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公开(公告)号：CN110837214A
公开(公告)日：2020-02-25
申请号：CN201911050366.9
申请日：2019-10-31
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明属于光学仪器仪表设备技术领域，提供了一种扫描干涉光刻系统，包括外差光路、第一干涉光路、第二干涉光路、运动台和控制子系统；运动台，所述运动台上承载基底，以位移测量干涉仪测量运动台的位移，第一束光和第二束光在基底上聚焦干涉曝光；控制子系统根据各种测量信息生成指令，对相应器件的角度或者光束的相位进行调节，完成对第一束光和第二束光干涉曝光条纹相位漂移的锁定。本发明的扫描干涉光刻系统具有条纹图形锁定精度高、激光利用率高等优点，利用外差相位计测量曝光光束的相位，位移测量干涉仪测量运动台的运动误差，通过控制子系统进行补偿控制曝光干涉条纹，可用于制造大面积高精度密栅线渐变周期光栅。
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公开(公告)号：CN110716397A
公开(公告)日：2020-01-21
申请号：CN201911050178.6
申请日：2019-10-31
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技股份有限公司
Abstract: 本发明属于光学仪器仪表设备技术领域，公开了一种激光干涉光刻中的曝光光束相位测量方法，从激光干涉光刻的曝光光束中分离出测量光输入激光相位测量干涉仪对激光干涉光刻的曝光光束进行相位测量，再引入与激光干涉光刻曝光光束同源的参考光束也输入激光相位测量干涉仪，由激光相位测量干涉仪处理形成干涉测量光信号，进行解算得到激光干涉光刻的曝光光束的相位。本发明公开了一种激光干涉光刻系统，包括激光相位测量干涉仪、控制器和相位调制器，采用前述激光干涉光刻中的曝光光束相位测量方法，用激光相位测量干涉仪测量曝光光束相位是否漂移，由控制器控制相位调制器进行相位调制，完成对曝光条纹相位漂移的锁定，实现高精度变周期光栅的制作。
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公开(公告)号：CN109229424A
公开(公告)日：2019-01-18
申请号：CN201811066863.3
申请日：2018-09-13
Applicant: 清华大学
Abstract: 一种多自由度球形电动式磁悬浮动量轮，由外部支承组件、球形驱动电机及内部电动式磁悬浮动量轮组成；外部支承组件对球形驱动电机定子进行定位固定，同时为球形动子提供球面支承；在球形驱动电机定子线圈阵列中通入不同相位的正弦交流电，形成不同方向的行波磁场，可驱动整个球形动子的空间朝向发生改变，进而实现对磁悬浮动量轮转轴空间朝向的大范围内调节；同时根据电动式驱动原理，对内部电动式磁悬浮动量轮进行稳定悬浮与绕轴旋转一体驱动，从而实现对内部磁悬浮动量轮的转轴方向及转速大小的完全控制,最终能够实现对航天器姿态的多轴主动控制。
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公开(公告)号：CN106225685B
公开(公告)日：2018-11-30
申请号：CN201610743563.9
申请日：2016-08-26
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技股份有限公司
Abstract: 一种硅片台大行程三自由度测量系统属于半导体制造装备技术领域，应用于硅片台在玻璃基板平面内沿X方向、Y方向和θz方向做平面三自由度运动的测量。该测量系统包含玻璃基板平面、硅片台、一维光电编码器。玻璃基板分成宽度相等的几部分，每部分刻有间距相等且相互平行的标志线，相邻两部分的标志线方向相互垂直。按要求在硅片台下表面布置四对一维光电编码器。当硅片台在玻璃基板表面运动时，采集三个或四个有效光电编码器的数据计算得出硅片台在xy平面内的位移和绕z轴的转动。这种测量系统可实现硅片台在玻璃基板上大行程运动过程中任意时刻的三自由度位移和角度的测量。
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公开(公告)号：CN105403140B
公开(公告)日：2018-10-30
申请号：CN201510959014.0
申请日：2015-12-18
Applicant: 清华大学
IPC: G01B7/02
Abstract: 本发明是一种基于磁场的六自由度位移测量方法，该方法是利用合理分布的永磁体在空间内构建出特殊分布的磁场，在其产生的磁场空间范围内布置磁传感器，用于接收磁感应强度信号，并将磁传感器固结于运动物体上使之跟随运动，进而利用磁感应强度和空间位置坐标间的关系建立对应的数学模型求解位置方程，从而实现高精度的位移测量。本发明可解决由于安装位置或测量手段有限带来的在工业领域无法进行三自由度以及更高自由度的测量的问题。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108345181A
公开(公告)日：2018-07-31
申请号：CN201810271724.8
申请日：2018-03-29
