公开(公告)号：CN1355551A

公开(公告)日：2002-06-26

申请号：CN01130323.9

申请日：2001-09-14

Applicant: 株式会社半导体能源研究所

Inventor： 石川明

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/84 ,  G02F1/136 ,  G09F9/00

CPC classification number: H01L27/1266 ,  G02F1/133305 ,  G02F1/1368 ,  G02F2001/13613 ,  H01L21/84 ,  H01L24/97 ,  H01L27/124 ,  H01L2221/68368 ,  H01L2924/01004 ,  H01L2924/01005 ,  H01L2924/01006 ,  H01L2924/01013 ,  H01L2924/01015 ,  H01L2924/01018 ,  H01L2924/01021 ,  H01L2924/01023 ,  H01L2924/01024 ,  H01L2924/01027 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/0103 ,  H01L2924/01032 ,  H01L2924/01033 ,  H01L2924/01042 ,  H01L2924/01046 ,  H01L2924/01047 ,  H01L2924/01049 ,  H01L2924/01056 ,  H01L2924/0106 ,  H01L2924/01073 ,  H01L2924/01074 ,  H01L2924/01082 ,  H01L2924/09701 ,  H01L2924/12041 ,  H01L2924/12042 ,  H01L2924/14 ,  H01L2924/15788 ,  H01L2924/19043 ,  H01L2924/30105 ,  H01L2924/3025 ,  H01L2924/00

Abstract: 提供实现一种具有柔韧性的有效矩阵显示设备的方法。此外,提供一种用于降低在形成在不同的层上的线路之间的寄生电容的方法。在通过粘结固定第二衬底到在第一衬底上形成的薄膜器件以后,除去第一衬底,并且线路等在薄膜器件中形成。接着除去第二衬底,形成一个具有柔韧性的有效矩阵显示设备。进一步,在除去第一衬底以后,通过形成线路可以降低寄生电容,另外在有效层之上不形成门电极。