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公开(公告)号：CN102095781B
公开(公告)日：2012-09-05
申请号：CN201110038489.8
申请日：2011-02-16
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种碳纳米管薄膜电离式传感器及其检测单一气体浓度的方法，传感器包括三个依次分布的第一、第二和第三电极，第一电极设有透气孔，其内表面附着有分布着碳纳米管薄膜的金属膜基底；第二电极中心设有引出孔；第三电极板面设有盲孔；三个电极相互隔离。方法包括：1)放置三个不同极间距传感器；2)在电极上施加电压；3)测量各传感器离子流值；4)测得值与单一气体浓度、温度、湿度标定值组成样本，并与插值样本，构建气体浓度测量数据库；5)构建数据融合仪，建立单一气体浓度准确测量模型；6)传感器实测值输入测量模型，获得单一气体浓度准确测量值。该传感器检测气体灵敏度高，线性度好，准确度高。
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公开(公告)号：CN102081073B
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201110039988.9
申请日：2011-02-16
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种微纳米碳纳米管薄膜三电极传感器，包括三个自上而下依次分布的第一电极、第二电极和第三电极，第一电极设有透气孔，其内表面粘接有分布着碳纳米管薄膜的基底；第二电极由中心设有引出孔的引出极极板构成；第三电极由板面设有盲孔的收集极构成；该三个电极分别通过绝缘支柱相互隔离。该传感器结构简单，尺寸小，成本低，检测气体灵敏度高，线性度好，准确度高，适合于推广使用。
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公开(公告)号：CN102522282A
公开(公告)日：2012-06-27
申请号：CN201110384129.3
申请日：2011-11-28
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种光纤波导型光调制场发射纳米阴极及其制备方法。该光调制场发射的纳米阴极是指在光纤表面制作场发射纳米阴极，激光在沿光纤传播的途中将光能传递给场发射阴极，使得处于场发射阈值附近的纳米冷阴极在光场的作用下开启，以实现一种光调制的场发射冷阴极。从而为微波器件以及超快电子衍射系统或超快电子显微技术提供一种新型的微型化高频光脉冲调制场发射冷阴极电子源。
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公开(公告)号：CN102175755A
公开(公告)日：2011-09-07
申请号：CN201110037965.4
申请日：2011-02-16
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种碳纳米管薄膜微纳米电离式传感器及其制备方法，传感器包括三个自上而下依次分布的第一、第二和第三电极，第一电极设有透气孔，其内表面附着有分布着碳纳米管薄膜的金属膜基底；第二电极由中心设有引出孔的引出极极板构成；第三电极由板面设有盲孔的收集极构成；三个电极通过绝缘支柱隔离。方法包括：分别制作三个电极的掩模板，清洗硅片，溅射金属掩模；刻蚀金属掩模和图形、去除掩模、清洗硅片；溅射多层金属膜，制作金焊盘；丝网印刷绝缘浆料或者粘接聚合物绝缘条；在第一电极内侧面金属膜基底上生长或者丝网印刷碳纳米管薄膜；将三电极粘合，键合电极引线，封装传感器。该传感器结构简单，检测气体线性度好，准确度高。
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公开(公告)号：CN102109492A
公开(公告)日：2011-06-29
申请号：CN201110039229.2
申请日：2011-02-16
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01N27/66
Abstract: 本发明公开了一种碳纳米管薄膜电离式气体湿度传感器及其湿度测量方法，传感器包括三个依次分布的第一、第二和第三电极，第一电极设有透气孔，其内表面附着有分布着碳纳米管薄膜的金属膜基底；第二电极中心设有引出孔；第三电极板面设有盲孔；三个电极相互隔离。方法包括：1)放置气体湿度传感器；2)在电极上施加电压；3)测量传感器输出离子流值；4)测得值与气体湿度标定值组成样本，并与插值样本，构建气体湿度测量数据库；5)构建数据融合仪，建立气体湿度测量模型；6)传感器实测值输入测量模型，获得气体湿度准确测量值。该气体湿度传感器工作电压低，测量气体湿度灵敏度高，线性度好，准确度高，可用于各种气体的湿度测量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102095781A
公开(公告)日：2011-06-15
申请号：CN201110038489.8
申请日：2011-02-16
