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公开(公告)号：CN111510102B
公开(公告)日：2023-09-26
申请号：CN202010076561.5
申请日：2020-01-23
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 提供振动器件、振动模块、电子设备以及移动体，能够抑制布线彼此的意料之外的短路。振动器件具有：基座；振动元件，其安装在所述基座上；盖体，所述振动元件收纳在该盖体与所述基座之间；以及导电性的接合部件，其位于所述基座与所述盖体之间，将所述基座与所述盖体接合，所述基座具有：振动元件载置面，其安装有所述振动元件；第1布线和第2布线，它们配置在所述振动元件载置面上，与所述振动元件电连接；以及接合面，其经由所述接合部件与所述盖体接合，在振动元件载置面与所述接合面之间具有阶差。
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公开(公告)号：CN115021707A
公开(公告)日：2022-09-06
申请号：CN202210196319.0
申请日：2022-03-01
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 振动器件。提供能够提高可靠性的振动器件。振动器件具有：基座；振动元件，其配置于基座；环状的树脂体，其与基座接合，在俯视观察时包围振动元件；以及盖，其被配置成与基座一起夹着振动元件，在树脂体的与盖对置的表面配置有第1金属层，在盖的与树脂体对置的表面配置有第2金属层，第1金属层和第2金属层被接合，由此，振动元件被基座、树脂体和盖密封。
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公开(公告)号：CN100503251C
公开(公告)日：2009-06-24
申请号：CN200510131045.3
申请日：2005-12-07
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 提供具有施加相同电压时发生压力高且绝缘耐性优异的绝缘膜的静电驱动器、液滴喷头及液滴喷出装置，其对形成有振动板的腔室基板和形成有与该振动板隔开间隙对置的对置电极的玻璃电极基板进行接合，在腔室基板的对置电极一侧的表面形成有绝缘膜，通过外加电压使振动板向对置电极一侧弯曲，在振动板上作为绝缘膜层叠有高介电常数膜和覆盖高介电常数膜表面用于抑制残余电荷的表面层，高介电常数膜由氧氮化硅、氧化铝、氧化钽、氮化铪硅酸盐或氧氮化铪硅酸盐中任意一种构成，表面层由氧化硅或氮化硅构成，在腔室基板的与玻璃电极基板相接合的接合部分作为绝缘膜形成有不层叠高介电常数膜的氧化硅膜，腔室基板与玻璃电极基板经由氧化硅膜进行阳极接合。
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公开(公告)号：CN101219599A
公开(公告)日：2008-07-16
申请号：CN200810002325.8
申请日：2008-01-08
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/14314 , B41J2/16 , B41J2/1606 , B41J2/1628 , B41J2002/14411 , B41J2202/03 , C23C16/40 , H02N1/004
Abstract: 本发明提供了一种用于静电驱动方式的喷墨头等的静电执行机构、液滴喷出头、它们的制造方法、以及液滴喷出装置。在静电执行机构的绝缘结构中，可使静电执行机构的产生压力得到提高，并可实现提供驱动的稳定性及驱动耐久性。本发明的静电执行机构包括：固定电极(5)，形成在基板上；可动电极(6)，隔着规定间隔与该固定电极(5)对置配置；以及驱动单元，使固定电极(5)与可动电极(6)之间产生静电力，并使可动电极(6)发生位移，在静电执行机构中，在固定电极(5)和可动电极(6)中至少一个的对置面上形成有由HfxAlyOz膜构成的绝缘膜(7)。
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公开(公告)号：CN1907710A
公开(公告)日：2007-02-07
申请号：CN200610107671.3
申请日：2006-07-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种以低电压驱动可得到大的振动板位移量的静电激励器。并且，提供具备该静电激励器的液滴喷头、液滴喷头的驱动方法以及静电激励器的制造方法。所述静电激励器具备：振动板(4)、与振动板(4)隔着间隙(10)对置且在与振动板(4)之间施加有电压的个别电极(11)、和在振动板(4)的与个别电极(11)的对置面形成的绝缘膜(4a)，绝缘膜(4a)被驻极体化。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1298612C
公开(公告)日：2007-02-07
申请号：CN00800475.7
申请日：2000-03-31
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B81B1/00 , H01R11/01 , B41J2/045 , G02F1/1345
