一种低应力氮化铝薄膜的制备方法

    公开(公告)号:CN114395751A

    公开(公告)日:2022-04-26

    申请号:CN202111534071.6

    申请日:2021-12-15

    Abstract: 本发明公开了属于压电薄膜制备技术领域的一种低应力氮化铝薄膜的制备方法。所述方法将靶材和衬底装入磁控溅射设备,调节磁控溅射靶材法线方向与基片台法线方向的夹角X,靶基距为Y,在工作气体气氛下调节气体流量、溅射功率和溅射气压Z,稳定后进行氮化铝薄膜沉积,结束沉积后,降温获得低应力的C轴取向氮化铝薄膜;确保Z=5.5e(‑Y‑X/2)/43‑0.03,其中,0≤X≤30°;120mm≤Y≤200mm。本发明采用的方法在使溅射粒子保持较高的能量的同时,还使其在基片台能够充分扩散,制备的氮化铝薄膜具有C轴择优取向的同时具备低应力,有利于提高氮化铝器件的可靠性,且操作流程简单,适用于工业大规模生产。

    一种非蒸散型低温激活吸气剂

    公开(公告)号:CN113308623B

    公开(公告)日:2022-01-04

    申请号:CN202010422097.0

    申请日:2020-05-18

    Inventor: 熊玉华 吴华亭

    Abstract: 本发明公开了一种新型非蒸散型低温激活吸气剂,按质量百分比计由以下组分组成:钛63%~82%,钴13%~33%,稀土元素2%~5%。所述稀土元素为镧、铈、镨、钕中的一种或多种的混合物。本发明的非蒸散型低温激活吸气剂用于在真空中或在惰性气体中吸收活性气体,用于在电真空器件中提高或维持真空或用于提纯惰性气体。本发明所提供的非蒸散型低温激活吸气剂可在250~450℃保温15~30分钟的条件下激活,具有较好的吸气性能,且在同样的激活条件下,其吸气性能显著优于St787。从环境和安全的角度来看,该吸气剂也是安全的,不含有有毒的或能形成有毒化合物的金属。此外,Ti的储量丰富、价格较Zr便宜,该低温激活吸气剂更具经济优势。

    一种无需激活的钛基吸氢材料及其制备方法

    公开(公告)号:CN110863174A

    公开(公告)日:2020-03-06

    申请号:CN201911139755.9

    申请日:2019-11-20

    Abstract: 本发明属于吸气剂材料技术领域的一种无需激活的钛基吸氢材料及其制备方法,所述材料包括吸气层、过渡层和保护层,所述过渡层和保护层依次对称分布在吸气层两侧;吸气层中金属Ti箔的纯度为99.9%以上;过渡层中的Ti的纯度为99.995%以上;保护层为Pd、Ni和Pd-Ag合金中任意一种,其中Pd的纯度为99.95%以上,Ni的纯度为99.995%以上,Pd-Ag合金中Ag的重量百分比为25%。本发明的钛基吸氢材料具有无需激活、室温吸氢、吸氢量大、可切割、厚度可调、使用方便等特点,可用于消除高真空电子器件的残余氢气,避免氢气对器件造成危害。

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