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公开(公告)号:CN116683791A
公开(公告)日:2023-09-01
申请号:CN202310644441.4
申请日:2023-06-01
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本申请公开了一种带防振功能的发电装置、无线传感装置及发电系统,属于发电技术领域。该带防振功能的发电装置包括:挂接件、拾振梁、第一压电发电组件以及第二压电发电组件;第一压电发电组件包括第一安装框、第一压电发电件以及第一质量块,第二压电发电组件包括第二安装框、第二压电发电件以及第二质量块,第一压电发电件以及第一质量块均位于第一安装框中,且第一压电发电件的第一端与第一安装框的侧壁连接,第一压电发电件的第二端与质量框连接,第二压电发电件以及第二质量块均位于第二安装框中,且第二压电发电件的第一端与第二安装框的侧壁连接,第二压电发电件的第二端与质量框连接;拾振梁具有相对的第一面和第二面。
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公开(公告)号:CN116647165A
公开(公告)日:2023-08-25
申请号:CN202310667359.3
申请日:2023-06-06
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本申请实施例提供了一种多源发电装置及无线传感装置。该多源发电装置包括:底座、热电发电件、压电发电件、太阳能电池板以及电源管理模块;热电发电件包括位置相对的受热端以及散热端,受热端与底座贴合,压电发电件的一端固定于底座,太阳能电池片与压电发电件的另一端连接,电源管理模块固定于底座;热电发电件、压电发电件以及太阳能电池板均与电源管理模块电连接,电源管理模块用于与待供电件电连接;其中,热电发电件用于在热电发电件的受热端的温度大于散热端的温度情况下,产生电能;压电发电件用于在压电发电件晃动且弯曲的情况下,产生电能;太阳能电池板用于在太阳光照射在太阳能电池板上的情况下,产生电能。
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公开(公告)号:CN116164688A
公开(公告)日:2023-05-26
申请号:CN202310180628.3
申请日:2023-02-28
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01B21/04
Abstract: 本发明提供的一种计量标准器,包括工作区域和标识区域,其中,所述工作区域包括:十字结构四周工作区域、圆孔栅格工作区域、十字结构中心工作区域、组合式棋盘格结构工作区域、西门子星结构工作区域、横向长方形栅格工作区域、纵向长方形栅格工作区域、环状结构工作区域、以及、放射状圆孔组合结构工作区域;所述标识区域包括4:3图幅位置标识和标准器名称标识;本发明的计量标准器是不同尺寸和不同结构的集成,实现了一个标准器多种功能,在实际测量使用中做到不更换校准器就能实现多种校准功能,消除了因更换校准器而带来的误差,大大提高了计量标准器校准效率和生产效率。
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公开(公告)号:CN115973992A
公开(公告)日:2023-04-18
申请号:CN202211714828.4
申请日:2022-12-29
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了基于MEMS的耐高温柔性流速传感器芯片及其制备方法,所述流速传感器芯片包括柔性衬底和布置在柔性衬底上的温度补偿电阻对、测温电阻对和加热电阻,所述柔性衬底背面开设有空腔。本发明在热电阻周围对称布置测温电阻对,通过公用中央的加热电阻的方式,实现热损失和热温差两种测温原理的结合,有效提高了传感器的测速范围,该MEMS热式流速传感器具有测量范围广,具备更广泛的应用领域。本发明所述的传感器芯片的制备方法,制作方法简单、可靠性高、易于批量化生产、成本低。
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公开(公告)号:CN113295306B
公开(公告)日:2022-12-30
申请号:CN202110462455.5
申请日:2021-04-27
Applicant: 西安交通大学 , 陕西省计量科学研究院 , 西安航天动力研究所
Inventor: 赵立波 , 李学琛 , 韩香广 , 李伟 , 乔智霞 , 皇咪咪 , 徐廷中 , 杨萍 , 王李 , 陈翠兰 , 王鸿雁 , 关卫军 , 吴永顺 , 罗国希 , 王永录 , 魏于昆 , 山涛 , 蒋庄德
Abstract: 本发明公开了一种压阻梁应力集中微压传感器芯片及其制备方法,传感器芯片包括硅基底和玻璃基底,所述硅基底背面刻蚀有背腔,背腔的底面为承压薄膜,所述承压薄膜正面设置有第一压阻梁、第二压阻梁、第三压阻梁和第四压阻梁;所述第一压阻梁、第二压阻梁、第三压阻梁和第四压阻梁上分别布置有一个压敏电阻条,所述压敏电阻条的长度方向和其所在的压阻梁的长度方向相同,所述压敏电阻条通过金属引线以及金属焊盘连接形成惠斯通电桥。解决了传统梁结构上的压敏电阻条垂直梁结构所在直线布置,因此梁结构的宽度必须大于压敏电阻条的宽度导致梁结构不能做到较窄的问题。
