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公开(公告)号:CN108733010B
公开(公告)日:2020-12-11
申请号:CN201810220837.5
申请日:2018-03-16
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: G05B19/418
Abstract: 一种工业用控制装置、控制方法、记录介质、包装机以及包装机用控制装置,即便发生异常时也不用停止连续生产。控制装置对在从上游侧朝下游侧并排配置的多个工序中对生产对象物依次实施生产处理的生产装置或制造装置进行控制,具备:物理量取得部,当将多个工序各自实施的处理的单位处理时间定义为节拍时,在每一节拍取得表示多个工序中成为监视对象的工序的处理状态的物理量;异常判定部,基于物理量或从该物理量提取的特征量,判定监视对象工序中的异常发生;以及控制指示部,控制当判定出监视对象的工序中发生了异常时,规定下游侧的工序对受到异常影响的生产对象物实施处理的节拍,并将基于下游侧的工序的规定的节拍的处理设为异常应对处理。
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公开(公告)号:CN108733010A
公开(公告)日:2018-11-02
申请号:CN201810220837.5
申请日:2018-03-16
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: G05B19/418
CPC classification number: B65B57/10 , B65B9/087 , B65B35/24 , B65B41/12 , B65B61/025 , G05B19/41875 , G05B23/0227 , G05B23/0286 , G05B2219/32368 , G05B19/41865 , G05B2219/32252
Abstract: 一种工业用控制装置、控制方法、记录介质、包装机以及包装机用控制装置,即便发生异常时也不用停止连续生产。控制装置对在从上游侧朝下游侧并排配置的多个工序中对生产对象物依次实施生产处理的生产装置或制造装置进行控制,具备:物理量取得部,当将多个工序各自实施的处理的单位处理时间定义为节拍时,在每一节拍取得表示多个工序中成为监视对象的工序的处理状态的物理量;异常判定部,基于物理量或从该物理量提取的特征量,判定监视对象工序中的异常发生;以及控制指示部,控制当判定出监视对象的工序中发生了异常时,规定下游侧的工序对受到异常影响的生产对象物实施处理的节拍,并将基于下游侧的工序的规定的节拍的处理设为异常应对处理。
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公开(公告)号:CN109918690A
公开(公告)日:2019-06-21
申请号:CN201811057807.3
申请日:2018-09-11
Applicant: 欧姆龙株式会社
Abstract: 本发明提供一种监视系统、学习装置、学习方法、监视装置及监视方法,能够准确预测在湿法蚀刻装置中产生消除斑痕的时间。本发明一方面的监视系统根据学习数据,构建对应于累计运行时间及累计处理片数的值预测去除量的值的预测模型,获取运行中的湿法蚀刻装置中的累计运行时间、累计处理片数及去除量的实际值,将获取的累计运行时间及累计处理片数各自的实际值输入预测模型,计算去除量的预测值,计算去除量的预测值和实际值之间的差值,作为表示药液更换标准的指标值,根据算出的指标值,输出与药液更换有关的信息。
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公开(公告)号:CN109918690B
公开(公告)日:2023-04-07
申请号:CN201811057807.3
申请日:2018-09-11
Applicant: 欧姆龙株式会社
Abstract: 本发明提供一种监视系统、学习装置、学习方法、监视装置及监视方法,能够准确预测在湿法蚀刻装置中产生消除斑痕的时间。本发明一方面的监视系统根据学习数据,构建对应于累计运行时间及累计处理片数的值预测去除量的值的预测模型,获取运行中的湿法蚀刻装置中的累计运行时间、累计处理片数及去除量的实际值,将获取的累计运行时间及累计处理片数各自的实际值输入预测模型,计算去除量的预测值,计算去除量的预测值和实际值之间的差值,作为表示药液更换标准的指标值,根据算出的指标值,输出与药液更换有关的信息。
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