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公开(公告)号：CN117805097B
公开(公告)日：2025-04-01
申请号：CN202311852023.0
申请日：2023-12-29
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种浸没单元的污染检测装置及检测方法。装置包括：浸没单元的下端面固定连接有工装支架组件，浸没单元和工装支架组件之间形成的腔室内装有滑轨，运动电机驱动摄像头在工装支架组件的滑轨上按照指定轨迹运动，摄像头通过连接线缆和控制器连接。方法包括：摄像头对所有的浸液供给开口和浸液回收开口进行多点拍摄得到多张局部图像并传输至控制器，控制器将多张局部图像进行拼接并进行检测判断是否存在污染物堵塞浸液供给开口和浸液回收开口的情况。本发明定期对污染物堵塞情况进行检测并进行清洁，从而保证流场稳定运行，提高光刻机的性能和可靠性，多点拍摄的便捷操作避免了人工对准时的不可靠性，提高了操作便利性。
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公开(公告)号：CN119002193B
公开(公告)日：2025-03-25
申请号：CN202411430565.3
申请日：2024-10-14
Applicant: 浙江大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种基于级联系统的温度波动衰减器及优化制造方法。温度波动衰减器包括主壳体和多个多孔板，主壳体内部为空心，形成空腔结构，每个多孔板为布有小孔的圆板，多个多孔板沿流体的流通方向平行间隔布置，每个多孔板垂直于流体的流通方向，用于对流体进行挡流和波动衰减；优化制造方法包括获取空腔结构的体积V、多孔板的直径D、超洁净流体的密度ρ、流体的流速v和时滞时间τ，然后构建温度波动衰减器的时滞模型G(s)，最终针对时滞模型G(s)进行优化求解，求解出多孔板的数量N，多孔板上的小孔数量n，多孔板上的小孔孔径d，进而制造得到优化后的温度波动衰减器。本发明提高了衰减器在高频温度扰动下的衰减性能，有利于提高光刻机的温度控制精度。
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公开(公告)号：CN119657362A
公开(公告)日：2025-03-21
申请号：CN202411788685.0
申请日：2024-12-06
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种射流形态和卫星液滴行为尺寸控制装置及方法。装置的液滴发生器的喷嘴产生不同形态的射流，射流中的主液滴和卫星液滴的运动状态不同；液滴控制组件位于液滴发生器的正下方并对射流的形态调整及卫星液滴的行为尺寸的控制；液滴图像采集组件位于液滴控制组件的侧方，对射流的形态以及卫星液滴的行为尺寸进行动态获取。本发明能精确控制射流形态和卫星液滴的生成过程，实现了卫星液滴的稳定分离和尺寸可调，能够实时监测射流和液滴行为，确保卫星液滴在和主液滴分离之前与主液滴保持相对稳定，能够对液滴尺寸进行二次调控，还使用微米级电极精确干预射流局部区域，形成更小卫星液滴尺寸的突破，可广泛应用于高精度液滴控制需求。
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公开(公告)号：CN119207596A
公开(公告)日：2024-12-27
申请号：CN202411234320.3
申请日：2024-09-04
Applicant: 浙江大学
IPC: G16C10/00
Abstract: 本发明公开了一种基于分子动力学模拟聚四氟乙烯结晶度和力学性能的方法。包括：构建无定型聚四氟乙烯全原子模型；对无定型聚四氟乙烯全原子模型进行烧结模拟，根据烧结模拟得到的键序信息构建聚四氟乙烯粗粒化模型；对聚四氟乙烯粗粒化模型进行降温结晶模拟，根据降温结晶模拟得到的粒子坐标信息计算聚四氟乙烯结晶度；对降温结晶模拟后的聚四氟乙烯粗粒化模型进行单轴拉伸模拟，根据单轴拉伸模拟的结果评估聚四氟乙烯力学性能。本发明方法通过模拟得到不同分子量聚四氟乙烯的结晶度和力学性能并且与实际结果吻合良好，可节约试验时间和金钱成本，为实际生产提供一定指导作用。
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公开(公告)号：CN119093780A
公开(公告)日：2024-12-06
申请号：CN202411588481.2
申请日：2024-11-08
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明涉及一种基于电机坡道关机使用安全控制方法。本发明采用了一种基于电机坡道关机使用安全控制方法，包括以下步骤：S1.电机收到关机指令；S2.驱动控制模块收到关机指令后，检测电机是否处于坡道上；S3.当判断电机不在坡道上时，则直接使遥控模块和驱动控制模块均关机；当判断电机在坡道上时，执行坡道关机流程；在步骤S3的坡道关机流程中，待驱动控制模块收到关机指令后，遥控模块关机，以使电机产生所需数值的反向力矩；当遥控模块关机第一设定时长后，驱动控制模块控制电机停止产生反向力矩，电机主动短路。本发明通过使驱动控制模块控制电机输出反向力矩，从而避免对具有电机的代步车或轮椅在坡道上遛坡，从而不需要在电机上设置电磁刹车。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117944115A