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公开(公告)号:CN115200776A
公开(公告)日:2022-10-18
申请号:CN202210870988.1
申请日:2022-07-22
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种高频响微差压传感器芯片结构与制备方法,所述芯片结构包括承压膜片层、应力检测层与玻璃封装层,承压膜片层包括压力膜片和芯片固支端;应力检测层包括固定膜片、应力检测单元和锚点,压力膜片与固定膜片之间具有间隙,应力检测单元包括刚体模块、受压检测梁和受拉检测梁;锚点通过应力检测单元与固定膜片连接。本发明采用压力膜片与应力检测单元分离的结构,当传感器压力膜片底部受到压力载荷时,受压检测梁与受拉检测梁产生较大的应力集中,位于检测梁上的压敏电阻阻值发生较大变化,提升了传感器测量灵敏度。此外,该结构承压膜片与应力检测层分离,在保证测量灵敏度的同时,大大提升了固有频率。
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公开(公告)号:CN113746371A
公开(公告)日:2021-12-03
申请号:CN202110998561.5
申请日:2021-08-27
Applicant: 西安交通大学
IPC: H02N2/18
Abstract: 本发明公开了一种叠层阵列简支梁压电振动能量收集器及能量收集方法,能量收集器,包括框架、共质量块和压电双晶片,共质量块设置于框架的轴心,共质量块上在其相对的两侧分别连接相同数量的压电双晶片,共质量块同一侧的压电双晶片分布于共质量块的不同厚度上,共质量块两侧的压电双晶片分别一一相对设置;压电双晶片的两端分别与共质量块和框架连接。本发明叠层阵列简支梁压电振动能量收集器,由于简支梁横向振动占用限幅间距对于叠层是共享的,因此封装体积小,发电能量密度高。共用质量块的叠层阵列压电输出相位一致,可直接串联或并联,从而实现不同的输出电压,适应接口电路输入电压范围。
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公开(公告)号:CN111537396B
公开(公告)日:2021-02-19
申请号:CN202010335079.9
申请日:2020-04-24
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种多操作模式的压电黏度传感器芯片及其工作方法和制备方法,包括硅基底和硅微悬臂梁谐振器。通过MEMS工艺使硅微谐振悬臂梁结构覆盖有低应力氮化铝压电薄膜,双压电电极既可用于通入一定频率的交变电压并利用逆压电效应产生压电驱动力,也可将硅微悬臂梁谐振器的振动信号通过压电效应转化为可检测电压信号,四根压阻梁上的四个敏感压阻条通过压阻衔接梁上的金属引线构成惠斯通全桥,用于检测谐振应力并将其转化为电压信号输出,通过压电激励方式可以得到悬臂梁谐振器的面内振动模态,振动电信号的输出采用压电与压阻双检测模式,该黏度传感器芯片在流体中具备高品质因子,能够显著提升流体黏度的适用范围与测量精度。
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公开(公告)号:CN111537396A
公开(公告)日:2020-08-14
申请号:CN202010335079.9
申请日:2020-04-24
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种多操作模式的压电黏度传感器芯片及其工作方法和制备方法,包括硅基底和硅微悬臂梁谐振器。通过MEMS工艺使硅微谐振悬臂梁结构覆盖有低应力氮化铝压电薄膜,双压电电极既可用于通入一定频率的交变电压并利用逆压电效应产生压电驱动力,也可将硅微悬臂梁谐振器的振动信号通过压电效应转化为可检测电压信号,四根压阻梁上的四个敏感压阻条通过压阻衔接梁上的金属引线构成惠斯通全桥,用于检测谐振应力并将其转化为电压信号输出,通过压电激励方式可以得到悬臂梁谐振器的面内振动模态,振动电信号的输出采用压电与压阻双检测模式,该黏度传感器芯片在流体中具备高品质因子,能够显著提升流体黏度的适用范围与测量精度。
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公开(公告)号:CN118353342A
公开(公告)日:2024-07-16
申请号:CN202410453023.1
申请日:2024-04-16
Applicant: 西安交通大学
IPC: H02S10/10 , H02S40/44 , H02S40/42 , H02S40/22 , H02S10/40 , H02S10/20 , H02S40/30 , H02N11/00 , B63B35/00 , B63B17/00 , G01N27/12
Abstract: 本申请公开了一种光伏温差自供电的小船及无线监测系统,属于发电领域。包括:船体、光伏电池片以及热电片;光伏电池片以及热电片层叠设置于船体中,且热电片位于光伏电池片与船体的底部之间,光伏电池片具有受光面和背光面,受光面与背光面相对,热电片沿热电片的厚度方向具有相对的第一面和第二面,热电片的第一面与背光面接触,热电片的第二面朝向船体的底部;在光伏电池片的受光面受到阳光照射的情况下,光伏电池片将阳光转换为电能,且背光面的温度升高,以使热电片的第一面的温度高于热电片的第二面的温度,使热电片产生电能。
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