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公开(公告)号：CN117804728A
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN202311852014.1
申请日：2023-12-29
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种浸没流场扰动力测量装置及测量方法。装置包括：模拟镜片组件、模拟镜片连接件以及控制模拟镜片组件上下移动的模拟镜片位置控制单元，基座下端面固定有浸没单元机构和浸没单元，浸没单元安装至环绕模拟镜片组件径向外侧以及位于模拟硅片机构上方的位置，模拟硅片位置控制单元控制模拟硅片组件上下移动，模拟硅片机构底面有带动模拟硅片机构水平移动的运动台。方法包括：通过扰动力观测算法模拟镜片组件位移、音圈电机出力等参数来分析评估流场对模拟镜片组件的扰动力。本发明解决直接测量扰动力精度的影响，单音圈电机的扰动力评估方案解决了多点驱动与测量时多轴同步延时、力学反解等带来的扰动力测量精度的影响。
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公开(公告)号：CN117805097B
公开(公告)日：2025-04-01
申请号：CN202311852023.0
申请日：2023-12-29
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种浸没单元的污染检测装置及检测方法。装置包括：浸没单元的下端面固定连接有工装支架组件，浸没单元和工装支架组件之间形成的腔室内装有滑轨，运动电机驱动摄像头在工装支架组件的滑轨上按照指定轨迹运动，摄像头通过连接线缆和控制器连接。方法包括：摄像头对所有的浸液供给开口和浸液回收开口进行多点拍摄得到多张局部图像并传输至控制器，控制器将多张局部图像进行拼接并进行检测判断是否存在污染物堵塞浸液供给开口和浸液回收开口的情况。本发明定期对污染物堵塞情况进行检测并进行清洁，从而保证流场稳定运行，提高光刻机的性能和可靠性，多点拍摄的便捷操作避免了人工对准时的不可靠性，提高了操作便利性。
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公开(公告)号：CN117805097A
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN202311852023.0
申请日：2023-12-29
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种浸没单元的污染检测装置及检测方法。装置包括：浸没单元的下端面固定连接有工装支架组件，浸没单元和工装支架组件之间形成的腔室内装有滑轨，运动电机驱动摄像头在工装支架组件的滑轨上按照指定轨迹运动，摄像头通过连接线缆和控制器连接。方法包括：摄像头对所有的浸液供给开口和浸液回收开口进行多点拍摄得到多张局部图像并传输至控制器，控制器将多张局部图像进行拼接并进行检测判断是否存在污染物堵塞浸液供给开口和浸液回收开口的情况。本发明定期对污染物堵塞情况进行检测并进行清洁，从而保证流场稳定运行，提高光刻机的性能和可靠性，多点拍摄的便捷操作避免了人工对准时的不可靠性，提高了操作便利性。
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