流体控制设备
    21.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111989514A

    公开(公告)日:2020-11-24

    申请号:CN201980025634.3

    申请日:2019-06-04

    Abstract: 本发明提供一种能够获取与设备的内部动作相关的数据的流体控制设备。流体控制设备(V)具有:机罩部(2),安装有用于检测流体控制设备(V)内的动作的传感器(M1、M2、P);以及阀主体(1),其在内部收容机罩部(2),在阀主体(1)设置有:凹部(12a),其用于收容机罩部(2);以及狭缝(12b),其供与传感器(M1、M2、P)连接的通信用的线缆(51)向外侧导出,并且所述狭缝(12b)的与形成有流路的基台部(11)相反侧的一端开口且从外侧向凹部(12a)侧贯通。

    阀装置以及流体控制装置
    22.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111836985A

    公开(公告)日:2020-10-27

    申请号:CN201980016155.5

    申请日:2019-02-19

    Abstract: 本发明提供进一步降低物理性冲击对阀芯的影响的阀装置。阀装置(1)具有:阀座(41),其配置在与形成于阀体(3)内的流路连接的开口的周围;隔膜(5),其通过在相对于阀座(41)接触的接触位置以及相对于阀座(41)不接触的非接触位置之间移动而进行流路的开闭;按压转接器(6),其与隔膜(5)的周缘部接触;壳体(2),其内置有使隔膜(5)动作的致动器,与形成于阀体(3)的螺纹孔螺纹结合而固定在阀体(3);以及转接器固定环(7),其与螺纹孔螺纹结合并对按压转接器(6)以及隔膜(5)进行按压,并且固定在阀体(3)内。

    流路组件以及阀装置
    23.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111295544A

    公开(公告)日:2020-06-16

    申请号:CN201880071418.8

    申请日:2018-10-24

    Abstract: 提供一种组装有节流孔、过滤器等功能部件的流路组件,功能部件与划定流路的流路部件之间被长期可靠地密封。在流路构件(51、52)的相对面(51f、52f)的外侧具有介于流路构件(51、52)之间的环状的弹性构件(54),流路构件(52)具有凿紧部(52e_c),凿紧部(52e_c)将流路构件(51、52)和板状构件一体化,以相对面(51f、52f)中的一者朝向相对面(51f、52f)中的另一者的方式对流路构件(52)施加力,对作为板状构件的节流孔板(53)与相对面(51f、52f)之间进行密封,弹性构件(54)在流路构件(51、52)之间被压扁而对流路构件(51、52)之间进行密封。

    接头块和其制造方法
    25.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111065852A

    公开(公告)日:2020-04-24

    申请号:CN201880056569.6

    申请日:2018-08-17

    Abstract: 本发明提供一种实现小型化并且不使用焊接就能够进行制造的接头块。该接头块具有块主体(10)和安装在形成于块主体(10)的长度方向的另一端侧的凹部(15)的封闭构件(50),该接头块具有:密封机构,其具有形成于块主体(10)的相对面(15b)的圆环状突起(13),并且在第1流路(12c)的开口(12p)的周围圆环状突起(13)咬入于另一方的相对面(50e),由此将块主体(10)与封闭构件(50)之间密封;铆接部(16),其是将封闭构件(50)朝向块主体(10)的相对面(15b)按压而在块主体(10)形成的;以及卡合部(EN),其由凹部(15)的内周部(15a)和封闭构件(50)的与凹部(15)的内周部(15a)卡合的外周部(51)形成,由铆接部(16)和卡合部(EN)分担将密封机构的圆环状突起(13)向另一方的相对面(50e)按压的按压力。

    流体供给装置和流体供给方法

    公开(公告)号:CN110998801A

    公开(公告)日:2020-04-10

    申请号:CN201880051985.7

    申请日:2018-07-31

    Abstract: 提供一种能够稳定地供给超临界流体的流体供给装置和流体供给方法。该流体供给装置是用于朝向处理室供给向超临界流体变化之前的液态的流体的流体供给装置,该流体供给装置具有:冷凝器(130),其用于使气态的流体冷凝液化;贮存器(140),其用于贮存利用冷凝器(130)冷凝液化而成的流体;泵(150),其用于朝向处理室(500)加压输送被贮存于贮存器(140)的液化而成的流体;以及加热部件(20),其设于与泵(150)的喷出侧连通的流路,用于使该流路内的液体部分地成为超临界流体。

