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公开(公告)号：CN101329214A
公开(公告)日：2008-12-24
申请号：CN200810063193.X
申请日：2008-07-22
Applicant: 浙江大学
IPC: G01L9/00
Abstract: 本发明公开了一种轴芯移动式近液压阀芯壁面流场压力动态测量装置。阀芯内部加工成通孔，阀芯壁面法向开有测压小孔，小孔沿轴向和周向分布。安装于阀芯通孔中的轴芯，其内部加工为深孔，壁面法向开有压力传感器孔，沿轴向分布两个以上，内装有高频压力传感器。通过在阀芯通孔中移动和旋转轴芯，两个以上压力传感器同时接通阀芯不同测压小孔，实现阀芯外壁面流场压力动态测量，进而实现对气穴流场压力分布，气穴尾流脱落特性及气穴噪声等的研究。本发明针对的阀芯可以是全周开口、非全周开口等节流阀结构，在实际液压阀中应用十分广泛。以此发明为实验平台，可以有效的进行滑阀工作噪声及振动控制，流道结构优化的研究。
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公开(公告)号：CN119665003A
公开(公告)日：2025-03-21
申请号：CN202411771239.9
申请日：2024-12-04
Applicant: 浙江大学
IPC: F16K31/122 , F16K7/12
Abstract: 本发明公开了一种半导体领域的可调节流量气动超洁净隔膜阀。阀体的连通出入口的阀腔内设有隔膜，隔膜上端固定于活塞杆下端，上腔体、下腔体之间密封固定连接并在内部围成一个气室，活塞杆上部可沿朝向阀腔或远离方向移动地密封安装在所述气室内，活塞杆下部伸出到气室外下腔体固定装在阀体上，下腔体侧壁设置有用于控制隔膜平衡位置的流量调节结构，所述流量调节结构用于将气室和大气连通，下腔体均开设有用于和流量调节结构配合调节隔膜平衡位置进而控制阀体开度的气孔。本发明能精确调节流量，具有很好的密封性能，避免阀外污染物的进入以及阀内输送流体的外泄漏；隔膜阀整体采用PTTE材料，能够满足耐腐蚀、耐热和高洁净度的要求。
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公开(公告)号：CN119414674A
公开(公告)日：2025-02-11
申请号：CN202411846952.5
申请日：2024-12-16
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种实时散热卡盘装置及散热控制方法。卡盘装置包括依次层叠布置的盖板、流道部件和热管部件；流道部件的中央放置硅片，环形流道环绕硅片布置，环形流道上方覆盖有盖板；流道部件下方布置有热管部件，热管部件包括热管阵列，热管阵列沿行方向延伸到环形流道下方，热管阵列的有效传热区域覆盖硅片上表面的曝光区域。本发明有助于提高硅片在曝光工况下全局温度的稳定性与均匀性，有利于减小硅片热变形从而提高套刻精度。
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公开(公告)号：CN117805097A
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN202311852023.0
申请日：2023-12-29
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种浸没单元的污染检测装置及检测方法。装置包括：浸没单元的下端面固定连接有工装支架组件，浸没单元和工装支架组件之间形成的腔室内装有滑轨，运动电机驱动摄像头在工装支架组件的滑轨上按照指定轨迹运动，摄像头通过连接线缆和控制器连接。方法包括：摄像头对所有的浸液供给开口和浸液回收开口进行多点拍摄得到多张局部图像并传输至控制器，控制器将多张局部图像进行拼接并进行检测判断是否存在污染物堵塞浸液供给开口和浸液回收开口的情况。本发明定期对污染物堵塞情况进行检测并进行清洁，从而保证流场稳定运行，提高光刻机的性能和可靠性，多点拍摄的便捷操作避免了人工对准时的不可靠性，提高了操作便利性。
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公开(公告)号：CN117207517A
公开(公告)日：2023-12-12
申请号：CN202311322650.3
申请日：2023-10-13
Applicant: 浙江大学
IPC: B29C64/129 , B29C64/255 , B29C64/307 , B33Y10/00 , B33Y30/00 , B33Y40/00
Abstract: 本发明公开了一种促进连续液体界面打印树脂回流的旋转液槽体装置及方法，装置包括被动传动机构和主动传动机构，被动传动机构外周面上固定有啮合齿条，主动传动机构啮合啮合齿条驱动被动传动机构旋转。方法包括：将树脂浆料倒入凹槽中，打印平台下降到透氧膜上方时停止，主动传动机构驱动被动传动机构旋转带动回流树脂在打印物体和透氧膜之间的流动剪切区流动，使该区域中的树脂稀化，黏度降低来促进打印过程中的树脂回流。本发明显著降低了打印中树脂的黏度，同时具备大幅面，大尺寸的打印成型能力，克服了传统连续液体界面打印仅能打印小幅面的弊端。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116594265A
