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公开(公告)号：CN119085479B
公开(公告)日：2025-03-04
申请号：CN202411596601.3
申请日：2024-11-11
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心
Inventor： 卞殷旭
IPC: G01B9/02001 , G01B9/02055 , G01B11/24
Abstract: 本申请涉及干涉测量技术领域，公开了一种反射式点衍射干涉仪以及面型测量方法，其中，衍射板上设有截面为椭圆形的针孔，其中：第一偏振光入射至针孔的第一主光轴，第二偏振光入射至针孔的第二主光轴，且第一偏振光和第二偏振光的偏振方向相互垂直；针孔在第一主光轴和第二主光轴方向上的投影均为圆形；第一偏振光透过针孔发生衍射形成第一球面波，作为干涉测量的参考光；第二偏振光透过针孔发生衍射形成第二球面波并照向待测镜，经待测镜反射，在紧靠针孔处聚焦并反射后，作为干涉测量的测试光，测试光与参考光经偏振移相生成瞬态移相干涉图，解决了相关技术中无法满足大数值孔径光学元件的高精度面型检测的技术问题。
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公开(公告)号：CN117928370A
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN202311755923.3
申请日：2023-12-19
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心
Abstract: 本发明公开了一种扫频干涉表面结构检测系统和方法，涉及面型检测和扫频激光领域。该系统主要包括扫频激光产生单元、干涉单元、扫描探测单元和信号处理单元。本发明与现有技术相比，本发明中采用单点光电探测器采集干涉光信号，通过单点计算的方式进行相位解算，通过解算光电探测系统每个位置获得的干涉信息获得待测表面每个位置的距离信息，实现高精度的表面结构检测，可以达到纳米量级。使用位移台扫描的方式移动探测器探测扫频干涉光，可以实现大范围、高精度的测量。由于单点探测器接收速度远高于面阵探测器，在扫描范围较小时本发明可以实现快速探测。
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公开(公告)号：CN117289563B
公开(公告)日：2024-04-19
申请号：CN202311592943.3
申请日：2023-11-27
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种振幅型计算全息图实现装置及方法。本发明利用边缘光抑制的超分辨激光直写实现用于极紫外光刻物镜装调的大面积振幅型计算全息图克服了激光直写技术刻写精度的不足，对比电子束直写有着更高的效率，有着操作简便、成本低廉等优势。通过补偿模块在刻写中实时进行光功率与相位调制补偿，保证了刻写系统在刻写大面积振幅型计算全息图长时间工作的稳定性与刻写精度。
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公开(公告)号：CN116989692A
公开(公告)日：2023-11-03
申请号：CN202310740743.1
申请日：2023-06-21
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种基于亚波长结构计算全息的极紫外光刻物镜面形检测方法及系统。本发明基于亚波长结构计算全息的极紫外光刻物镜面形检测方法通过亚波长结构计算全息片的设计与应用，能够获得极紫外光刻物镜的高精度非球面面形数据，检测精度可以达到RMS小于1nm。本发明的计算全息图，高度单一，十分有利于低成本地精确刻蚀加工，且相位调制能力比传统台阶型计算全息图更大。
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公开(公告)号：CN105181594B
公开(公告)日：2019-01-04
申请号：CN201510223486.X
申请日：2015-05-05
Applicant: 浙江大学
IPC: G01N21/01
Abstract: 本发明提供了一种便携式智能多光谱成像检测装置和方法，其装置包括滤光单元、摄像单元、以及用于接收摄像单元图像数据的数据收发模块，所述滤光单元包括若干同轴且可独立转动的滤光片转盘，每个滤光片转盘上设有若干安装有滤光片的安装孔和至少一个避让孔，安装孔、避让孔和摄像单元的镜头的中心轴距离滤光片转盘中心轴的距离相等。本发明的便携式智能多光谱成像检测装置，以高度集成化的滤光片转盘和集成化的变焦距摄像方式，实现了装置的便携化、小型化；以白光LED作为主动照明光源，实现了光谱仪的低功耗化；脱离了传统的笔记本，以移动终端的通讯方式获取高光谱图像，并利用远程云共享服务器分析、处理高光谱的数据。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103777455B
