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公开(公告)号：CN102843117A
公开(公告)日：2012-12-26
申请号：CN201210209939.X
申请日：2012-06-20
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H03H9/215 , H03H3/02 , H03H2003/026
Abstract: 本发明涉及一种弯曲振动片及其制造方法以及电子设备。在弯曲振动片的振动臂的侧面上高精度地对在厚度方向上分离的电极进行图案形成。弯曲振动片(21)的、从基部(22)起延伸的矩形截面的振动臂(24)具有第一、第二阶梯部(27、28)，该第一、第二阶梯部(27、28)由在下表面(24b)及上表面(24a)和左侧面(24c)及右侧面(24d)之间，分别与左侧面及右侧面相交的阶梯面(27a、28a)、和与上表面及下表面相交的阶梯侧面(27b、28b)构成，左右侧面上的第一、第四检测电极(29a、29d)和阶梯侧面上的第二、第三检测电极(29b、29c)分别通过阶梯面(27a、28a)中未形成电极膜的部分而在振动臂的厚度方向上分离。第一至第四检测电极利用现有的光刻技术，并使用通常的曝光机而从上下表面曝光从而被高精度地进行图案形成。
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公开(公告)号：CN1879007B
公开(公告)日：2010-09-08
申请号：CN200480033199.2
申请日：2004-10-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01C19/5621 , G01C19/5628 , G01C19/5783
Abstract: 本发明提供一种在使用振子的物理量测定装置中，可以降低检测信号的零点温度漂移这样的振动式陀螺仪。提供一种通过连接线(26)来支撑振子(1A)的用于振动式陀螺仪的振子的支撑结构。振动式陀螺仪具有形成有配置在振子1A正下方的开口(25)的支撑板(40)以及连接线(26)，该连接线(26)具有：连接固定在振子(1A)上的连接端部(29)；固定到支撑板(40)上的固定部(26a)；以及存在于开口(25)下的折曲部(28)。连接线(26)从支撑板(40)的突出开始位置(39)与折曲部(28)的间隔(L1)是折曲部(28)与连接端部(29)的间隔(L2)的10％以上。
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公开(公告)号：CN103487044B
公开(公告)日：2018-05-15
申请号：CN201310225878.0
申请日：2013-06-07
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/5783
CPC classification number: H01L41/332 , G01C19/5621 , G01C19/5628 , Y10T29/49155
Abstract: 本发明提供一种电子装置、电子设备、移动体、以及电子装置的制造方法，所述电子装置能够防止透过了振动元件等元件的激光对电路元件造成的损坏。所述电子装置的特征在于，具备作为元件的振动元件（20）和作为电路元件的半导体基板（10），所述振动元件（20）上设置有基部（21）、从基部（21）起延伸的支承部（27）、和作为质量调节部的调节用电极（124a、124b），振动元件（20）被配置于，在俯视观察时调节用电极（124a、124b）不与半导体基板（10）重叠的位置处，支承部（27）与半导体基板（10）相连接，从而振动元件（20）被搭载于半导体基板（10）上。
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公开(公告)号：CN107493087A
公开(公告)日：2017-12-19
申请号：CN201710407093.3
申请日：2017-06-02
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 菊池尊行
CPC classification number: H03L1/04 , G01K7/021 , G01K7/023 , G01K2007/163 , G05D23/20 , H03H9/0547 , H03H9/1021 , H03L1/022 , H03L1/027 , H03L1/028 , H03H9/10 , H03H9/19
Abstract: 振荡器、电子设备和移动体。振荡器包括：容器；振荡元件，其收容在所述容器中；发热电路，其收容在所述容器中，对所述振荡元件的温度进行控制；温度检测电路，其收容在所述容器中；温度控制电路，其收容在所述容器中，根据所述温度检测电路的输出对所述发热电路进行控制；连接布线，其收容在所述容器中，将所述温度检测电路的地线和所述温度控制电路的地线电连接；以及地线外部端子，其配置在所述容器的外表面，与所述温度检测电路的地线以及所述温度控制电路的地线电连接。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102130661B
公开(公告)日：2013-12-04
申请号：CN201110006591.X
申请日：2011-01-13
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H03H3/02
CPC classification number: H03H9/1014 , H03H3/02 , Y10T29/42
