公开(公告)号：CN112132903B

公开(公告)日：2025-01-24

申请号：CN202010507001.0

申请日：2020-06-05

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 王绍凯 ,  李昌其 ,  谢香志 ,  杨胜富 ,  谭久彬

IPC: G06T7/80

Abstract: 为了解决现有技术中视觉系统坐标系下无法直接检测到多轴运动系统的各运动轴坐标系下的原点位置时，无法精确求解视觉系统坐标系到多轴运动系统坐标系坐标变换关系的问题，本发明公开了一种视觉系统与多轴运动系统的坐标系标定方法，包括：获取第一坐标，第一坐标为标准球的顶点在所述多轴运动系统坐标系下的坐标；获取第二坐标，第二坐标为所述标准球的顶点在所述视觉系统下的像素坐标系坐标；根据第一坐标和所述第二坐标确定视觉系统坐标系到多轴运动系统坐标系的坐标变换关系。本申请还公开了相应的系统，可精确求解视觉系统坐标系到多轴运动系统坐标系的坐标变换关系。

公开(公告)号：CN113949310B

公开(公告)日：2022-05-13

申请号：CN202111110516.8

申请日：2021-09-22

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 吴剑威 ,  刘江 ,  赵鹏越 ,  王辉 ,  李昌其 ,  王继尧 ,  谭久彬

IPC: H02N15/00

Abstract: 本发明涉及精密机械技术领域，公开了一种磁悬浮驱动式导向机构，包括：两个基座、导轨、第一悬浮装置和第二悬浮装置，两基座相互间隔且平行设置，其中左基座上设有磁力线圈和永磁铁，右基座上设有永磁铁，导轨悬浮架设于两基座上；第一悬浮装置设于所述导轨的左侧，第一悬浮装置的左侧设有第一磁悬浮组件，第一悬浮装置的底部设有第二磁悬浮组件；第二悬浮装置设于导轨的右侧，第二悬浮装置的底部设有第三磁悬浮组件。本发明能够在抵消导轨及其各组件的重力影响的同时有效降低导向机构运动摩擦，并实现导轨的高精度磁力驱动，以解决现有精密运动导向机构中导轨质量过大，运动控制难度高且装配误差较大的问题，进一步提高导向机构的运动精度。

公开(公告)号：CN113917795B

公开(公告)日：2022-04-29

申请号：CN202111110621.1

申请日：2021-09-22

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 吴剑威 ,  赵鹏越 ,  刘江 ,  郑健 ,  王继尧 ,  李昌其 ,  谭久彬

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明涉及半导体加工技术领域，公开了一种微动台气浮支撑装置，包括基座、能够在基座上悬浮的气浮模块、以及位于气浮模块上的连接结构，气浮模块用于支撑连接结构，连接结构用于支撑微动台；气浮模块包括外部框架、调节框架及负压调节板；负压调节框架通过若干个调平螺栓与外部框架相连接；外部框架的外侧设有正压进气孔和负压进气孔，外部框架的下端设有正压排气孔集群；外部框架的中部设有负压腔体，负压腔体的上端设有通槽，负压调节板位于通槽处并与通槽之间密封，负压腔体的边缘还设有与负压排气腔连通的负压排气孔。本发明实施例通过负压调节板的水平姿态改变调整气膜厚度，进而调节气浮模块的水平姿态，提高微动台的水平姿态精度。

公开(公告)号：CN113949310A

公开(公告)日：2022-01-18

申请号：CN202111110516.8

申请日：2021-09-22

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 吴剑威 ,  刘江 ,  赵鹏越 ,  王辉 ,  李昌其 ,  王继尧 ,  谭久彬

IPC: H02N15/00

Abstract: 本发明涉及精密机械技术领域，公开了一种磁悬浮驱动式导向机构，包括：两个基座、导轨、第一悬浮装置和第二悬浮装置，两基座相互间隔且平行设置，其中左基座上设有磁力线圈和永磁铁，右基座上设有永磁铁，导轨悬浮架设于两基座上；第一悬浮装置设于所述导轨的左侧，第一悬浮装置的左侧设有第一磁悬浮组件，第一悬浮装置的底部设有第二磁悬浮组件；第二悬浮装置设于导轨的右侧，第二悬浮装置的底部设有第三磁悬浮组件。本发明能够在抵消导轨及其各组件的重力影响的同时有效降低导向机构运动摩擦，并实现导轨的高精度磁力驱动，以解决现有精密运动导向机构中导轨质量过大，运动控制难度高且装配误差较大的问题，进一步提高导向机构的运动精度。

公开(公告)号：CN113939171A

公开(公告)日：2022-01-14

申请号：CN202111108254.1

申请日：2021-09-22

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 吴剑威 ,  刘海朝 ,  赵鹏越 ,  李昌其 ,  韦威威 ,  王继尧 ,  谭久彬

IPC: H05K9/00 ,  H05K7/20 ,  G03F7/20

Abstract: 本发明涉及半导体加工设备技术领域，公开了一种光刻机电路板水冷屏蔽装置，包括盒体，所述盒体包括相对设置的两块水冷屏蔽板，电路板贴合于所述水冷屏蔽板的内表面，所述水冷屏蔽板内设有冷却水路，且两块所述水冷屏蔽板的所述冷却水路相连通，其中一个所述水冷屏蔽板上设有进水口，另一个所述水冷屏蔽板上设有出水口。本发明通过在盒体的两块水冷屏蔽板上各设置一个电路板，实现了两块电路板的同时冷却，从而减小了冷却装置的体积，提高了光刻机的空间利用率。同时，由于每个水冷屏蔽板的内部均设有冷却水路，既保证了每个电路板的冷却需要，又提高了冷却效率。且电路板设于金属水冷屏蔽板的内表面，可屏蔽电路板受到的电磁干扰信号。

