一种用于改进型α-β扫描方法的延迟相位标定方法

    公开(公告)号:CN108592790B

    公开(公告)日:2020-07-28

    申请号:CN201810332847.8

    申请日:2018-04-13

    Abstract: 一种用于改进型α‑β扫描方法的延迟相位标定方法,其步骤包括:使用α‑β扫描方法完成对正交网格光栅样品扫描成像,即使用频率为f,初始相位分别为0和π/2正弦信号控制检流式振镜系统,偏转激光光束扫描;然后根据使用目标轨迹重构的扫描图像与目标图像相对位置关系确认扫描图像旋转角度θ,角度值θ转换弧度值φ,φ即为在频率为f时延迟相位大小;重复步骤上述测量过程获得不同频率fk下延迟相位大小φk;最后根据多组测量结果,拟合f‑φ函数关系,即为扫描频率与相位延迟函数关系,完成用于改进型α‑β扫描方法的延迟相位标定。本发明提供的延迟相位标定方法,精准确定相位延迟大小,提前校正由于振镜系统惯性导致的相位延迟。

    共焦显微镜模式像差矫正装置

    公开(公告)号:CN107991235B

    公开(公告)日:2020-07-28

    申请号:CN201711238228.4

    申请日:2017-11-30

    Abstract: 共焦显微镜模式像差矫正装置,属于自适应光学和共焦显微成像技术领域,本发明为了解决现有现有像差矫正装置过于复杂、操作不便且样品预处理步骤复杂的问题。激光器发出的激光经双面45°反光镜的一侧反光镜面反射后途经分束镜到达半波片,经半波片调制后射入至空间光调制器,再经空间光调制器调制后射回至分束镜,再经分束镜反射至反射镜,然后经光阑滤除高阶衍射杂光后射到双面45°反光镜的另一侧反光镜面,经双面45°反光镜再次反射后经过偏振分束镜射至XY扫描振镜上。本发明的共焦显微镜模式像差矫正装置可在不增加样品操作以及成像装置最简化的情况下达到图像幅值增加百分之44和成像质量提升百分之17的效果。

    基于同心双锥面镜的暗场共焦亚表面检测装置和方法

    公开(公告)号:CN109580639A

    公开(公告)日:2019-04-05

    申请号:CN201811497335.3

    申请日:2018-12-07

    Abstract: 本发明公开了一种基于同心双锥面镜的暗场共焦亚表面检测装置和方法,点光源发出的光经过中空反射镜、准直镜、凸锥面镜、凹锥面镜生成环形光,环形光经中空反射镜、分光棱镜和物镜,将环形光汇聚至待测样品,待测样品发出的反射光和散射光经过物镜和分光棱镜,入射至探测互补光阑,反射光被遮挡散射光经过收集透镜和探测针孔,入射至光电探测器,从而完成对亚表面的检测。本发明采用同心双锥面镜生成环形光,光能利用率接近百分之百,提高了成像对比度和信噪比;上下移动的圆柱销可以改变环形光占空比;采用环形光束照明,结合探测互补光阑实现暗场共焦,解决了普通共焦显微技术检测亚表面损伤信噪比低的问题,检测方法适用于亚表面无损检测。

    一种具有防冰和除冰功能的三维立体网状结构石墨烯基材料及其制备方法

    公开(公告)号:CN108314032A

    公开(公告)日:2018-07-24

    申请号:CN201810349692.9

    申请日:2018-04-18

    Abstract: 一种具有防冰和除冰功能的三维立体网状结构石墨烯基材料及其制备方法,涉及一种具有防冰和除冰功能石墨烯基材料及其制备方法。本发明为了解决现有除冰材料除冰速度慢的问题。制备方法:一、制备氧化石墨烯;二、制备氧化石墨烯皮克林乳液;三、对氧化石墨烯皮克林乳液采用聚四氟乙烯滤膜进行抽滤,然后对聚四氟乙烯滤膜进行干燥,干燥后置于碘化氢的饱和蒸汽中进行还原,还原后进行真空干燥。石墨烯基材料石墨烯基材料的密度低,升温快,具有超疏水性能。本发明适用于制备具有防冰和除冰功能的三维立体网状结构石墨烯基材料。

    变焦光镊共聚焦显微成像装置及方法

    公开(公告)号:CN107861230A

    公开(公告)日:2018-03-30

    申请号:CN201711238079.1

    申请日:2017-11-30

    Abstract: 变焦光镊共聚焦显微成像装置及方法,属于光学显微成像与光学操控技术领域。本发明的技术特点是:装置包括:共聚焦照明模块、共聚焦扫描模块、共聚焦探测模块、光镊聚焦模块和光镊轴向调焦模块。本发明在常规光镊显微系统中增加由偏振分光镜、四分之一波片、低孔径物镜、管镜和平面反射镜组成的轴向调焦装置,实现共光路光镊共聚焦显微镜中光镊焦面的轴向移动,从而抓取悬浮样品实现轴向移动,完成共聚焦三维层析扫描成像。该发明具有装调简单,变焦与轴向层析速度快,观测成本低的优点。

