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公开(公告)号：CN119461240A
公开(公告)日：2025-02-18
申请号：CN202411626302.X
申请日：2024-11-14
Applicant: 厦门大学
Abstract: 一种运用玻璃回流工艺制备半桥应变片的方法，属于半导体技术领域。应变片包括绝缘层，半导体层和金属焊盘。半导体层包括位于金属焊盘间的第一电阻和第二电阻，绝缘层由玻璃回流工艺来形成；工艺包括：DRIE硅片定义玻璃回流的形状，通过玻璃回流工艺填充硅片被DRIE刻蚀的部分，减薄多余玻璃，形成玻璃的形状；正面键合掺杂后的硅片，通过正面CMP和正面的单面腐蚀及重掺杂自停止腐蚀工艺定义正面半导体层的厚度，将正面薄半导体层通过DRIE刻蚀成应变片结构，通过背面CMP和单面腐蚀工艺去除多余硅，通过单面腐蚀完后留下背面的玻璃控制应变片厚度，提高应变片流片成品率。成本较低，能保证耐高击穿电压，保证应变片厚度均匀性。
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公开(公告)号：CN118603367A
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202410655659.4
申请日：2024-05-24
Applicant: 厦门大学
IPC: G01L1/10
Abstract: 一种基于折叠梁结构的硅基谐振式压力传感器，涉及一种压力传感器。提供一种利于释放热膨胀的折叠式的谐振梁结构，该传感器采用静电激励压阻检测，包括压力膜层、感压层、谐振结构层及基座层，其中感压层与谐振器层采用硅材料制作，基座层由BF33硼硅玻璃制作；感压层由主要用于承受载荷压力，当承受载荷压力时，压力膜片产生变形，从而带动压力膜片上的硅岛产生位移，硅岛通过硅硅键合连接的硅岛盖板将横向位移传递至谐振器层，使谐振层上的谐振梁产生轴向内应力，谐振主梁的刚度发生改变，进而使谐振器谐振频率发生变化从而对压力进行表征，基座层作为封装层，用于形成高真空密封空腔。减少热膨胀带来的应力集中，保证传感器良好温度特性。
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公开(公告)号：CN115628820A
公开(公告)日：2023-01-20
申请号：CN202211114787.5
申请日：2022-09-14
Applicant: 厦门大学
IPC: G01K7/02
Abstract: 本发明涉及一种聚合物前驱体陶瓷薄膜热电偶及其制作方法，热电偶包括A电极和B电极，制作在电绝缘涂层上，然后用焊点连接引线，以输出电信，制作方法为：将聚硅氮烷溶液和氧化铟锡(锡含量10％质量分数)纳米粉末按一定比例混合制备A电极，将聚硅氮烷溶液和氧化铟锡(锡含量5％质量分数)纳米粉末按一定比例混合制备B电极，经过丝网印刷后，在电绝缘涂层得到薄膜A电极线条、B电极线条，并固化后置于管式炉中，以1℃/min的升温速率升温至450℃，保温1小时；再以2.5℃/min的升温速率升温至1000℃，保温1小时；最后以2.5℃/min的降温速率降温至室温，最后，用焊点将铂丝连接到两电极上，以输出电信号。
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公开(公告)号：CN112138731B
公开(公告)日：2022-05-03
申请号：CN202010966487.4
申请日：2019-04-09
Applicant: 厦门大学
IPC: B01L3/00
Abstract: 本发明涉及微纳3D打印以及微流控器件技术领域。本发明提出一种微流控器件的制造方法：在下基底层上通过打印的方式形成具有微流道基本单元和/或微阀基本单元的功能区，最后键合上基底层；其中，功能区的形成具体是：通过打印的方式沉积纳米纤维膜基层，而后通过打印的方式将疏水材料按照设定的图案转移至纳米纤维膜基层并固化，以形成纳米纤维膜功能层，按照此过程构建至少一层纳米纤维膜功能层。同时，本发明还提出一种根据上述制造方法所制造的微流控器件。以及本发明还提出一种微流控器件的制造装置，包括：高压直流电源、注射泵系统、喷头模块、收集板、位移执行组件和控制系统。本发明能够大幅的节约微流控器的制造成本。
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公开(公告)号：CN110673240B
公开(公告)日：2021-01-01
申请号：CN201911090081.8
申请日：2019-11-08
Applicant: 厦门大学
IPC: G02B3/14
Abstract: 一种带有S型流道的电流体驱动可变焦液体透镜，涉及微光学。设有成像腔室、驱动腔室、驱动腔盖板、透镜上下盖板、侧盖板、弹性薄膜、电流体、E形电极；成像腔室内填充绝缘透明液体，透镜上盖板固接成像腔室上表面，透明下盖板紧固于成像腔室下表面；上盖板弹性薄膜贴合并紧固于透镜上盖板的圆孔处；驱动腔室内设有两个E形电极构成的“S”型流道，电流体填充于“S”型流道内，驱动腔盖板设于两个E形电极上表面，驱动腔盖板上表面固接上置磁铁，驱动腔室下表面固接下置磁铁，驱动腔室一侧设方形凹槽，侧盖板中心与方形凹槽配合固接，侧盖板弹性薄膜贴合固接于侧盖板通孔处；驱动腔室与成像腔室间通过内部流道连接。结构简单、操作方便。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109094750B
公开(公告)日：2020-03-31
申请号：CN201810833904.0
