复合信息处理装置及处理方法

    公开(公告)号:CN101295180B

    公开(公告)日:2010-12-08

    申请号:CN200810092396.1

    申请日:2008-04-28

    Inventor: 藤井彻

    Abstract: 以往,存在无法考虑到由制造设备的调整引起的测量数据的变动而适当地对制造设备的异常的产生进行判断的问题。本发明的一种复合信息处理装置包括:监控公式存储部(103),存储监控公式,该监控公式是对在制造设备正常的状态下与由变更了可调整的条件的情况下的该制造设备处理的多个测量对象的、有关联的两个以上的测量项目相关的测量数据进行主成分分析而取得的、计算一个以上的主成分得分的公式;监控测量数据接收部(104),接收对由制造设备处理的测量对象测量的、与构成监控公式的各项所对应的测量项目相关的监控测量数据;主成分得分计算部(105),利用监控测量数据,根据监控公式,计算主成分得分;监控部(106),利用计算的主成分得分,对制造设备进行监控;以及输出部(107),输出监控结果。

    制造条件设定系统及制造条件设定方法

    公开(公告)号:CN101639666A

    公开(公告)日:2010-02-03

    申请号:CN200910165978.2

    申请日:2006-03-13

    Inventor: 藤井彻

    Abstract: 提供一种制造条件设定系统及制造条件设定方法,易于构建用来推定制造设备的设定值等动态条件的知识库,且推定精度高。其中,制造条件设定系统(1)具有:制造状态收集部(12),在通常的制造状态下,将静态/动态条件在预定的制造个数或其以上不发生变化时的静态/动态条件及产品质量、与检索用信息一起输入;动态条件推论部(15),在静态条件组合已经经验过的情况下,推定、输出对应的最佳动态条件;和动态条件校正部(13),使用从制造状态收集部(12)输入的信息,根据需要校正动态条件推论部(15)中存储的推论知识。

    伺服马达的负荷状态诊断装置以及负荷状态诊断方法

    公开(公告)号:CN109933005B

    公开(公告)日:2022-07-22

    申请号:CN201811183246.1

    申请日:2018-10-11

    Abstract: 本发明提供一种不论旋转器具的种类、加工条件和机器差异,均能够以绝对的评估指标对伺服马达的当前的负荷状态进行诊断的伺服马达的负荷状态诊断装置以及负荷状态诊断方法。伺服马达的负荷状态诊断装置对使旋转器具以固定速度在规定的旋转驱动方向上旋转驱动的伺服马达的负荷状态进行诊断。伺服马达的负荷状态诊断装置具备:探测部,探测在伺服马达中发挥作用的扭矩的旋转方向;判断部,判断由探测部所探测到的扭矩的旋转方向与规定的旋转驱动方向是否一致;以及负荷指标输出部,根据判断部的判断结果,输出表示伺服马达的负荷状态的负荷指标。

    信息处理装置及信息处理方法

    公开(公告)号:CN109426921A

    公开(公告)日:2019-03-05

    申请号:CN201810592576.X

    申请日:2018-06-11

    Abstract: 本发明提供一种可利用生产指标来执行与制造条件的变化的形态对应的处理的信息处理装置及信息处理方法。信息处理装置根据从使用材料及零件的至少一种构件来生产制品的生产装置所取得的数据,算出基于制品的品质的生产指标。信息处理装置根据事先设定的阈值,判定生产指标属于构件的一个维护周期中所含有的第1区间、及生产指标的变动比第1区间大的第2区间的哪一个区间。信息处理装置执行使用被判定为属于第1区间的生产指标的第1处理、及使用被判定为属于第2区间的生产指标的第2处理的至少一者。

    制造条件设定系统及制造条件设定方法

    公开(公告)号:CN101639666B

    公开(公告)日:2012-05-23

    申请号:CN200910165978.2

    申请日:2006-03-13

    Inventor: 藤井彻

    Abstract: 提供一种制造条件设定系统及制造条件设定方法,易于构建用来推定制造设备的设定值等动态条件的知识库,且推定精度高。其中,制造条件设定系统(1)具有:制造状态收集部(12),在通常的制造状态下,将静态/动态条件在预定的制造个数或其以上不发生变化时的静态/动态条件及产品质量、与检索用信息一起输入;动态条件推论部(15),在静态条件组合已经经验过的情况下,推定、输出对应的最佳动态条件;和动态条件校正部(13),使用从制造状态收集部(12)输入的信息,根据需要校正动态条件推论部(15)中存储的推论知识。

