基于氧化锌量子点的同质结紫外光电探测器的制备方法

    公开(公告)号:CN115084315A

    公开(公告)日:2022-09-20

    申请号:CN202210671485.1

    申请日:2022-06-14

    Abstract: 基于氧化锌量子点的同质结紫外光电探测器的制备方法,它为了解决现有氧化锌异质结光电探测器由于ZnO和其他物质之间晶格失配,导致阻碍光电探测器的载流子传输的问题。制备方法:一、将氢氧化钾溶液加入到醋酸锌溶液中,搅拌反应,得到的ZnO量子点分散到氯仿和甲醇的混合溶液中,得到ZnO量子点分散液;二、在衬底上沉积ZnO薄膜;三、在带有ZnO薄膜的衬底上涂覆ZnO量子点分散液,量子点层和沉积层形成同质结,最后退火处理。本发明基于ZnO量子点/磁控溅射ZnO同质结,其具有过量氧吸附‑解吸位点的ZnO量子点层保证高产量的光诱导载流子,而具有优先取向结晶度的磁控溅射ZnO层适合加速载流子传输。

    基于薄膜集成无源器件工艺的小型化紧凑型双工器

    公开(公告)号:CN109962324B

    公开(公告)日:2021-07-13

    申请号:CN201910250975.2

    申请日:2019-03-29

    Inventor: 王琮 于赫

    Abstract: 基于薄膜集成无源器件工艺的小型化紧凑型双工器,本发明属于微波器件领域,具体涉及一种小型化双工器,它为了解决现有平面级联结构的双工器尺寸较大,工作过程中性能不稳定性的问题。本发明紧凑型双工器包括高通滤波器和低通滤波器,高通滤波器耦合到信号端口一和信号端口二,低通滤波器耦合到信号端口一和信号端口三,其中高通滤波器由二号电容并联第一电容电感谐振电路组成,低通滤波器由两个串联电感并联第二电容电感谐振电路组成;该小型化紧凑型双工器通过薄膜集成无源器件工艺制成多层结构。本发明紧凑型双工器的尺寸仅为1.9mm×0.8mm,厚度为0.2mm,而且本发明的制造工艺精度高,器件性能稳定。

    基于微波贴片谐振器的葡萄糖定量测试传感器及制备方法

    公开(公告)号:CN107271498A

    公开(公告)日:2017-10-20

    申请号:CN201710456411.5

    申请日:2017-06-16

    Inventor: 王琮 强天

    CPC classification number: G01N27/221

    Abstract: 本发明公开一种基于微波贴片谐振器的葡萄糖定量测试传感器及制备方法,本方法制备的传感器解决了微波器件测量葡萄糖浓度时的不准确性问题,首先在半导体基板正面上制作贴片谐振器和共面波导馈线的样本贴片,然后在含有样本贴片基板的正面制作SU-8光阻胶的围墙结构,或者在含有样本贴片基板的背面制作凹槽结构。本发明采用谐振频率和反射系数作为检测参数,实现了不超过一秒的检测反应时间、高灵敏度和可重复利用特性,克服了基于微波器件的生物传感器普遍存在的不能定量测试的弊端。

    一种金属纳米线薄膜的制备方法及其应用

    公开(公告)号:CN117186460A

    公开(公告)日:2023-12-08

    申请号:CN202311143793.8

    申请日:2023-09-06

    Abstract: 一种金属纳米线薄膜的制备方法及其应用,本发明为了解决现有在柔性衬底上沉积金属纳米线的方法易损坏,寿命与稳定性不好的问题。制备方法:一、将氯化银和葡萄糖加入到去离子水中,得到反应液;二、以180℃~200℃的温度进行水热反应;三、银纳米线加入到无水乙醇中超声分散;四、将分散好的银纳米线—乙醇混合液加入到热固性PI液体中,得到混合聚酰亚胺液体;五、将混合液体涂抹在硬质衬底上匀胶处理;六、将平铺有混合液体的衬底烘烤固化;七、激光扫描处理。本发明将金属纳米线与柔性衬底液态前体混合再制膜的方法可以使金属纳米线与衬底完全融合,从而使金属纳米线被很好地保护起来,避免纳米线被氧化以及纳米线通路被破坏。