公开(公告)号：CN113917797A

公开(公告)日：2022-01-11

申请号：CN202111110625.X

申请日：2021-09-22

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 赵鹏越 ,  王继尧 ,  吴剑威 ,  刘江 ,  李昌其 ,  王辉 ,  谭久彬

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明涉及光刻机技术领域，公开了一种基于六自由度控制的运动台及其控制方法，运动台包括基座、工作台和控制装置，工作台设置于基座的上方，工作台的下表面设置有多个凹槽，控制装置包括控制模块和安装在基座上的第一电机组、第二电机组、位置检测模块，第一电机组设置在工作台的侧面，用以驱动工作台在X方向、Y方向和Rz方向的运动，第二电机组和位置检测模块分别设置在所述凹槽中，第二电机组抵在工作台的底面，用以驱动工作台在Z方向、Rx方向和Ry方向的运动，位置检测模块检测工作台的实时位置；第一电机组、第二电机组、位置检测模块均与控制模块电连接。本发明可以实现对运动台运动的六自由度控制，从而提高对运动台的控制精度。

公开(公告)号：CN113917796A

公开(公告)日：2022-01-11

申请号：CN202111110623.0

申请日：2021-09-22

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 吴剑威 ,  王继尧 ,  郑健 ,  王辉 ,  李昌其 ,  赵鹏越 ,  谭久彬

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明涉及运动平台技术领域，公开了一种多自由度宏微混合的精密运动台，包括基座、宏动模块、微动模块和微动台；基座包括支承平台，宏动模块包括X向驱动模块、Y向驱动模块和Z向驱动模块；微动模块包括底部框架、上部框架和垂向运动装置，底部框架与Z向驱动模块连接，垂向运动装置连接在底部框架与上部框架之间，垂向运动装置包括微动电机和传动件，传动件与上部框架传动连接；微动台固定布置在上部框架上。宏动模块的Z向驱动模块控制微动台在垂直方向上运动，并对微动台在Z向上进行粗略调节，微动模块的微动电机通过传动件带动微动台在Z向上做精密移动，提高了工件台在Z向上的精密运动控制，满足光刻机在微动台移动中的精度需求。

公开(公告)号：CN113917792A

公开(公告)日：2022-01-11

申请号：CN202111110517.2

申请日：2021-09-22

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 赵鹏越 ,  王继尧 ,  吴剑威 ,  郑健 ,  李昌其 ,  赵博 ,  谭久彬

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明涉及光刻机技术领域，公开了一种工件台移动装置，其包括支撑框架、固定平台、第一固定机构、移动平台、第二固定机构和气浮机构，工作台通过气浮机构实现相对于固定平台或移动平台移动，与支撑面没有接触摩擦，相对于滚轮板簧机构而言消除了摩擦损耗对支撑面平面度的影响，保证了工件台的定位精度，降低了工件台移入移出过程中的控制难度；其次，本工件台移动装置采用了移动平台和固定平台衔接的工件台转移方式，将工件台的悬浮运动行程大大缩短到固定平台支撑面到移动平台支撑面的距离，进一步提高了工件台移入移出的效率，操作较为方便，实现了大质量、大体积工件台的长距离运动，降低了工件台跌落损毁的可能性。

公开(公告)号：CN113867106A

公开(公告)日：2021-12-31

申请号：CN202111110725.2

申请日：2021-09-22

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 吴剑威 ,  李昌其 ,  赵鹏越 ,  刘江 ,  潘健生 ,  赵博 ,  谭久彬

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明涉及振动抑制领域，公开了一种光刻机掩模台隔振装置，该光刻机掩模台隔振装置包括：掩模台基座，投影物镜套筒，以及连接所述掩模台基座及所述投影物镜套筒的连接装置，其中连接装置为柔性支撑的装置，并且竖直放置的铰链摆放成菱形形状。本发明的有益效果为：通过柔性连接装置将掩模台基座与投影物镜套筒之间的连接形式从刚性连接转变为柔性连接，并且连接装置的四个支撑组件呈正方形布置，支撑平稳可靠，同时利用竖直放置的铰链使得连接装置在掩模台水平方向上具有低刚度甚至零刚度的特性，进而在掩模台水平方向上起到隔振效果。

公开(公告)号：CN112132903A

公开(公告)日：2020-12-25

申请号：CN202010507001.0

申请日：2020-06-05

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 王绍凯 ,  李昌其 ,  谢香志 ,  杨胜富 ,  谭久彬

IPC: G06T7/80

Abstract: 为了解决现有技术中视觉系统坐标系下无法直接检测到多轴运动系统的各运动轴坐标系下的原点位置时，无法精确求解视觉系统坐标系到多轴运动系统坐标系坐标变换关系的问题，本发明公开了一种视觉系统与多轴运动系统的坐标系标定方法，包括：获取第一坐标，第一坐标为标准球的顶点在所述多轴运动系统坐标系下的坐标；获取第二坐标，第二坐标为所述标准球的顶点在所述视觉系统下的像素坐标系坐标；根据第一坐标和所述第二坐标确定视觉系统坐标系到多轴运动系统坐标系的坐标变换关系。本申请还公开了相应的系统，可精确求解视觉系统坐标系到多轴运动系统坐标系的坐标变换关系。