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公开(公告)号：CN102970829A
公开(公告)日：2013-03-13
申请号：CN201210117647.3
申请日：2004-09-10
Applicant: 独立行政法人产业技术综合研究所 , 播磨化成株式会社 , SIJ技术株式会社
CPC classification number: B05D1/007 , B32B3/266 , B32B15/08 , H01L21/4867 , H01L2924/0002 , H05K3/125 , H05K3/245 , H05K3/4061 , H05K3/4647 , H05K2201/0367 , H05K2203/013 , H05K2203/105 , H05K2203/1131 , H05K2203/1476 , Y10T428/24322 , H01L2924/00
Abstract: 制备衬底的方法，包括通过利用精细喷墨方法在衬底的指定位置(1)将金属微粒淀积为柱形，然后烧结产物以形成金属柱(2)的步骤。
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公开(公告)号：CN100350556C
公开(公告)日：2007-11-21
申请号：CN200510051760.6
申请日：2005-03-01
Applicant: 大日本网目版制造株式会社 , 独立行政法人产业技术综合研究所
IPC: H01L21/00 , H01L21/304 , B05C5/00 , B05C11/10 , H05K3/00
CPC classification number: B01L3/0268 , B01J2219/0036 , B01J2219/00378 , B01J2219/00659 , B01J2219/00722 , B01L2300/0627 , B01L2400/027 , B01L2400/0439 , C40B40/06 , C40B60/14 , G01N35/1016 , G01N2035/1041 , H05K3/125 , H05K2201/09727
Abstract: 本发明的目的是提供一种具有优良的通用性且能以高效率进行规定的处理的处理装置。在基板保持架(1)的上方设有能喷出通常粒径的溶液的液滴的通常流体喷射喷嘴(2)、能喷出比通常粒径小的微细粒径的溶液的液滴的微细流体喷射喷嘴(3)和正反射式激光位移计(4)。它们安装在同一支架上，形成头部(10)。头部(10)通过按照来自控制装置全体的控制部(50)的动作指令使X轴驱动部(41)、Y轴驱动部(42、43)和Z轴驱动部(44)动作，可以沿X、Y、Z方向自由移动。因此，能使头部(10)定位在基板保持架(1)上所保持的基板(S)上的任意位置上。由此，可以由各喷嘴向基板(S)上所希望的位置供给溶液的液滴。
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公开(公告)号：CN102970829B
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201210117647.3
申请日：2004-09-10
Applicant: 独立行政法人产业技术综合研究所 , 播磨化成株式会社 , SIJ技术株式会社
CPC classification number: B05D1/007 , B32B3/266 , B32B15/08 , H01L21/4867 , H01L2924/0002 , H05K3/125 , H05K3/245 , H05K3/4061 , H05K3/4647 , H05K2201/0367 , H05K2203/013 , H05K2203/105 , H05K2203/1131 , H05K2203/1476 , Y10T428/24322 , H01L2924/00
Abstract: 制备衬底的方法，包括通过利用精细喷墨方法在衬底的指定位置(1)将金属微粒淀积为柱形，然后烧结产物以形成金属柱(2)的步骤。
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公开(公告)号：CN101623954A
公开(公告)日：2010-01-13
申请号：CN200910166780.6
申请日：2005-12-09
Applicant: 独立行政法人产业技术综合研究所
Inventor： 村田和广
CPC classification number: B41J2/1637 , B41J2/162 , B41J2/1628 , B41J2/1632 , B41J2/1642 , B41J2/1645 , B41J2/1646
Abstract: 本发明提供一种能够整体转印图案的具有细喷嘴孔的喷嘴板，以及制造其的方法。而且，提供在基片上以所需形状、在所需位置处形成细喷嘴孔的方法，以及由该方法获得的喷墨喷嘴板。而且，提供整体转印喷墨喷嘴板能够具有高成像效率，并能够通过简化喷嘴控制器而减少成本；以及制造其的方法。本发明中，在凝固材料的板中的细喷嘴孔由以下形成：基于计算机中的数据，根据细喷墨工艺在基片上形成三维结构，在除形成三维结构的部分之外的部分涂覆凝固材料，并且然后硬化并且去除凝固材料。
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公开(公告)号：CN100569520C
公开(公告)日：2009-12-16
申请号：CN200580049077.7
申请日：2005-12-09
Applicant: 独立行政法人产业技术综合研究所
Inventor： 村田和广
CPC classification number: B41J2/1637 , B41J2/162 , B41J2/1628 , B41J2/1632 , B41J2/1642 , B41J2/1645 , B41J2/1646