Abstract: 本发明提供压电器件的制造方法，在通过对金属片照射激光而堵塞形成于封装体的盖的贯通孔时，能防止激光进入腔室。本发明所涉及的压电器件(100)的制造方法包括：在金属板(10)形成凹陷部(22)并在凹陷部的内表面形成贯通孔(24)，从而形成盖(20)的工序；以使凹陷部朝封装基座(30)侧突出的方式将盖(20)固定于收纳压电振动片(60)的封装基座的工序；将金属片(90)配置于凹陷部的工序；经由贯通孔(24)对腔室(32)进行减压的工序；以及对金属片(90)照射激光(L1)使金属片熔融，来堵塞贯通孔(24)的工序，在形成盖(20)的工序中，朝向与金属板(10)的厚度方向正交的方向形成贯通孔(24)。
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公开(公告)号：CN103363974A
公开(公告)日：2013-10-23
申请号：CN201310094984.X
申请日：2013-03-22
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/5607
CPC classification number: G01C19/5607 , G01C19/5621 , H01L41/08 , H01L41/0825 , H01L41/094 , H01L41/1132 , H01L41/1136
Abstract: 本发明提供振动片、陀螺仪传感器、电子设备和移动体。作为课题，如果仅通过1对悬臂来支撑基部，则无法最大限度地引起第2振动臂的运动。驱动系统的布线和检测系统的布线混合安装在1对悬臂上，振动片的噪声特性和温度特性劣化。作为解决手段，第1振动臂（26a、26b）从基部（25）起沿着第1方向（D1）延伸。第2振动臂（27a、27b）从基部（25）起沿着第2方向（D2）延伸。第1悬臂（32a、32b）从固定部（19）起延伸，并与基部（25）的第1连接部（34）连接。第2悬臂（33a、33b）从固定部（19）起延伸，并与基部（25）的第2连接部（37）连接。
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公开(公告)号：CN103363973A
公开(公告)日：2013-10-23
申请号：CN201310089719.2
申请日：2013-03-20
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/5607
CPC classification number: G01C19/5607 , H01L41/047 , H01L41/0472 , H01L41/107 , H01L41/25 , H03H9/21 , Y10T29/42
Abstract: 本发明提供振动片及其制造方法、陀螺仪传感器、电子设备及移动体，能够在不降低输出信号的强度的情况下提高输出信号的S/N比。振动片(15)具备检测用振动臂（26a、26b）。在检测用振动臂(26a、26b)上设置有电极(41a、41b)。与电极(41a、41b)连接着布线(45a、45b)。布线(45a、45b)配置在基部(25)的压电体上。布线(45a、45b)的至少一部分是调整用电极(54a、54b)。调整用电极(54a、54b)生成与检测用振动臂(26a)的泄漏振动的输出信号相反相位的电信号。
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公开(公告)号：CN102857190A
公开(公告)日：2013-01-02
申请号：CN201210215200.X
申请日：2012-06-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H03H3/02 , H03H9/21 , H03H2003/026 , Y10T29/42
Abstract: 本发明提供一种弯曲振动片、及其制造方法以及电子设备，所述弯曲振动片即使小型化也能够有效地去除由振动臂的面外振动而产生的振动泄漏。具备基部(2)、一对驱动用振动臂(3a、3b)、一对检测用振动臂(4a、4b)、驱动电极及检测电极的双侧音叉型弯曲振动片(1)具有，被形成在振动臂与基部之间的结合区域上的金属材料等的调节膜(6a、6b)。调节膜被形成为，包括：被形成在驱动用振动臂与基部之间的结合部上的锥形部(5a、5b)的区域(S1)；靠近锥形部的、基部的区域(S2)以及驱动用振动臂的区域(S3)。在对当在驱动模式下激励了驱动用振动臂时由检测电极输出的检测电流进行监控的同时，所述调节膜通过激光照射等而被部分削除，从使该检测电流成为零。
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公开(公告)号：CN102840858A
公开(公告)日：2012-12-26
申请号：CN201210212645.2
申请日：2012-06-21
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/5607
CPC classification number: G01C19/5621
Abstract: 本发明提供一种弯曲振动片以及电子设备，所述弯曲振动片能够有效地抑制驱动模式下的错误检测信号的产生。双侧音叉型弯曲振动片(11)具有：与支承部(12)相连接的一对的驱动用振动臂(13)以及朝向与所述驱动用振动臂(13)相反的一对的检测用振动臂(14)。支承部具有：在宽度方向上的两侧部处形成的细槽状的凹部(17a、17b)、以及在所述支承部的平面部的大致中央且凹部的驱动用振动臂侧形成的贯穿孔(18)。在支承部的表面上，以通过支承部的两侧部处的凹部与平面部上的贯穿孔而在长度方向上被隔开的方式，从驱动用振动臂的驱动电极引出的驱动用电极衬垫被配置在驱动用振动臂侧，而从检测用振动臂的检测电极引出的检测用电极衬垫被配置在检测用振动臂侧。
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