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公开(公告)号：CN113009760A
公开(公告)日：2021-06-22
申请号：CN202011496567.4
申请日：2020-12-17
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开的各实施例涉及具有改进结构的、带有压电止动的微机电镜设备。一种微机电镜设备具有限定腔的固定的结构。承载反射表面的可倾斜结构被弹性地悬置在腔上方，可倾斜结构具有在水平面中的主延伸。弹性元件被耦合到可倾斜结构，并且承载压电材料的相应的区域的至少一个第一对驱动臂是可偏置的，以导致可倾斜结构围绕与水平面的第一水平轴线平行的至少一个第一旋转轴线的旋转。驱动臂被弹性地耦合到第一旋转轴线的相对侧上的可倾斜结构，并且被插入在可倾斜结构与固定结构之间。驱动臂沿着与水平面横向的正交轴线具有一厚度，该厚度小于被耦合到可倾斜结构的至少一些弹性元件的厚度。
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公开(公告)号：CN107265387B
公开(公告)日：2019-07-09
申请号：CN201610875661.8
申请日：2016-09-30
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: MEMS器件(40)具有经由被配置为支持平台关于第一轴线(A)的旋转的弹性连接元件(46)由框架(48)承载的平台(45)。承载结构(41)通过被配置为支持框架(48)关于横向于第一轴线(A)的第二轴线(B)的旋转的第一和第二弹性悬挂臂来支撑框架(48)。弹性悬挂臂(49)通过被布置成关于第二轴线(B)偏移的相应锚固部分(50)而被锚固到承载结构(41)。应力传感器(51、52)由第一和第二传感器元件(51、52)形成，其相应地被布置在关于第一轴线(A)对称位置中的第二轴线(B)的相同侧上的锚固部分附近的第一和第二悬挂臂(49)上。
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公开(公告)号：CN117250749A
公开(公告)日：2023-12-19
申请号：CN202310717188.0
申请日：2023-06-16
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G02B26/08
Abstract: 一种微机电器件具有在由第一水平轴线和第二水平轴线限定的水平面中延伸的第一可倾斜镜面结构，并且包括限定界定腔体的框架的固定结构、承载反射区域的可倾斜元件，该可倾斜元件弹性地悬置在腔体上方并且具有第一中间对称轴线和第二中间对称轴线，通过位于第二水平轴线的相对侧的第一耦合结构和第二耦合结构弹性地耦合到框架。第一可倾斜镜面结构具有驱动结构，该驱动结构耦合到可倾斜元件以引起围绕第一水平轴线的旋转。第一可倾斜镜面结构相对于第二水平轴线是非对称的，并且沿着第一水平轴线在第二水平轴线的第一侧具有第一延伸，并且在第二水平轴线的与第一侧相对的第二侧具有大于第一延伸的第二延伸。
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公开(公告)号：CN116736523A
公开(公告)日：2023-09-12
申请号：CN202310226307.2
申请日：2023-03-10
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 公开了压电致动的双轴微机电镜设备。微机电镜设备具有限定界定腔的外部框架的固定结构、被布置在腔上方并限定窗口的内部框架、以及具有反射表面并被布置在窗口中的可倾斜结构。通过第一耦接弹性元件和第二耦接弹性元件弹性地耦接到内部框架。致动结构耦接到内部框架以使得可倾斜结构绕第一轴和第二轴旋转。致动结构具有第一对驱动臂和另一对驱动臂，第一对驱动臂弹性地耦接到内部框架并承载压电材料区域以使得可倾斜结构绕第一轴旋转，另一对驱动臂承载压电材料区域以使得可倾斜结构绕第二轴旋转并插入固定结构和内部框架之间，另一对驱动臂通过第一悬挂弹性元件和第二悬挂弹性元件弹性地耦接到固定结构和内部框架。
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公开(公告)号：CN113009760B
公开(公告)日：2023-01-03
申请号：CN202011496567.4
申请日：2020-12-17
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开的各实施例涉及具有改进结构的、带有压电止动的微机电镜设备。一种微机电镜设备具有限定腔的固定的结构。承载反射表面的可倾斜结构被弹性地悬置在腔上方，可倾斜结构具有在水平面中的主延伸。弹性元件被耦合到可倾斜结构，并且承载压电材料的相应的区域的至少一个第一对驱动臂是可偏置的，以导致可倾斜结构围绕与水平面的第一水平轴线平行的至少一个第一旋转轴线的旋转。驱动臂被弹性地耦合到第一旋转轴线的相对侧上的可倾斜结构，并且被插入在可倾斜结构与固定结构之间。驱动臂沿着与水平面横向的正交轴线具有一厚度，该厚度小于被耦合到可倾斜结构的至少一些弹性元件的厚度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113009684A