Abstract: 本发明提供一种能够整体转印图案的具有细喷嘴孔的喷嘴板，以及制造其的方法。而且，提供在基片上以所需形状、在所需位置处形成细喷嘴孔的方法，以及由该方法获得的喷墨喷嘴板。而且，提供整体转印喷墨喷嘴板能够具有高成像效率，并能够通过简化喷嘴控制器而减少成本；以及制造其的方法。本发明中，在凝固材料的板中的细喷嘴孔由以下形成：基于计算机中的数据，根据细喷墨工艺在基片上形成三维结构，在除形成三维结构的部分之外的部分涂覆凝固材料，并且然后硬化并且去除凝固材料。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100461986C
公开(公告)日：2009-02-11
申请号：CN03808574.7
申请日：2003-04-11
Applicant: 独立行政法人产业技术综合研究所
Inventor： 村田和广
IPC: H05K3/06
CPC classification number: H05K3/048
Abstract: 一种印刷电路板的高速制造方法，包括步骤：在将要被构图的绝缘基板上熔化并喷射固体油墨，留下对应于图像部的部分未被喷射，用导电层对构图的绝缘基板侧进行涂覆，并通过溶解去除固体油墨部分，其中固体油墨包括作为主要成分的蜡，其中根据来自计算机的数据喷射熔化的固体油墨以便构图。
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公开(公告)号：CN1330429C
公开(公告)日：2007-08-08
申请号：CN03804287.8
申请日：2003-02-20
Applicant: 独立行政法人产业技术综合研究所
Inventor： 村田和广
CPC classification number: B05B5/0533 , B05B5/0255 , B41J2/01 , B41J2/04 , B41J2/14 , B41J2002/14395
Abstract: 一种超细流体喷射设备，包括配置在超细直径喷嘴末端附近的一基片，向喷嘴提供溶液，并向喷嘴中的溶液施加可选波形电压，以便向基片表面喷射超细直径的流体液滴；其中喷嘴末端的附近的电场强度根据喷嘴直径的降低，充分大于喷嘴与基片之间作用的电场；且其中使用麦克斯韦尔应力及电湿作用，通过降低喷嘴直径等降低电导率，并改进通过电压控制的喷射速率的可控制性；且其中通过使用带电液滴适度的蒸发并通过电场对液滴的加速，指数地改进着陆精确性。
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公开(公告)号：CN1871085A
公开(公告)日：2006-11-29
申请号：CN200480031492.5
申请日：2004-09-10
Applicant: 独立行政法人产业技术综合研究所 , 播磨化成株式会社
CPC classification number: H05K3/125 , C09D5/24 , C09D17/006 , H01B1/02 , H01B1/22 , H05K2201/0257 , H05K2203/013
Abstract: 本发明提供一种分散液，其可以利用于具有极微细的图案形状并且截面形状的厚度/最小宽度的比率高的导电体层的形成，在以高精度描绘微细的图案形状时，具有可以适用喷墨法的高的流动性，作为导电体媒介而仅利用金属纳米粒子。根据本发明，作为能够以微细的液滴的形状喷射、进行层叠涂布的金属纳米粒子分散液，使平均粒子径1～100nm的金属纳米粒子在沸点80℃以上的分散溶媒中分散，分散溶媒的容积比率选择为55～80体积％的范围，分散液的液粘度(20℃)，选择在2mPa·s～30mPa·s的范围，通过喷墨法等作为微细的液滴进行喷射时，在飞行期间，随着液滴中所含的分散溶媒蒸散而浓缩，作为浓稠的分散液，而可以涂布。
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公开(公告)号：CN1674217A
公开(公告)日：2005-09-28
申请号：CN200510051760.6
申请日：2005-03-01
Applicant: 大日本网目版制造株式会社 , 独立行政法人产业技术综合研究所
IPC: H01L21/00 , H01L21/304 , B05C5/00 , B05C11/10 , H05K3/00
CPC classification number: B01L3/0268 , B01J2219/0036 , B01J2219/00378 , B01J2219/00659 , B01J2219/00722 , B01L2300/0627 , B01L2400/027 , B01L2400/0439 , C40B40/06 , C40B60/14 , G01N35/1016 , G01N2035/1041 , H05K3/125 , H05K2201/09727
Abstract: 本发明的目的是提供一种具有优良的通用性且能以高效率进行规定的处理的处理装置。在基板保持架(1)的上方设有能喷出通常粒径的溶液的液滴的通常流体喷射喷嘴(2)、能喷出比通常粒径小的微细粒径的溶液的液滴的微细流体喷射喷嘴(3)和正反射式激光位移计(4)。它们安装在同一支架上，形成头部(10)。头部(10)通过按照来自控制装置全体的控制部(50)的动作指令使X轴驱动部(41)、Y轴驱动部(42、43)和Z轴驱动部(44)动作，可以沿X、Y、Z方向自由移动。因此，能使头部(10)定位在基板保持架(1)上所保持的基板(S)上的任意位置上。由此，可以由各喷嘴向基板(S)上所希望的位置供给溶液的液滴。
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公开(公告)号：CN1647597A
公开(公告)日：2005-07-27
申请号：CN03808574.7
申请日：2003-04-11
Applicant: 独立行政法人产业技术综合研究所
Inventor： 村田和广
IPC: H05K3/02
CPC classification number: H05K3/048
Abstract: 一种印刷电路板的高速制造方法，包括步骤：在将要被构图的绝缘基板上熔化并喷射固体油墨，留下对应于图像部的部分未被喷射，用导电层对构图的绝缘基板侧进行涂覆，并通过溶解去除固体油墨部分，其中固体油墨包括作为主要成分的蜡，其中根据来自计算机的数据喷射熔化的固体油墨以便构图。
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