基于Mxene-AlInGaN异质结的自驱动紫外光探测器及其制备方法

    公开(公告)号:CN115692538A

    公开(公告)日:2023-02-03

    申请号:CN202211400883.6

    申请日:2022-11-09

    Applicant: 南京大学

    Inventor: 刘斌 丁宇 庄喆

    Abstract: 本发明公开了一种基于Mxene‑铝铟镓氮异质结的自驱动紫外光探测器及其制备方法,其衬底材料为蓝宝石基片上外延生长的AlInGaN半导体,探测器表面分别为金属电极、Mxene薄层和测试电极,其中Mxene与AlInGaN构成异质结。Mxene和AlInGaN的功函数差使得异质结界面处产生肖特基势垒,可在零偏压下分离光生电子/空穴对,输出光电流,即探测器具备自驱动功能。Mxene薄层具有良好的紫外透光性,能够扩大器件的感光面积,同时探测器的负极退火后与AlInGaN形成欧姆接触,可快速收集电子,提高探测器的工作效率。本发明还提供了Mxene‑AlInGaN异质结的激光剥离转移方法,可进一步制得柔性自驱动紫外光探测器。

    一种利用紫外软压印制备有序氮化镓纳米柱阵列的方法

    公开(公告)号:CN103383980B

    公开(公告)日:2016-01-13

    申请号:CN201310256681.3

    申请日:2013-06-25

    Applicant: 南京大学

    Abstract: 利用紫外软压印制备有序氮化镓纳米柱阵列的方法,在氮化镓衬底上生长介质薄膜,利用紫外软压印双层胶剥离技术得到金属有序纳米柱(孔)结构,通过反应离子刻蚀方法得到直径变化可调的介质纳米柱(孔)结构,并利用感应耦合等离子体(ICP)刻蚀得到直径不同的氮化镓有序纳米柱(孔)阵列。在氮化镓衬底上生长包括SiO2、SiNx的一层介质薄膜,将PMMA和紫外固化胶依次旋涂在衬底样品表面;利用紫外软压印技术在紫外固化胶上形成大面积、低缺陷的有序纳米孔(柱)阵列结构,接着利用反应离子刻蚀技术刻蚀残余胶和PMMA,随后蒸镀金属薄膜剥离得到金属纳米柱(孔)阵列结构。反应离子刻蚀方法刻蚀介质薄膜层结构,得到直径变化可调的介质纳米柱(孔)结构。

    一种利用紫外软压印制备有序氮化镓纳米柱阵列的方法

    公开(公告)号:CN103383980A

    公开(公告)日:2013-11-06

    申请号:CN201310256681.3

    申请日:2013-06-25

    Applicant: 南京大学

    Abstract: 利用紫外软压印制备有序氮化镓纳米柱阵列的方法,在氮化镓衬底上生长介质薄膜,利用紫外软压印双层胶剥离技术得到金属有序纳米柱(孔)结构,通过反应离子刻蚀方法得到直径变化可调的介质纳米柱(孔)结构,并利用感应耦合等离子体(ICP)刻蚀得到直径不同的氮化镓有序纳米柱(孔)阵列。在氮化镓衬底上生长包括SiO2、SiNx的一层介质薄膜,将PMMA和紫外固化胶依次旋涂在衬底样品表面;利用紫外软压印技术在紫外固化胶上形成大面积、低缺陷的有序纳米孔(柱)阵列结构,接着利用反应离子刻蚀技术刻蚀残余胶和PMMA,随后蒸镀金属薄膜剥离得到金属纳米柱(孔)阵列结构。反应离子刻蚀方法刻蚀介质薄膜层结构,得到直径变化可调的介质纳米柱(孔)结构。