    基于二维带状MoO3纳米材料的高灵敏度微波湿度传感器

    公开(公告)号:CN109884087B

    公开(公告)日:2021-07-13

    申请号:CN201910325270.2

    申请日:2019-04-22

    Inventor: 王琮 于赫

    Abstract: 基于二维带状MoO3纳米材料的高灵敏度微波湿度传感器,本发明属于湿度传感器领域,它为了解决现有湿度传感器灵敏度较低和响应时间较长的问题。本发明微波湿度传感器中连接微带线的一端与第一端口馈线连通,连接微带线的另一端与第二端口馈线连通,一号矩形环开环谐振器和二号矩形环开环谐振器对称分布在连接微带线的两侧,三号矩形环开环谐振器和四号矩形环开环谐振器对称分布在连接微带线的两侧,连接微带线与四个矩形环开环谐振器均为平行线耦合,敏感材料位于每个开环谐振器的开口处。本发明从选频分析、气敏材料合成、微波器件设计等方面对微波湿度检测器件进行优化,实现了10%到90%相对湿度范围的高灵敏检测。

    基于多层氮化硅钝化且包含氧化铝栅极电介质的高电子迁移率晶体管及其制备方法

    公开(公告)号:CN111129140B

    公开(公告)日:2021-01-29

    申请号:CN201911418784.9

    申请日:2019-12-31

    Inventor: 王琮 周忠良

    Abstract: 基于多层氮化硅钝化且包含氧化铝栅极电介质的高电子迁移率晶体管及其制备方法,本发明涉及一种高电子迁移率晶体管,它为了解决现有GaN高电子迁移率晶体管由于陷阱效应导致的电流崩塌对器件影响,工作寿命较低的问题。本发明高电子迁移率晶体管由下至上依次为基底,过渡层,缓冲层,半导体i‑GaN层,半导体i‑Al0.25Ga0.75N层,i‑GaN帽层,双SiNx层,Al2O3栅极介电层以及顶层厚Si3N4层。本发明在AlGaN/GaN上产生了高鲁棒性及高稳定性的界面,且AlGaN表面得到有效的保护,该AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管减少了泄漏电流,提高击穿电压,且具有极高的工作寿命。

    基于薄膜集成无源器件工艺的小型化紧凑型双工器

    公开(公告)号:CN109962324A

    公开(公告)日:2019-07-02

    申请号:CN201910250975.2

    申请日:2019-03-29

    Inventor: 王琮 于赫

    Abstract: 基于薄膜集成无源器件工艺的小型化紧凑型双工器,本发明属于微波器件领域,具体涉及一种小型化双工器,它为了解决现有平面级联结构的双工器尺寸较大,工作过程中性能不稳定性的问题。本发明紧凑型双工器包括高通滤波器和低通滤波器,高通滤波器耦合到信号端口一和信号端口二,低通滤波器耦合到信号端口一和信号端口三,其中高通滤波器由二号电容并联第一电容电感谐振电路组成,低通滤波器由两个串联电感并联第二电容电感谐振电路组成;该小型化紧凑型双工器通过薄膜集成无源器件工艺制成多层结构。本发明紧凑型双工器的尺寸仅为1.9mm×0.8mm,厚度为0.2mm,而且本发明的制造工艺精度高,器件性能稳定。

    基于二维带状MoO3纳米材料的高灵敏度微波湿度传感器

    公开(公告)号:CN109884087A

    公开(公告)日:2019-06-14

    申请号:CN201910325270.2

    申请日:2019-04-22

    Inventor: 王琮 于赫

    Abstract: 基于二维带状MoO3纳米材料的高灵敏度微波湿度传感器,本发明属于湿度传感器领域,它为了解决现有湿度传感器灵敏度较低和响应时间较长的问题。本发明微波湿度传感器中连接微带线的一端与第一端口馈线连通,连接微带线的另一端与第二端口馈线连通,一号矩形环开环谐振器和二号矩形环开环谐振器对称分布在连接微带线的两侧,三号矩形环开环谐振器和四号矩形环开环谐振器对称分布在连接微带线的两侧,连接微带线与四个矩形环开环谐振器均为平行线耦合,敏感材料位于每个开环谐振器的开口处。本发明从选频分析、气敏材料合成、微波器件设计等方面对微波湿度检测器件进行优化,实现了10%到90%相对湿度范围的高灵敏检测。

    基于微波贴片谐振器的葡萄糖定量测试传感器及制备方法

    公开(公告)号:CN107271498B

    公开(公告)日:2019-04-23

    申请号:CN201710456411.5

    申请日:2017-06-16

    Inventor: 王琮 强天

    Abstract: 本发明公开一种基于微波贴片谐振器的葡萄糖定量测试传感器及制备方法,本方法制备的传感器解决了微波器件测量葡萄糖浓度时的不准确性问题,首先在半导体基板正面上制作贴片谐振器和共面波导馈线的样本贴片,然后在含有样本贴片基板的正面制作SU‑8光阻胶的围墙结构,或者在含有样本贴片基板的背面制作凹槽结构。本发明采用谐振频率和反射系数作为检测参数,实现了不超过一秒的检测反应时间、高灵敏度和可重复利用特性,克服了基于微波器件的生物传感器普遍存在的不能定量测试的弊端。

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