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公开(公告)号：CN109229424A
公开(公告)日：2019-01-18
申请号：CN201811066863.3
申请日：2018-09-13
Applicant: 清华大学
Abstract: 一种多自由度球形电动式磁悬浮动量轮，由外部支承组件、球形驱动电机及内部电动式磁悬浮动量轮组成；外部支承组件对球形驱动电机定子进行定位固定，同时为球形动子提供球面支承；在球形驱动电机定子线圈阵列中通入不同相位的正弦交流电，形成不同方向的行波磁场，可驱动整个球形动子的空间朝向发生改变，进而实现对磁悬浮动量轮转轴空间朝向的大范围内调节；同时根据电动式驱动原理，对内部电动式磁悬浮动量轮进行稳定悬浮与绕轴旋转一体驱动，从而实现对内部磁悬浮动量轮的转轴方向及转速大小的完全控制,最终能够实现对航天器姿态的多轴主动控制。
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公开(公告)号：CN105141089A
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：CN201510587640.1
申请日：2015-09-15
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技有限公司
Abstract: 一种磁流体动量球，用于卫星姿态调整，所述磁流体动量球包含定子和一个球壳；所述定子分为三组，三组定子的轴线相互正交，每组包括两个定子，每组中的两个定子以球壳的球心对称布置，定子内表面为球面；所述球壳采用两个半球壳组合而成，球壳材料为非铁磁性材料，定子内表面紧贴球壳外表面，球壳和定子内表面无相对运动，球壳内填充磁流体。本发明中采用磁流体的转动进行卫星姿态调整，体积和质量小，成本低，各轴之间耦合小；本发明中磁流体动量球的球壳不转动，制造简单，结构紧凑；磁流体与球壳之间的摩擦小、损耗低，可靠性和效率高。
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公开(公告)号：CN104049472A
公开(公告)日：2014-09-17
申请号：CN201410306905.1
申请日：2014-06-30
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技有限公司
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/20
Abstract: 一种电磁弹射启动式掩模台系统，用于光刻机系统中，所述掩模台系统包含底座、平衡块组件、掩模台动台和测量系统。所述平衡块组件包括平衡块、掩模台YZ向电机线圈和掩模台X向电机线圈；所述掩模台动台包括掩模台动台基底、掩模台YZ向电机磁钢阵列和掩模台X向电机磁钢阵列；所述电磁弹射启动式掩模台系统还包括弹射结构，所述弹射结构包括弹射结构定子磁钢阵列、弹射结构动子磁钢阵列、弹射台、弹射台电机动子、弹射台电机定子和导轨。本发明采用弹射结构，提高了光刻机掩模台的启动和停止阶段的加速度，减小了加速时间，降低了能耗和对驱动器的要求。
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公开(公告)号：CN103956880A
公开(公告)日：2014-07-30
申请号：CN201410222778.7
申请日：2014-05-23
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技有限公司
Inventor： 张鸣 , 朱煜 , 陈安林 , 支凡 , 杨开明 , 成荣 , 刘召 , 蔡田 , 张利 , 秦慧超 , 赵彦坡 , 胡清平 , 田丽 , 叶伟楠 , 张金 , 尹文生 , 穆海华
IPC: H02K41/03
Abstract: 一种动铁式直线电机多盘式线圈切换装置及方法，所述切换装置含有布置在一根转轴上的多相圆盘组，每一相圆盘组包含线圈圆盘和驱动器圆盘，线圈圆盘上布置有线圈电极，驱动器圆盘上布置有驱动器电极，每一相线圈通过导线与该相线圈电极相连，每一相驱动器通过导线与该相驱动器电极相连，线圈圆盘和驱动器圆盘随着磁钢阵列的运动而绕着转轴相对转动，实现线圈电极与驱动器电极的接触与分离，从而实现驱动器对线圈阵列中不同相线圈的供电。本发明降低能耗和电机发热，减少驱动器数量，能够实现在动铁式直线电机行程较大，参与切换的线圈数量较多的场合中线圈的有效切换。
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公开(公告)号：CN105045042B
公开(公告)日：2017-06-16
申请号：CN201510197948.5
申请日：2015-04-23
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技有限公司
CPC classification number: G01B11/14 , G01B11/002 , G01B11/272 , G01D5/38 , G03F7/70758 , G03F7/70775 , G03F9/7046
Abstract: 一种硅片台曝光区域六自由度位移测量方法，应用于硅片台曝光区域的六自由度位移测量。硅片台包含线圈阵列和运动台，运动台磁钢阵列的下方固定平面光栅，将读数头固定在线圈阵列的空隙中，读数头中心线和透镜的中心线重合；读数头的测量光束入射在平面光栅上形成测量区域，测量区域的中心和曝光区域的中心在同一竖直线上；将曝光区域覆盖的那部分运动台近似为刚体，当运动台运动或由于振动发生变形时，由读数头测量得到测量区域的六自由度位移解算得到曝光区域的六自由度位移。实现了硅片台运动过程中任意时刻曝光区域的六自由度位移测量，降低测量复杂性，提高测量精度，尤其在运动台柔性较大时仍能精确测量任意时刻曝光区域的六自由度位移。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109104125B