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201410064010.1
申请日：2014-02-25
Abstract: 本发明公开了一种基于光场拼接的球形沉浸式三维显示系统，包括图像生成和控制模块、投影仪阵列和球幕散射屏，图像生成和控制模块将所需要显示的三维显示场景解析成一系列沿半径指向球心方向投影的所需的图像元，并编码压缩，由图像分屏控制模块将编码压包后的各子图像传输分配给每一台投影仪，投影仪将图像投影到球幕二向散射屏上，光线经过二向散射后，位于球幕内的观察者便可观察到具有双目视差的细腻的立体三维场景。本发明还提供了一种基于光场拼接的球形沉浸式三维显示方法。本发明的基于光场拼接的球体沉浸式的系统结构可实现三维场景环绕观察者的效果，增强了三维场景的真实感。
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公开(公告)号：CN104849250A
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201510225267.5
申请日：2015-05-05
Applicant: 浙江大学
IPC: G01N21/64
Abstract: 本发明公开了一种便携式智能植物生理状态检测系统和方法，其系统包括照明模块以及用于对待测植物进行荧光图像采集的摄像单元，所述照明模块包括：提供激发光照明的LED阵列以及设置在LED阵列发光侧的光学薄膜，该光学薄膜对待测植物荧光的反射率小于5％，该光学薄膜对LED光的反射率大于95％。本发明能够让使用者在野外条件便携地对植物进行叶绿素荧光检测，并对测量获得荧光图像进行实时地处理、分析，实时将测量结果与远程云共享服务器的数据库中的植物生理状态进行匹配，并实现数据库新样本的更新和机器学习。
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公开(公告)号：CN103713457A
公开(公告)日：2014-04-09
申请号：CN201310673550.5
申请日：2013-12-12
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种用于360°环幕多投影系统的几何校正装置，包括环形屏幕，用于向环形屏幕投影图像的多投影阵列，和与所述多投影阵列连接的控制器，所述的环形屏幕上设有标准点列图，该标准点列图上分布标准点阵列，并设有通过多投影阵列投影到环形屏幕上的预畸变点列图，还包括用于采集所述环形屏幕上显示图像的图像获取设备，所述的控制器还用于接收所述图像获取设备所拍摄的图像并进行分析校正。本发明还公开了一种用于360°环幕多投影系统的几何校正方法。本发明操作简便，通过初始设置后，校正过程不需要人工干预，自动化程度高。
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公开(公告)号：CN204718692U
公开(公告)日：2015-10-21
申请号：CN201520284195.7
申请日：2015-05-05
Applicant: 浙江大学
IPC: G01J3/28
Abstract: 本实用新型提供了一种便携式智能多光谱成像检测装置，包括滤光单元、摄像单元、以及用于接收摄像单元图像数据的数据收发模块，所述滤光单元包括若干同轴且可独立转动的滤光片转盘，每个滤光片转盘上设有若干安装有滤光片的安装孔和至少一个避让孔，安装孔、避让孔和摄像单元的镜头的中心轴距离滤光片转盘中心轴的距离相等。本实用新型的便携式智能多光谱成像检测装置，以高度集成化的滤光片转盘和集成化的变焦距摄像方式，实现了装置的便携化、小型化；以白光LED作为主动照明光源，实现了光谱仪的低功耗化；脱离了传统的笔记本，以移动终端的通讯方式获取高光谱图像，并利用远程云共享服务器分析、处理高光谱的数据。
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公开(公告)号：CN204613107U
公开(公告)日：2015-09-02
申请号：CN201520283902.0
申请日：2015-05-05
Applicant: 浙江大学
IPC: G01N21/64
Abstract: 本实用新型公开了一种便携式智能植物生理状态检测系统，包括照明模块以及用于对待测植物进行荧光图像采集的摄像单元，所述照明模块包括：提供激发光照明的LED阵列以及设置在LED阵列发光侧的光学薄膜，该光学薄膜对待测植物荧光的反射率小于5％，该光学薄膜对LED光的反射率大于95％。本实用新型能够让使用者在野外条件便携地对植物进行叶绿素荧光检测，并对测量获得荧光图像进行实时地处理、分析，实时将测量结果与远程云共享服务器的数据库中的植物生理状态进行匹配，并实现数据库新样本的更新和机器学习。
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