公开(公告)日：2024-04-30
申请号：CN202410061102.8
申请日：2024-01-16
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种热塑性材料切屑自动断屑清屑装置及方法。本发明包括：进屑管为十字形四通管体，两对管口分别为进屑口和吸屑口、进风口和断屑口；进屑口一端贯穿刀具的刀杆后朝向工件，吸屑口有负压风机，进风口有鼓风机；自动断屑模块，布置于进屑管的断屑口处且与进屑管固定连接，驱动模块，与自动断屑模块相连并为自动断屑模块切断切屑提供驱动。本发明可以实现热塑性材料切削过程中的切屑清理，解决热塑性材料切削断屑难的问题，减少切屑缠绕刀片的现象，同时也解决了切屑缠绕造成的散热难，切削温度高等问题，提高加工精度和生产效率。
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公开(公告)号：CN114152295B
公开(公告)日：2022-12-27
申请号：CN202111459076.7
申请日：2021-12-02
Applicant: 浙江大学
IPC: G01F1/24
Abstract: 本发明公开了一种集成式的磁悬浮流量控制器。底座、腔筒和上盖紧密装配并合围形成主腔体，主腔体内部装有超洁净浮子；主腔体外周布置驱动磁路，驱动磁路上下方布置悬浮磁路；驱动磁路中，驱动电机在上盖，驱动电机输出轴和丝杠连接，丝杠外经T型滑套和连接支架连接，连接支架下装外永磁体和悬浮磁路；悬浮磁路包括外永磁体上下方的悬浮组件；悬浮组件包括电路板、悬浮线圈绕组组成的悬浮线圈组和霍尔传感器组。本发明浮子本身作为执行控制阀进行流量控制，以浮子在来流冲击下相对外磁体的位移差作为流量反馈信号实现流量的闭环控制，减少了体积，保障了流体的洁净度，解决了传统浮子流量计因径向附壁摩擦而产生的起始检测流量过大的问题。
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公开(公告)号：CN114047673A
公开(公告)日：2022-02-15
申请号：CN202111459709.4
申请日：2021-12-02
Applicant: 浙江大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种隔离内部波动的温控装置及其解耦控制方法。装置盒体底面接触被控物体，内部开设外层流道、夹层流道和内层微流道，装置盒体顶面上设有微翅片；温控水出口、冷却液出口有温度传感器；向内层微流道通入冷却水，向外层流道通入与外界环境温度相同的温控水；由被控物体表面和装置盒体底面热交换传递到内层微流道和外层流道，内层微流道冷却水先热交换温控，外层流道温控水吸收内层微流道对被控物体调控时过热冷量，实时对夹层温控水入口的电磁开关阀解耦控制隔绝温度波动。本发明实现高效温控的同时避免了冷却液对环境的热干扰，有利于光刻设备内部环境温度的均一性和稳定性，且设计结构紧凑，有利于在复杂的光刻机内部使用。
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公开(公告)号：CN112304375B
公开(公告)日：2021-11-09
申请号：CN202011162463.X
申请日：2020-10-27
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明涉及一种超声波流量传感器及其流量测量方法。超声波流量传感器包括用于计算超声波顺逆流传播时间的模拟信号处理电路，采用阈值法处理正常工况下的超声波信号；还包括用于计算超声波顺逆流传播时间的数字信号处理电路，采用相关法处理异常工况下的超声波信号。本发明结合使用阈值法和相关法进行超声波流量传感器的信号处理和流量计算过程；使用模拟信号处理电路对超声波信号进行阈值比较处理以计算超声波传播时间，保证了流量计算和测量过程具有精度高、响应速度快、实时性好的优点；使用数字信号采集电路对无法用阈值比较电路处理的异常超声波信号进行数字采集，并使用相关法计算流量，使流量计算和测量过程的抗干扰性能提高。
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公开(公告)号：CN113446253A
公开(公告)日：2021-09-28
申请号：CN202110481843.8
申请日：2021-04-30
Applicant: 浙江大学
IPC: F04D29/044 , F04D29/048 , F04D15/00 , F16K31/06 , F16K37/00 , G01B21/00
Abstract: 本发明公开了一种用于检测非接触式的磁力运动中的磁体位置检测方法。方法采用霍尔传感器与超声波直线位移传感器组合检测待测磁体的绝对位置，霍尔传感器置于主动磁体上与主动磁体随动，排除主动磁体位置变化引起的磁场变化干扰，检测出被动磁体的磁场变化，通过信号输出被动磁体相对主动磁体的相对位置。本发明方法解决了封闭腔体内永磁体运动机构的位置检测问题，解决了单一传感器检测带来的无法准确检测、精度不高、存在干扰等众多的技术问题，在封闭腔磁力联轴器传感与控制领域有较广泛的应用前景。
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