公开(公告)日：2019-10-25
申请号：CN201810707358.6
申请日：2018-07-02
Applicant: 清华大学
Abstract: 一种感应式驱动的气浮动量球系统。包括：气浮动量球模块、传感器测量组件、上位机控制器及驱动模块。气浮动量球模块包括定子阵列、球形动子和气浮组件。球形动子由气浮组件支承悬浮，由定子阵列驱动旋转。传感器测量组件包括力/力矩测量组件和转速测量组件。转速测量组件包括测量框架与鼠标传感器，通过测量框架准确测量传感器空间位置，结合鼠标传感器的线速度测量，解算出球形动子的转速，用于反馈控制。上位机控制器根据解算得到的转速信号，通过驱动器对各定子线圈进行电流分配，从而实现对气浮动量球绕任意轴转动控制。
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公开(公告)号：CN109347284A
公开(公告)日：2019-02-15
申请号：CN201811156737.7
申请日：2018-09-30
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了一种电动式磁悬浮双框架动量球装置，用于航天器姿态控制系统执行机构。由电动式磁悬浮驱动电机模块、内调节框架、外调节框架及端部支承锁紧机构组成，电动式磁悬浮驱动电机模块通过轴和支承锁紧机构与内调节框架连接，内调节框架通过轴和支承锁紧机构与外调节框架相连。电动式磁悬浮驱动电机模块由两层并列的定子阵列、球形动子及中心保持架构成。通过对定子线圈施加不同频率、幅值和相位的正弦交流电，形成不同方向的旋转磁场，进而驱动球形动子稳定磁悬浮的同时实现旋转驱动，根据角动量守恒原理，结合支承锁紧机构的锁紧与解锁功能切换，实现航天器姿态三轴稳定可控。
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公开(公告)号：CN104753273B
公开(公告)日：2017-06-13
申请号：CN201510197943.2
申请日：2015-04-23
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技有限公司
Abstract: 一种磁悬浮动量球，用于航天器姿态调整，磁悬浮动量球包含一个球壳形动子和多个定子，所述定子有三组，每组包含两个以动子的球心为对称中心的定子，三组定子的轴线相互正交，每个定子包含定子铁芯和线圈阵列，定子铁芯与动子相配合的内表面为球面，并和动子的外表面留有气隙，定子铁芯沿径向开有通槽，通槽在定子铁芯的圆周上均匀分布；线圈阵列采用盘式电机定子绕组，线圈阵列中每个线圈的两个有效边分别放置于定子铁芯的两个通槽内。本发明成本低，悬浮、旋转驱动一体化，结构简单紧凑，体积小质量轻，并且属于固有的稳定悬浮，悬浮控制简单。
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公开(公告)号：CN103956880B
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201410222778.7
申请日：2014-05-23
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技有限公司
Inventor： 张鸣 , 朱煜 , 陈安林 , 支凡 , 杨开明 , 成荣 , 刘召 , 蔡田 , 张利 , 秦慧超 , 赵彦坡 , 胡清平 , 田丽 , 叶伟楠 , 张金 , 尹文生 , 穆海华
IPC: H02K41/03
Abstract: 一种动铁式直线电机多盘式线圈切换装置及方法，所述切换装置含有布置在一根转轴上的多相圆盘组，每一相圆盘组包含线圈圆盘和驱动器圆盘，线圈圆盘上布置有线圈电极，驱动器圆盘上布置有驱动器电极，每一相线圈通过导线与该相线圈电极相连，每一相驱动器通过导线与该相驱动器电极相连，线圈圆盘和驱动器圆盘随着磁钢阵列的运动而绕着转轴相对转动，实现线圈电极与驱动器电极的接触与分离，从而实现驱动器对线圈阵列中不同相线圈的供电。本发明降低能耗和电机发热，减少驱动器数量，能够实现在动铁式直线电机行程较大，参与切换的线圈数量较多的场合中线圈的有效切换。
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公开(公告)号：CN103973074B
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：CN201410222779.1
申请日：2014-05-23
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技有限公司
Inventor： 朱煜 , 张鸣 , 陈安林 , 支凡 , 成荣 , 杨开明 , 蔡田 , 张利 , 秦慧超 , 赵彦坡 , 胡清平 , 田丽 , 叶伟楠 , 张金 , 尹文生 , 穆海华 , 胡金春 , 刘召
IPC: H02K41/02
Abstract: 一种动铁式直线电机单盘式线圈切换装置及方法，所述切换装置含有线圈圆盘和驱动器圆盘，线圈圆盘上布置有线圈电极，驱动器圆盘上布置有驱动器电极。线圈阵列中的线圈通过导线与线圈电极相连，驱动器通过导线与驱动器电极相连。线圈圆盘和驱动器圆盘随着磁钢阵列的运动而绕着转轴相对转动，实现线圈电极与驱动器电极的接触与分离，从而实现驱动器对线圈阵列中不同线圈的供电。本发明实现了动铁式直线电机线圈的每一相单独切换，降低了发热并减少了驱动器数量，结构简单，不需要复杂的控制，解决了漏电流和电子切换时间延迟等问题。
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