面形和平行差开放式检测装置及检测方法,检测装置包括上平台,下平台,支架,升降螺杆,导轨,滑块,锁紧块,限位块,俯仰和旋转调整机构和载物台。通过升降螺杆调平上平台和下平台,形成大尺寸窗口零件开放式测试区域。该装置将干涉仪安装于上平台上,利用俯仰调整机构,使零件的表面像和干涉仪的标准像产生干涉,得到该区域的干涉条纹,获得该区域的干涉图样,再通过旋转和平移零件,实现大尺寸窗口零件全范围内的局部面形测试;利用零件两面产生的干涉条纹,获得干涉图样,根据等厚干涉平行差计算公式,得到该区域的平行差,再通过旋转和平移零件,实现大尺寸窗口零件全范围内的局部平行差测试。

    一种多维光学窗口零件的数控加工方法

    公开(公告)号:CN110394601A

    公开(公告)日:2019-11-01

    申请号:CN201910637479.2

    申请日:2019-07-15

    Abstract: 本发明公开了一种多维光学窗口零件的数控加工方法,所述方法过程为:通过涂覆保护漆和粘接胶带保护零件的两个抛光面,用滚圆胶将零件粘接于专用工装上,通过螺钉安装在机床安装面上;利用数控五轴磨削加工方法,先通过粗粒度磨轮铣磨零件侧面,铣磨成直边,再铣磨成斜边,然后通过细粒度砂轮铣磨零件斜面,完成零件的高精、无损成形加工。本发明多维光学窗口零件的数控加工方法通过对抛光零件两面的保护,一次装夹以及控制铣磨成形的运动轨迹,可实现对零件的高精、无损加工,经试验验证,加工出的零件完全满足设计要求,且成本低,效率高。

    一种用于大口径非球面反射镜定心装调的装置及方法

    公开(公告)号:CN106873122B

    公开(公告)日:2019-05-03

    申请号:CN201710061742.9

    申请日:2017-01-26

    Abstract: 本发明公开了一种用于大口径非球面反射镜定心装调的装置及装调方法,属于光机装调技术领域。其主要技术特点是,将待调非球面反射镜固定于定心装置的回转调节机构上,利用装置中的偏心测量系统实时测量非球面反射镜的光轴与基准轴之间的偏差,并在显示器上显示偏差的位置、方向,通过调整非球面反射镜的位置姿态,使反射镜光轴与基准轴的重合误差小于设计允差值,从而完成非球面反射镜的定心装调。本装置及方法解决了大口径旋转对称式非球面反射镜的的定心问题,具有仪器架设简单、操作方便、定心精度高等特点。

    一种用于降低非球面大口径中空反射镜粘接应力的方法

    公开(公告)号:CN108227111A

    公开(公告)日:2018-06-29

    申请号:CN201810079953.X

    申请日:2018-01-27

    Abstract: 本发明属于光机结构设计及光机装配领域,具体公开了一种用于降低非球面大口径中空反射镜粘接应力的方法。本发明包括大口径非球面主反射镜1、主镜框2、主镜压板3、压板橡胶垫4以及螺钉5,其中主镜框包括支撑台和注胶孔等装配结构,装配时,主反射镜与主镜框通过支撑台支撑,通过主镜压板及压板橡胶垫进行主镜辅助定位,通过注胶孔灌胶对主反射镜进行固定。该发明不仅可以降低主镜框对主反射镜的支撑应力,同时也可降低主反射镜在胶粘过程中产生的应力,减小主反射镜面型发生变化,保证主反射镜的面型精度及主反射镜相对主镜框的位置精度,进一步保证光学系统成像的质量。

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