公开(公告)日：2021-06-22
申请号：CN202011519697.5
申请日：2020-12-21
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开的各实施例涉及具有防冲击的可倾斜结构的微机电装置。一种微机电装置由具有腔的固定结构形成。可倾斜结构被弹性地悬挂在腔上方并且在可倾斜平面中具有主延伸部，并且能够绕平行于可倾斜平面的旋转轴线旋转。压电致动结构包括第一驱动臂和第二驱动臂，第一驱动臂和第二驱动臂承载相应的压电材料区并且在旋转轴线的相对侧延伸。第一驱动臂和第二驱动臂被刚性地耦合至固定结构并且被弹性地耦合至可倾斜结构。在操作期间，止动结构限制可倾斜结构相对于致动结构沿着垂直于旋转轴线的平面方向的运动。止动结构具有被形成在第一驱动臂与可倾斜结构之间的第一平面止动元件以及被形成在第二驱动臂与可倾斜结构之间的第二平面止动元件。
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公开(公告)号：CN111320129A
公开(公告)日：2020-06-23
申请号：CN201911284633.9
申请日：2019-12-13
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开的各实施例涉及具有通过压电致动而可倾斜的结构的微机电设备。一种微机电设备，包括固定结构，该固定结构限定具有可倾斜结构的腔，该可倾斜结构被弹性地悬挂在该腔中。压电驱动的致动结构，被插入在可倾斜结构和固定结构之间，其被偏置以用于使可倾斜结构围绕第一旋转轴旋转，该第一旋转轴属于可倾斜结构所在的水平平面。致动结构包括一对驱动臂，该一对驱动臂承载压电材料的相应区域，并且通过相应的弹性解耦元件，在第一旋转轴的相对侧上弹性地耦合到该可倾斜结构。弹性解耦元件关于离开水平平面的运动表现出刚性，并且关于绕第一旋转轴的扭转表现出顺应性。
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公开(公告)号：CN110240113A
公开(公告)日：2019-09-17
申请号：CN201910485274.7
申请日：2016-09-30
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: MEMS器件(40)具有经由被配置为支持平台关于第一轴线(A)的旋转的弹性连接元件(46)由框架(48)承载的平台(45)。承载结构(41)通过被配置为支持框架(48)关于横向于第一轴线(A)的第二轴线(B)的旋转的第一和第二弹性悬挂臂来支撑框架(48)。弹性悬挂臂(49)通过被布置成关于第二轴线(B)偏移的相应锚固部分(50)而被锚固到承载结构(41)。应力传感器(51、52)由第一和第二传感器元件(51、52)形成，其相应地被布置在关于第一轴线(A)对称位置中的第二轴线(B)的相同侧上的锚固部分附近的第一和第二悬挂臂(49)上。
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公开(公告)号：CN106842553A
公开(公告)日：2017-06-13
申请号：CN201610487301.0
申请日：2016-06-28
Applicant: 意法半导体股份有限公司
CPC classification number: G02B26/105 , B81B3/0048 , B81B3/0083 , B81B2201/042 , G02B26/0858 , H04N9/3173 , B81B3/0027 , B81B5/00 , G03B21/008
Abstract: 微机械设备包括能够围绕第一旋转轴线旋转的可倾斜结构。可倾斜结构通过压电型的致动结构被耦合到固定结构。致动结构由具有螺旋形状的弹簧元件形成。每个弹簧元件包括横向于第一旋转轴线延伸的致动臂。每个致动臂承载压电材料的相应压电带。致动臂被分开为两组，使得其压电带处于相反相位而被偏压以获得在围绕第一旋转轴线的可倾斜结构的相反方向中的旋转。
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公开(公告)号：CN220467578U
公开(公告)日：2024-02-09
申请号：CN202320443633.4
申请日：2023-03-10
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 公开了包括微机电镜设备的设备及微机电镜设备。包括微机电镜设备的设备具有限定界定腔的外部框架的固定结构、布置在腔上方并限定窗口的内部框架、具有反射表面并被布置在窗口中的可倾斜结构。通过第一和第二耦接弹性元件弹性地耦接到内部框架。致动结构耦接到内部框架使得可倾斜结构绕第一和第二轴旋转。致动结构具有第一对和另一对驱动臂，第一对驱动臂弹性地耦接到内部框架并承载压电材料区域以使得可倾斜结构绕第一轴旋转，另一对驱动臂承载压电材料区域使得可倾斜结构绕第二轴旋转并插入固定结构和内部框架之间，另一对驱动臂通过第一和第二悬挂弹性元件弹性地耦接到固定结构和内部框架。本公开的方案提供了具有改进特性的微机电镜设备。
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