CPC classification number: H05K3/361 , B41J2/14233 , B41J2/14274 , B41J2/14314 , B41J2002/14491 , G02F1/13452 , H01R12/62 , H01R12/7076 , H01R31/06 , H05K3/323 , H05K2201/09036
Abstract: 本发明提供一种连接器，在基板上形成多个第一端子电极和多个第二端子电极、和导电性地连接上述第一端子电极和上述第二端子电极、并且变换上述第一端子电极间的间距和上述第二端子电极间的间距的布线，其特征在于：在上述第一端子电极间，形成从该第一端子电极面凹陷的槽部，上述布线形成在与上述第一端子电极同一平面上。
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公开(公告)号：CN1847003A
公开(公告)日：2006-10-18
申请号：CN200610074381.3
申请日：2006-04-14
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/16 , B41J2/14314 , B41J2/1623 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1632 , B41J2/1642 , B41J2/1646
Abstract: 提供一种实现振动板与对置电极之间的残留电化影响的降低，从而可以进行稳定的驱动的静电驱动器。静电驱动器具有由硅构成的振动板(12)、隔有间隙(10)地对置于振动板(12)且在与振动板(12)之间施加电压的对置电极(17)、以及形成在振动板(12)的与对置电极(17)的对置的面上的绝缘层(16)，绝缘层(16)是成膜于振动板(12)上的由介电常数比氧化硅高的物质构成的电介质层(16B)、和成膜于电介质层(16B)上的表面电荷密度的抑制率比电介质层(16B)高的表面层(16C)的叠层构造。
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公开(公告)号：CN1188277C
公开(公告)日：2005-02-09
申请号：CN00108312.0
申请日：2000-03-09
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/04578 , B41J2/04588 , B41J2/04596 , B41J2/14314 , B41J2/16517 , B41J2/16526 , B41J29/393
Abstract: 本发明提供一种喷墨记录装置的控制方法，该方法不会导致打印速度降低，可进行使各墨喷嘴中的墨微小气泡产生微振动的空载驱动动作，从而防止喷嘴堵塞。在喷墨记录装置中，喷墨头(30)以保持于滑架(302)上的方式移动。在对记录媒体进行打印动作(框B2)之前，在通过滑架(302)使喷墨头(30)移动期间，进行空载驱动动作(方框B31)。因此，由于不必为了进行空载驱动动作而先行进行打印动作，这样可在不使打印速度降低的情况下，通过空载驱动动作而防止墨喷嘴的堵塞。
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公开(公告)号：CN1182965C
公开(公告)日：2005-01-05
申请号：CN00104971.2
申请日：2000-04-05
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/14
CPC classification number: B41J2/155 , B41J2/14314 , B41J2202/19 , B41J2202/20
Abstract: 在通过孤立地配置喷墨头单元构成的行喷墨头中，根据简单的作业高精度地进行孤立配置的喷墨头单元相互的对位。行喷墨头在形成于头单元安装基板(2)两侧的头单元安装面(103、104)上，交互地配置喷墨头单元(105(1)～105(4))使得成为孤立形。如果高精度地形成头单元安装面，则由于在其上面仅粘接固定各喷墨头单元，因此使得孤立配置的喷墨头相互高精度地进行对位。
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公开(公告)号：CN1056803C
公开(公告)日：2000-09-27
申请号：CN94109184.8
申请日：1994-07-14
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/04536 , B41J2/04541 , B41J2/04578 , B41J2/14314
Abstract: 一种喷墨记录装置及其控制方法。该装置包括喷墨头和驱动装置，喷墨头包括一个或多个喷嘴(4)；一个与喷嘴相连通的油墨通道；和一个包括有一对电容器平板的静电致动器，一个平板由位于油墨通道内的隔膜构成或附着到该隔膜上，另一个平板由一个位于与隔膜相对的所述墨水通道外侧的电极构成，两电容器平板之间有一个间隙；驱动装置使致动器有选择地充放电而通过静电力使隔膜位移，因而使喷嘴喷射墨滴。
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