公开(公告)日：2023-08-15
申请号：CN202310650752.1
申请日：2023-06-02
Applicant: 浙江大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种光刻设备检测系统及其检测方法，包括模拟末端投影物镜、气体供给系统和采样检测系统，模拟末端投影物镜具有朝向浸没控制单元的镜侧面和朝向衬底的镜底面，镜侧面中设有呈环形分布且朝向浸没控制单元的多个侧开口；模拟末端投影物镜内设有注气流道和采样流道，注气流道一端与气体供给系统相连通，气体供给系统向注气流道供给难溶于浸液中的气体，注气流道另一端与侧开口相连通；采样流道一端与采样检测系统相连通，采样流道另一端贯穿镜底面。利用难溶性气体将浸没流场自由界面与环境气体相分隔，避免环境因素干扰，从而准确地检测浸液的洁净度，以评价浸没控制单元及其附属流路的洁净度质量。
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公开(公告)号：CN114571644B
公开(公告)日：2023-03-17
申请号：CN202210161725.3
申请日：2022-02-22
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种具有全氟表面的复合式闭式叶轮。其整体由叶轮上盖和叶轮底座两部分组合而成，二者通过超声波熔融埋植的方式进行结合；叶轮上盖选用金属材料作为内部基体，外表面裹覆有氟树脂涂层，叶轮底座整体采用氟树脂材料；在埋植过程中，叶轮上盖的埋植嵌体与底座的凹槽相互贴合，二者表面的氟树脂材料通过吸收超声波机台传递的高频振动能量，迅速升温达到熔融状态，进而相互融结，形成具有全氟表面的闭式叶轮。本方案中叶轮所有表面均为氟树脂材料，满足了全氟表面的需求，提高了耐腐蚀性能，进而提升了叶轮的使用寿命与工作稳定性；整套工艺流程简单易行，针对不同形状和大小的叶轮无需重新设计开发模具，具有良好的适应性。
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公开(公告)号：CN112305260B
公开(公告)日：2022-08-16
申请号：CN202011162480.3
申请日：2020-10-27
Applicant: 浙江大学
IPC: G01P5/24
Abstract: 本发明涉及一种超声风速仪及其测量方法。本发明采用了多个换能器组合的超声波发射站和接收站，降低了超声波被吹偏后丢失信号的概率，能够扩展大口径或高流速下超声风速仪的测量范围。设置包括多个超声换能器的上游超声站和下游超声站，使超声波在大口径测量管或者高流体流速条件下被吹偏时仍然可以被换能器接收到，从而扩展了超声风速仪的流速测量量程。提供了一种设置超声站中的换能器间隔布置的实施方式，在扩展超声风速仪的量程的同时节约了换能器数量。提供了使用本发明提供的超声风速仪进行流速测量的方法，能够扩展超声风速仪的量程，并且能够提高风速测量的精度。
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公开(公告)号：CN114849587A
公开(公告)日：2022-08-05
申请号：CN202210592223.6
申请日：2022-05-27
Applicant: 浙江大学
IPC: B01J2/02
Abstract: 本发明公开了一种基于气流加速的微小液滴发生装置。本发明包括液滴发生机构、气体控制组件、液体控制组件和激励信号发生组件，液滴发生机构分别与气体控制组件、液体控制组件和激励信号发生组件相连；液滴发生机构产生稳定的射流，并最终断裂成小液滴；气体控制组件通过气体压力控制器能调节液滴发生机构中的加速气流压力；液体控制组件通过流量控制器和溢流阀能调节液滴发生机构中的射流流量；激励信号发生组件提供不同频率的正弦波形激励信号改变液滴发生机构中的射流受到的扰动大小。本发明通过气流加速压缩可以使大孔产生相比孔尺寸更小的微小尺寸射流，从而产生微小尺寸的液滴，解决了传统装置使用小孔产生微小尺寸液滴而容易堵塞的问题。
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公开(公告)号：CN113499927B
公开(公告)日：2022-05-03
申请号：CN202110704943.2
申请日：2021-06-24
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种粒径可调的液滴发生系统。本发明包括液滴发生装置、供液排气组件和控制组件；控制组件分别与液滴发生装置和供液排气组件电连接，液滴发生装置通过导管与供液组件相连；控制组件分别控制液滴发生装置和供液排气组件使得液滴发生装置中产生液滴，同时控制组件也监测供液排气组件的运行状态。本发明在激励频率控制和喷射液体压力控制的基础上，无需拆装喷嘴，通过转动喷嘴上的孔板底座，即可改变出液口处的微孔尺寸，能精准实现10μm‑570μm甚至更大范围粒径的液滴产生。
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