分析装置、分析方法以及存储介质

    公开(公告)号:CN112543897B

    公开(公告)日:2024-02-02

    申请号:CN202080004448.4

    申请日:2020-02-18

    Abstract: 本发明提供一种分析装置、分析方法以及存储介质,能够更准确地导出反映出生产线的实际状态的、各机构间的因果关系。本发明的一方面的分析装置获取与构成生产线的多个机构的状态相关的多件测量数据以及前提信息,在由前提信息所给出的限制条件下,统计性地分析多件测量数据,由此来确定多个机构间的因果关系,输出表示所确定的因果关系的因果关系信息,受理对由所输出的因果关系信息所表示的因果关系的修正,修正前提信息,以给出与经修正的因果关系相适合的限制条件,并保存经修正的前提信息。

    动作状态监视装置、学习数据生成装置、方法和存储介质

    公开(公告)号:CN109690432B

    公开(公告)日:2021-08-10

    申请号:CN201780055227.8

    申请日:2017-10-10

    Abstract: 能够监视设备的动作状态,而不用针对全部产品在事前生成并存储其学习数据,由此实现设备运行效率的提高。在利用设备(2)生产产品时,从控制台终端(3)接收生产对象产品的产品ID及其多个控制项目的设定值,从转换模型存储部(32)读入与该产品ID和多个控制项目的组合对应的转换模型。然后,按照该读入的转换模型对基准学习数据存储部(31)中存储的基准学习数据进行数据转换,生成与上述生产对象产品对应的个别学习数据,使用该个别学习数据判别从上述设备(2)的传感器输出的测定数据是否异常。

    监视系统、学习装置、学习方法、监视装置及监视方法

    公开(公告)号:CN109918690A

    公开(公告)日:2019-06-21

    申请号:CN201811057807.3

    申请日:2018-09-11

    Abstract: 本发明提供一种监视系统、学习装置、学习方法、监视装置及监视方法,能够准确预测在湿法蚀刻装置中产生消除斑痕的时间。本发明一方面的监视系统根据学习数据,构建对应于累计运行时间及累计处理片数的值预测去除量的值的预测模型,获取运行中的湿法蚀刻装置中的累计运行时间、累计处理片数及去除量的实际值,将获取的累计运行时间及累计处理片数各自的实际值输入预测模型,计算去除量的预测值,计算去除量的预测值和实际值之间的差值,作为表示药液更换标准的指标值,根据算出的指标值,输出与药液更换有关的信息。

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