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种碳纳米管薄膜电离式传感器及其检测单一气体浓度的方法，传感器包括三个依次分布的第一、第二和第三电极，第一电极设有透气孔，其内表面附着有分布着碳纳米管薄膜的金属膜基底；第二电极中心设有引出孔；第三电极板面设有盲孔；三个电极相互隔离。方法包括：1)放置三个不同极间距传感器；2)在电极上施加电压；3)测量各传感器离子流值；4)测得值与单一气体浓度、温度、湿度标定值组成样本，并与插值样本，构建气体浓度测量数据库；5)构建数据融合仪，建立单一气体浓度准确测量模型；6)传感器实测值输入测量模型，获得单一气体浓度准确测量值。该传感器检测气体灵敏度高，线性度好，准确度高。
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公开(公告)号：CN102081068A
公开(公告)日：2011-06-01
申请号：CN201110039017.4
申请日：2011-02-16
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种碳纳米管薄膜三电极二氧化硫传感器及其浓度测量方法，传感器包括三个依次分布的第一、第二和第三电极，第一电极设有透气孔，其内表面粘接有分布着碳纳米管薄膜的基底；第二电极中心设有引出孔；第三电极板面设有盲孔；三个电极相互隔离。方法包括：1)放置三个不同极间距传感器；2)在电极上施加电压；3)测量各传感器离子流值；4)测得值与二氧化硫气体浓度、温度、湿度标定值组成样本，并与插值样本，构建气体浓度测量数据库；5)构建数据融合仪，建立二氧化硫气体浓度准确测量模型；6)传感器实测值输入测量模型，获得二氧化硫气体浓度准确测量值。该传感器检测气体灵敏度高，线性度好，准确度高。
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公开(公告)号：CN102081067A
公开(公告)日：2011-06-01
申请号：CN201110038488.3
申请日：2011-02-16
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种碳纳米管薄膜电离式二氧化氮传感器及其浓度测量方法，传感器包括三个依次分布的第一、第二和第三电极，第一电极设有透气孔，其内表面附着有分布着碳纳米管薄膜的金属膜基底；第二电极中心设有引出孔；第三电极板面设有盲孔；三个电极相互隔离。方法包括：1)放置三个不同极间距传感器；2)在电极上施加电压；3)测量各传感器离子流值；4)测得值与二氧化氮气体浓度、温度、湿度标定值组成样本，并与插值样本，构建气体浓度测量数据库；5)构建数据融合仪，建立二氧化氮气体浓度准确测量模型；6)传感器实测值输入测量模型，获得二氧化氮气体浓度准确测量值。该传感器检测气体灵敏度高，线性度好，准确度高。
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公开(公告)号：CN100346455C
公开(公告)日：2007-10-31
申请号：CN200410026130.9
申请日：2004-05-17
Applicant: 西安交通大学
IPC: H01L21/321 , H01L21/70 , H01L21/768 , B81B1/00
Abstract: 本发明公开了一种在腐蚀过程中保护微电子机械系统器件金属连线的密封方法，其步骤如下：1.将重量比为1∶0.4-0.6∶0.05-0.08的环氧树脂E-51#、邻苯二甲酸二丁酯、偶联剂KH-550混合搅拌；在以上混合物中加入质量为环氧树脂E-51#的1～1.2倍的聚酰胺200#，与以上混合物搅拌均匀；2.对毛玻璃的表面进行处理；3.对芯片表面进行处理；4.将密封胶涂在毛玻璃上，然后将芯片有金属线的一面盖到密封胶上，在密封胶固化后，将带有芯片的毛玻璃放到腐蚀液中进行腐蚀。5.腐蚀结束后，将带有芯片的毛玻璃加热，利用芯片和密封胶的热胀冷缩将密封胶去掉。该密封方法隔绝各向异性腐蚀液与铝等金属的接触来保护金属不受腐蚀液的侵蚀，给MEMS器件的制作带来了很大的方便。
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公开(公告)号：CN1267952C
公开(公告)日：2006-08-02
申请号：CN200410026103.1
申请日：2004-05-10
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种采用单独制作栅极(单制栅极)结构和银浆粘贴方法制作的场致发射显示器，它包括阳极面板、阴极面板、四周玻璃围框所构成的密封真空腔，阳极面板上有氧化铟锡透明导电薄膜和荧光粉层；四周玻璃围框上设置有排气孔；其特点是，密封真空腔内还设置有隔离支柱和单制栅极结构，阴极面板上有利用银浆粘贴固定的阴极层。本发明制备简单，提高了栅极和碳纳米管阴极之间的绝缘度；本发明采用阴极板银浆粘贴固定技术，既实现了阴极硅片的装配和固定，也避免了器件高温烧结过程中阴极玻璃面板(或硅片)的碎裂，实现了整体器件的完好封装，同时，它不需要占据器件内部使用空间，减少了安装固定阴极的元件。
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