    一种制备高密度氮化镓量子点有源层结构的方法

    公开(公告)号:CN102420277A

    公开(公告)日:2012-04-18

    申请号:CN201110360361.3

    申请日:2011-11-15

    Applicant: 南京大学

    Abstract: 一种制备高密度氮化镓量子点有源层结构的方法,步骤如下:1)在GaN模板或其它半导体薄膜表面沉积一层SiO2或SiNx介质薄膜材料,厚度为10~50nm,将PS和PMMA混合共聚物涂刷至介质薄膜表面,清洗PMMA后获得PS纳米柱图形,采用等离子体刻蚀将PS纳米柱图形转移至介质薄膜层上;将纳米柱图形制备如下参数:面密度达到0.8~1.0×1011cm-2;2)采用反应离子刻蚀将纳米柱点阵图形转移至SiNx或SiO2介质薄膜层,去掉聚苯乙烯获得可供MOCVD二次生长GaN纳米点结构的模板;3)GaN基量子点结构生长,GaN量子点结构发射强烈的蓝紫光,用于制作高效率发光二极管(LED)和激光器(LD)光电子器件中有源层结构。

    基于Micro-LED的高保密性密钥系统和高保密性密钥生成检测方法

    公开(公告)号:CN119788270A

    公开(公告)日:2025-04-08

    申请号:CN202411962955.5

    申请日:2024-12-30

    Applicant: 南京大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于Micro‑LED的高保密性密钥系统,包括:密钥生成系统;Micro‑LED显示阵列;环境检测模块;微小图形检测模块;其中密钥生成系统对数据进行加密计算后,输出控制Micro‑LED显示阵列发光的密钥图形数据;微小图形检测模块采用光电探测器检测Micro‑LED显示阵列的发光信号,并对密钥图案进行解码处理并验证;环境检测模块用于检测Micro‑LED显示阵列与微小图形检测模块的对准情况和距离,并决定是否启动微小图形检测模块。本发明的基于Micro‑LED的高保密性密钥系统,利用Micro‑LED技术的优势,确保生成的密钥在任何情况下都能保持高度保密性。通过将密钥转化为高分辨率的图案,并在Micro‑LED屏幕上显示,只有在非常近距离下才能辨认图案,从而保护了密钥的安全性。

    非直流驱动的LED外延片结构
    28.
    发明公开

    公开(公告)号:CN119277863A

    公开(公告)日:2025-01-07

    申请号:CN202411354665.2

    申请日:2024-09-27

    Applicant: 南京大学

    Abstract: 本发明公开了一种非直流驱动的LED外延片结构,包括由多个PN结单元堆叠的周期性结构,每一个PN结单元包括P型GaN层、多量子阱层、N型GaN层,两个相邻的PN结单元之间还设有一多量子阱层。本发明的LED外延片采用了多重串联的结构方式,包括多个多重串联的PN结,构成多个发光区域。在交流电驱动的条件下,每一个PN结交替正向导通发光和反向击穿,从而在施加正向电压和反向电压时均可以导通,提高发光效率,延长LED的使用寿命。本发明用于解决现有技术中采用交流驱动时发光效率过低,在反向击穿过程中不发光使得功率损耗较大的问题,同时设置了多个量子阱的发光区域,可以设置不同的发光波长,使得LED的发光波长具有更多选择。

    一种制备高密度氮化镓量子点有源层结构的方法

    公开(公告)号:CN102420277B

    公开(公告)日:2013-06-05

    申请号:CN201110360361.3

    申请日:2011-11-15

    Applicant: 南京大学

    Abstract: 一种制备高密度氮化镓量子点有源层结构的方法,步骤如下:1)在GaN模板或其它半导体薄膜表面沉积一层SiO2或SiNx介质薄膜材料,厚度为10~50nm,将PS和PMMA混合共聚物涂刷至介质薄膜表面,清洗PMMA后获得PS纳米柱图形,采用等离子体刻蚀将PS纳米柱图形转移至介质薄膜层上;将纳米柱图形制备如下参数:面密度达到0.8~1.0×1011cm-2;2)采用反应离子刻蚀将纳米柱点阵图形转移至SiNx或SiO2介质薄膜层,去掉聚苯乙烯获得可供MOCVD二次生长GaN纳米点结构的模板;3)GaN基量子点结构生长,GaN量子点结构发射强烈的蓝紫光,用于制作高效率发光二极管(LED)和激光器(LD)光电子器件中有源层结构。

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