    基于共焦显微技术的大口径非球面谐衍射样品测量装置与方法

    公开(公告)号:CN105823433A

    公开(公告)日:2016-08-03

    申请号:CN201610273360.8

    申请日:2016-04-28

    CPC classification number: G01B11/24

    Abstract: 本发明公开了一种基于共焦显微技术的大口径非球面谐衍射样品测量装置与方法,所述装置由共焦显微模块、直线运动平台模块和被测样品构成,所述的共焦显微模块的照明模块按照照明光传播方向依次为:激光器、准直镜、光阑、分光棱镜和物镜;探测模块按照信号光传播方向依次为:物镜、分光棱镜、滤光片、收集透镜、针孔和光电探测器;所述的照明模块、探测模块共用物镜与分光棱镜;所述的直线运动平台模块为气浮直线导轨;所述的被测样品为非球面谐衍射元件的待测样品。本发明首次通过共焦技术进行大口径谐衍射元件轮廓测量,提出了曲面基底台阶高度计算方法,不仅拟合精度高,而且可以进行对宏微结合的复杂面形的测量。

    基于量子点效应的量子随动针孔微结构角谱扫描测量装置

    公开(公告)号:CN103411554B

    公开(公告)日:2015-11-18

    申请号:CN201310354495.3

    申请日:2013-08-15

    Abstract: 基于量子点效应的量子随动针孔微结构角谱扫描测量装置属于超精密三维微细结构表面形貌测量领域,主要涉及一种基于量子点效应的量子随动针孔微结构角谱扫描测量装置;该装置设置有角谱扫描照明光路和量子随动针孔探测光路,并采用量子点物质膜;这种设计,不仅可以避免现有会聚光束照明技术导致的某些区域无法照明或复杂反射的问题,有效解决探测信号强度衰减和背景噪声增强,造成的测量精度降低,甚至无法测量的问题,而且可以实现每个CCD相机像素前均有对应的量子针孔存在,从而使得量子随动针孔与CCD相机像素之间无需进行精密装调,同时避免照明光束与量子光束的光谱重叠,有利于量子光谱信号的检测。

    反斯托克司性质荧光随动针孔微结构角谱扫描测量装置

    公开(公告)号:CN103411938B

    公开(公告)日:2015-07-22

    申请号:CN201310354510.4

    申请日:2013-08-15

    Abstract: 反斯托克司性质荧光随动针孔微结构角谱扫描测量装置属于超精密三维微细结构表面形貌测量领域,主要涉及一种反斯托克司性质荧光随动针孔微结构角谱扫描测量装置;该装置设置有角谱扫描照明光路和荧光随动针孔探测光路,并采用反斯托克司性质荧光物质;这种设计,不仅可以避免现有会聚光束照明技术导致的某些区域无法照明或复杂反射的问题,有效解决探测信号强度衰减和背景噪声增强,造成的测量精度降低,甚至无法测量的问题,而且可以实现每个CCD相机像素前均有对应的荧光针孔存在,从而使得荧光随动针孔与CCD相机像素之间无需进行精密装调,同时可以采用具有一定穿透能力的近红外激光器,并使得CCD相机具有更广泛的选择。

    反斯托克司性质荧光随动针孔微结构角谱扫描测量装置

    公开(公告)号:CN103411938A

    公开(公告)日:2013-11-27

    申请号:CN201310354510.4

    申请日:2013-08-15

    Abstract: 反斯托克司性质荧光随动针孔微结构角谱扫描测量装置属于超精密三维微细结构表面形貌测量领域,主要涉及一种反斯托克司性质荧光随动针孔微结构角谱扫描测量装置;该装置设置有角谱扫描照明光路和荧光随动针孔探测光路,并采用反斯托克司性质荧光物质;这种设计,不仅可以避免现有会聚光束照明技术导致的某些区域无法照明或复杂反射的问题,有效解决探测信号强度衰减和背景噪声增强,造成的测量精度降低,甚至无法测量的问题,而且可以实现每个CCD相机像素前均有对应的荧光针孔存在,从而使得荧光随动针孔与CCD相机像素之间无需进行精密装调,同时可以采用具有一定穿透能力的近红外激光器,并使得CCD相机具有更广泛的选择。

    基于空间载波的干涉共焦测量装置与方法

    公开(公告)号:CN101520306B

    公开(公告)日:2011-01-26

    申请号:CN200910071664.6

    申请日:2009-03-30

    Abstract: 基于空间载波的干涉共焦测量装置与方法属于表面形貌测量技术领域;该装置包括:激光器、准直聚焦物镜、针孔、准直扩束物镜、偏振分光镜、四分之一波片、分光镜、探测聚焦物镜、第二微驱动器、收集物镜;沿激光器主光轴方向的分光镜后面依次配置辅助参考镜和第一微驱动器,主参考镜配置在分光镜与探测聚焦物镜之间,在收集物镜的焦点处,放置CCD相机,主控计算机与CCD相机、第一微驱动器连接;采用二次共焦方法,建立位移相位关系,通过倾斜辅助参考镜,引入载波信号,获得载波干涉图,利用空间载波移相算法求解被测表面相位信息,最后拟合出表面形貌和三维轮廓,适用于微结构三维形貌的动态、快速、高精度测量。

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