申请日：2018-07-26
Applicant: 厦门大学
IPC: B63B39/06
Abstract: 一种用于船舶减横摇的摇摆伸缩臂减摇装置，涉及游艇的减摇技术。设有底座、轴承组、伸缩臂、螺旋桨自旋传动链、伸缩臂摇摆传动链、轴承、电机支座和底座螺栓孔；所述底座与轴承组、电机支座和轴承相固接，底座上设有与船体甲板相固定的底座螺栓孔；所述螺旋桨自旋传动链设有自旋电机、电机锥齿轮、螺旋桨和伸缩臂锥齿轮，电机锥齿轮固定在自旋电机上，螺旋桨和伸缩臂锥齿轮固定在伸缩臂上，自旋电机与伸缩臂垂直设置；所述伸缩臂摇摆传动链设有外壳直齿轮、转体外壳、电机直齿轮和摇摆电机，外壳直齿轮与转体外壳固接，电机直齿轮与摇摆电机固接，所述自旋电机固定在转体外壳内。
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公开(公告)号：CN110673240A
公开(公告)日：2020-01-10
申请号：CN201911090081.8
申请日：2019-11-08
Applicant: 厦门大学
IPC: G02B3/14
Abstract: 一种带有S型流道的电流体驱动可变焦液体透镜，涉及微光学。设有成像腔室、驱动腔室、驱动腔盖板、透镜上下盖板、侧盖板、弹性薄膜、电流体、E形电极；成像腔室内填充绝缘透明液体，透镜上盖板固接成像腔室上表面，透明下盖板紧固于成像腔室下表面；上盖板弹性薄膜贴合并紧固于透镜上盖板的圆孔处；驱动腔室内设有两个E形电极构成的“S”型流道，电流体填充于“S”型流道内，驱动腔盖板设于两个E形电极上表面，驱动腔盖板上表面固接上置磁铁，驱动腔室下表面固接下置磁铁，驱动腔室一侧设方形凹槽，侧盖板中心与方形凹槽配合固接，侧盖板弹性薄膜贴合固接于侧盖板通孔处；驱动腔室与成像腔室间通过内部流道连接。结构简单、操作方便。
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公开(公告)号：CN107167070A
公开(公告)日：2017-09-15
申请号：CN201710492101.9
申请日：2017-06-26
Applicant: 厦门大学
IPC: G01B7/16
CPC classification number: G01B7/16
Abstract: 一种电阻应变传感器及其制造方法，涉及电阻应变传感器。石墨烯基电阻应变传感器设有下基底层、聚合物薄膜、激光器、石墨烯基应变栅、金属连接组件与引出线；下基底层为待测试工件，位于下基底层的上表面为喷涂的聚合物薄膜；石墨烯基应变栅通过激光在聚合物薄膜上照射诱导形成的图案化结构，激光器实现照射区域薄膜石墨烯化；金属连接组件与引出线位于石墨烯基应变栅两端。制造方法为：将聚合物薄膜通过喷涂的方式沉积在下基底层上等方法，石墨烯基应变栅是利用激光在聚合物薄膜上以高频脉冲能量破坏聚合物薄膜的分子链，将含氧、氢等元素的官能团气化挥发，在分子链上留下C‑C、C＝C等官能团，完成诱导薄膜石墨烯化。
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公开(公告)号：CN106637436A
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201611058683.1
申请日：2016-11-25
Applicant: 厦门大学
IPC: D01D5/00
CPC classification number: D01D5/0061 , D01D5/0069
Abstract: 一种流体直写装置。设有喷头、喷头夹具、滑台、导管、旋转针芯、钻夹头、绝缘连接杆、伺服电机、固定板、直流电源、收集装置、对中块、毛细圆管；毛细圆管嵌入喷头的微孔中，在喷头的内腔加入纺丝液；对中块和喷头配合后嵌入导管，导管由喷头夹具固定，喷头夹具固定于滑台上，用于微调针尖伸出距离；滑台固定于固定板上；旋转针芯穿过毛细圆管并用钻夹头夹紧，钻夹头通过绝缘连接杆与伺服电机联接，伺服电机固定在固定板上；收集装置置于喷头下方，收集装置与地线连接；伺服电机带动旋转针芯转动，使溶液汇流于针尖上并在直流电源产生的电场力作用下产生射流，经溶剂挥发和固化沉积在收集装置上。实现流体连续、定量和快速响应，直写更精确稳定。
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公开(公告)号：CN106441261A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201610916234.X
申请日：2016-10-21
Applicant: 厦门大学
IPC: G01C19/5656 , G01C19/5663
CPC classification number: G01C19/5656 , G01C19/5663
Abstract: 一种微机械陀螺仪，涉及陀螺仪。设有中间层、上层盖、封装盖帽层，在中间层上设有驱动电极、驱动耦合环形结构、转向杠杆、驱动导向谐振器、敏感质量块、驱动检测电极、检测导向谐振器、检测耦合环形结构、检测电极和锚点结构；驱动电极置于结构的正中央，驱动耦合环形结构置于驱动电极的外侧，驱动耦合环形结构外侧放置四个中心对称的转向杠杆，转向杠杆与敏感质量块相邻一侧的驱动导向谐振器连接，敏感质量块位于驱动耦合环形结构的上、下、左、右；敏感质量块内外两侧各放置以自身对称检测导向谐振器；检测导向谐振器外侧设置检测耦合环形结构，检测耦合环形结构外侧设置中心对称的检测电极；上层盖上设有支撑结构、导电材料、检测电极。
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