    制造条件设定系统及制造条件设定方法

    公开(公告)号:CN100549877C

    公开(公告)日:2009-10-14

    申请号:CN200610067818.0

    申请日:2006-03-13

    Inventor: 藤井彻

    Abstract: 提供一种易于构建用来推定制造设备的设定值等动态条件的知识库、且推定精度高的制造条件设定系统,其中,制造条件设定系统(1)具有:制造状态收集部(12),在通常的制造状态下,将静态/动态条件在预定的制造个数或其以上不发生变化时的静态/动态条件及产品质量、与检索用信息一起输入;动态条件推论部(15),在静态条件组合已经经验过的情况下,推定、输出对应的最佳动态条件;和动态条件校正部(13),使用从制造状态收集部(12)输入的信息,根据需要校正动态条件推论部(15)中存储的推论知识。

    信息处理装置及信息处理方法

    公开(公告)号:CN109426921B

    公开(公告)日:2022-03-08

    申请号:CN201810592576.X

    申请日:2018-06-11

    Abstract: 本发明提供一种可利用生产指标来执行与制造条件的变化的形态对应的处理的信息处理装置及信息处理方法。信息处理装置根据从使用材料及零件的至少一种构件来生产制品的生产装置所取得的数据,算出基于制品的品质的生产指标。信息处理装置根据事先设定的阈值,判定生产指标属于构件的一个维护周期中所含有的第1区间、及生产指标的变动比第1区间大的第2区间的哪一个区间。信息处理装置执行使用被判定为属于第1区间的生产指标的第1处理、及使用被判定为属于第2区间的生产指标的第2处理的至少一者。

    监视系统、学习装置、学习方法、监视装置及监视方法

    公开(公告)号:CN109918690A

    公开(公告)日:2019-06-21

    申请号:CN201811057807.3

    申请日:2018-09-11

    Abstract: 本发明提供一种监视系统、学习装置、学习方法、监视装置及监视方法,能够准确预测在湿法蚀刻装置中产生消除斑痕的时间。本发明一方面的监视系统根据学习数据,构建对应于累计运行时间及累计处理片数的值预测去除量的值的预测模型,获取运行中的湿法蚀刻装置中的累计运行时间、累计处理片数及去除量的实际值,将获取的累计运行时间及累计处理片数各自的实际值输入预测模型,计算去除量的预测值,计算去除量的预测值和实际值之间的差值,作为表示药液更换标准的指标值,根据算出的指标值,输出与药液更换有关的信息。

    制造条件设定系统及制造条件设定方法

    公开(公告)号:CN1854946A

    公开(公告)日:2006-11-01

    申请号:CN200610067818.0

    申请日:2006-03-13

    Inventor: 藤井彻

    Abstract: 提供一种易于构建用来推定制造设备的设定值等动态条件的知识库、且推定精度高的制造条件设定系统,其中,制造条件设定系统(1)具有:制造状态收集部(12),在通常的制造状态下,将静态/动态条件在预定的制造个数或其以上不发生变化时的静态/动态条件及产品质量、与检索用信息一起输入;动态条件推论部(15),在静态条件组合已经经验过的情况下,推定、输出对应的最佳动态条件;和动态条件校正部(13),使用从制造状态收集部(12)输入的信息,根据需要校正动态条件推论部(15)中存储的推论知识。

    质量变动显示装置、显示方法、显示程序及记录介质

    公开(公告)号:CN1811802A

    公开(公告)日:2006-08-02

    申请号:CN200510133909.5

    申请日:2005-12-20

    CPC classification number: Y02P90/02 Y02P90/22

    Abstract: 本发明实现一种可切实识别以预定的个数产生次品的个数基准下的质量周期信息的质量变动显示装置,该装置具有:质量数据存储DB(14),将测定设备测定的各产品的测定结果与制造顺序建立对应关系并存储;区间统计量计算部(21),将与一定的区间个数的产品对应的区间按一定的移动个数移动,并按各区间求出统计量,做成该统计量等间隔的、以制造顺序表示的图表;和显示该图表的显示部(25)。

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