    流体控制设备的动作分析系统、方法以及计算机程序

    公开(公告)号:CN110352340A

    公开(公告)日:2019-10-18

    申请号:CN201880015080.4

    申请日:2018-03-13

    Abstract: 本发明能够收集并分析能预测流体控制设备的异常的原因或异常的数据,并且基于分析结果来预测异常。流体控制设备(8)和服务器(72)构成为能够经由网络(NW1、2)进行通信,流体控制设备(8)具有获取多个种类的流体控制设备(8)的动作信息的动作信息获取机构,服务器(72)具有:判别流体控制设备(8)的异常的判别处理部(721);收集流体控制设备(1)的动作信息和异常判别结果的信息收集部(724);存储收集到的动作信息和判别结果的信息存储单元(725);参照信息存储部(725),并针对每个流体控制设备(1)选择性地提取使给定的动作信息相同的其他动作信息和判别结果涉及的信息来作为分析对象的信息提取部(726);以及通过对比提取到的信息,对流体控制设备(8)的给定的动作与异常发生的相关关系进行分析的相关关系分析部(727)。

    管接头方法、管接头用部件、管接头及相关装置

    公开(公告)号:CN107614955B

    公开(公告)日:2019-07-05

    申请号:CN201680030545.4

    申请日:2016-05-27

    CPC classification number: F16L37/15 F16L23/036 F16L37/144

    Abstract: 一种管接头的接头方法,包括:准备第一管件(4)、第二管件(6)、推压部件(10)、以及壳体(8),该壳体(8)具有第一开口(22)、第二开口(24)、第三开口(26)、凸缘收容空间(1)(32)和收容空间(2)(28);通过将第一管件(4)自第二开口(24)向第一开口(22)插入,使第一管件(4)的第一凸缘部(16)卡止于凸缘收容空间(1)(32),将第二管件(6)自其第二凸缘部(18)插入第二开口(24);通过将推压部件(10)自第三开口(26)插入并收容于收容空间(2)(28),将第二凸缘部(18)向第一凸缘部(16)推压以形成将第一凸缘部(16)和第二凸缘部(18)密封的密封部。

    隔膜阀
    29.
    发明授权

    公开(公告)号:CN105473914B

    公开(公告)日:2019-06-28

    申请号:CN201480037151.2

    申请日:2014-07-09

    CPC classification number: F16K7/14 F16K7/126

    Abstract: 本发明提供一种可以大幅减少发生阀座泄漏的隔膜阀。在阀座(11)的顶部的径向中间部分形成有凹处(14)。阀座(11)的顶部的半径方向内侧部分(15)与隔膜(6)之间形成第一密封部(17)。阀座(11)的顶部的半径方向外侧部分(16)与隔膜(6)之间形成第二密封部(18)。凹处(14)的外周面(14b)为圆筒面。

    流体控制装置
    30.
    发明公开

    公开(公告)号:CN109563942A

    公开(公告)日:2019-04-02

    申请号:CN201780039064.4

    申请日:2017-06-19

    Abstract: 本发明提供一种流体控制装置,其能够在不减少流体的供给流量的前提下进一步实现小型化、集成化,并且能够大幅度削减组装工时,还能够改善维护性能。上游侧接头块体(20)的螺纹孔(25a)仅形成于在长度方向上比其流路口(24a)靠上游侧的位置,下游侧接头块体(20)的螺纹孔(25a)仅形成于在长度方向上比其流路口(24a)靠下游侧的位置,在引导部(55)与卡合部(22)之间具有排列机构(55f、22f),该排列机构(55f、22f)利用克服在互相连结的上游侧接头块体(20)、下游侧接头块体(20)和主体(113)上因紧固螺栓(BT)的紧固力而产生的弯曲力的反作用力(R1、R2)的一部分,使上游侧接头块体(20)和下游侧接头块体(20)的在与引导部(55)的长度方向正交的横向上的位置排列于引导部(55)的中央位置(CP)。

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