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种具有二级防撞保护结构的硅片台双台交换系统，主要应用于半导体光刻设备中。在硅片台双台交换系统中不仅设有气囊装置，在每个硅片台上均配备一套用来保护其内部部件免受碰撞和损害的缓冲装置，共同构成了硅片台的双重安全防撞系统，该双重防撞保护系统具有防撞效果好，质量轻且结构紧凑，避免了硅片台体积过大而造成的行程减小的缺点，以及便于在碰撞发生后迅速恢复等特点；与现有技术相比，大大提高了对硅片台内部结构的安全防护能力，大大减少了碰撞对硅片台零部件造成的损伤。
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公开(公告)号：CN107860318A
公开(公告)日：2018-03-30
申请号：CN201711116154.7
申请日：2017-11-13
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技股份有限公司
CPC classification number: G01B11/02 , G01B9/02015 , G01B9/02075 , G01D5/266 , G01D5/268 , G01D5/38
Abstract: 一种平面光栅干涉仪位移测量系统，包括单频激光器、分束器、声光调制器、光栅干涉仪、平面光栅、接收器、电子信号处理部件、光纤耦合器和频率合成器；光栅干涉仪包括偏振分光镜、折光元件、后向反射器和四分之一波片；该测量系统基于光栅衍射、光学多普勒效应和光学拍频原理实现位移测量。当光栅干涉仪与平面光栅做二自由度线性相对运动时，系统可输出二个线性位移。该测量系统能够实现亚纳米甚至更高分辨率及精度，且能够同时测量二个线性位移；具有测量精度高和结构简单等优点，其作为光刻机超精密工件台位置测量系统可提升工件台综合性能。
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公开(公告)号：CN107748540A
公开(公告)日：2018-03-02
申请号：CN201710965002.8
申请日：2017-10-17
Applicant: 清华大学
IPC: G05B19/404
Abstract: 一种基于牛顿法的多轴系统轮廓误差估计及迭代控制方法，属于多轴系统运动控制领域。所述方法利用牛顿法计算得到轮廓误差的准确值，并通过迭代学习的方式减小轮廓误差，以实现良好的多轴协调控制性能。所述方法中包括轮廓误差估计与轮廓误差控制两个部分：前者利用牛顿法，通过极值搜索的方式计算得到轮廓误差点(距离当前位置最近的期望点)；后者利用轮廓误差点与当前位置的偏差作为迭代信息，通过迭代的方式生成并优化轨迹前馈补偿，从而实现轮廓控制性能的提升。本发明利用了牛顿法数值计算精确的特点，有效克服了传统轮廓控制方法在复杂轮廓情况下跟踪不准确的问题，且控制器结构简单，能够实现优良的轮廓控制效果。
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公开(公告)号：CN106059418A
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：CN201610438862.1
申请日：2016-06-17
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技股份有限公司
IPC: H02P21/00
CPC classification number: H02P21/0014
Abstract: 一种永磁同步直线电机神经网络自适应轨迹跟踪控制方法，属于直线电机运动控制技术领域。该方法利用神经网络控制器的非线性映射能力建立永磁同步直线电机的模型估计与补偿环节，以实现电机良好的轨迹跟踪性能。所述控制方法中包括基于径向基函数(RBF)的神经网络控制器、带有反馈增益的鲁棒控制器两部分，分别用来进行模型估计补偿和抑制建模误差的影响；本发明利用了神经网络的非线性逼近特性，建立了永磁同步直线电机模型非线性补偿环节，有效克服了电机运行过程中死区、推力波动等非线性因素的影响，有较强抗干扰能力和良好的稳定性，可实现良好的轨迹跟踪性能。
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公开(公告)号：CN105865443A
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201610251492.0
申请日：2016-04-21
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技股份有限公司
IPC: G01C21/00
CPC classification number: G01C21/00
Abstract: 基于一维运动机构和二维位置传感器的六自由度定位系统，该系统包括半导体激光器、光纤准直器、光纤分路器、滤光片、两个一维运动机构、三个PSD传感器及信号处理系统。半导体激光器发射的激光照射到光纤准直器，后经光纤分路器分成三路，三路光经输出光纤和滤光片后，分别由三个PSD传感器接收；激光光斑在三个PSD传感器的位置和两个一维运动机构的位移经信号处理系统处理，得到空间六自由度的物体位姿。该定位系统采用非接触式测量，避免线缆对平台运动精度的影响，并采用一维运动机构进行跟踪测量，解决了二维位置敏感传感器测量行程不足的问题，具有定位精度高、测量行程大、响应快、结构简单及成本低的特点。
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