一种声表面波光干涉扫描探测系统

    公开(公告)号:CN105928606A

    公开(公告)日:2016-09-07

    申请号:CN201610548397.7

    申请日:2016-07-12

    Applicant: 南京大学

    CPC classification number: G01H9/002

    Abstract: 本发明提供了一种声表面波光干涉扫描探测系统,包括信号发生器、功率放大器、位移平台、外差探测激光干涉仪、低噪声放大器、示波器和计算机。其中信号发生器产生的激励信号经功率放大器放大后,作用在样品上产生声表面波;外差探测激光干涉仪发出的测量臂激光照射在样品表面返回与参考臂激光相干叠加产生干涉信号,探测到的干涉信号经低噪声放大器放大后在示波器上实时显示出相应的波形;示波器和位移平台与计算机联机,计算机控制扫描路径和提取干涉信号波形的振幅和相位信息。本发明结合了外差激光探测和二维平面扫描,可以实现对微型声表面波器件表面的微小区域进行精确扫描,其分辨精度达到1微米,实现扫描的总区域可达10毫米*10毫米。

    固体声拓扑锥形连接器及波整形器

    公开(公告)号:CN119964541A

    公开(公告)日:2025-05-09

    申请号:CN202510067532.5

    申请日:2025-01-16

    Applicant: 南京大学

    Abstract: 本发明公开了一种固体声拓扑锥形连接器,包括固体声拓扑绝缘体,所述固体声拓扑绝缘体形成至少两种不同趋肤深度的拓扑边界态,所述固体声拓扑绝缘体的带隙宽度沿信号传输方向渐变。本发明的固体声拓扑锥形连接器以板波声子晶体为构建单元,通过设计并精巧装配具有不同模式体积的拓扑边界,使得固体声波在其中的传输孔径可近乎无损耗地按需切换,为不同尺寸声学元件的串/并联提供了完美解决方案,与此同时,该固体声拓扑锥形连接器可以应用于波束整形,可将任意无规则甚至残缺的入射转换为期望的、有规则且丰富的平面波输出。

    一种基于声子晶体的全方向、大带宽的地震防护装置

    公开(公告)号:CN115928900B

    公开(公告)日:2024-10-15

    申请号:CN202211275782.0

    申请日:2022-10-18

    Applicant: 南京大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于声子晶体的全方向、大带宽的地震防护装置,包括基底以及嵌入基底的多个嵌入结构;多个嵌入结构分布在被防护的建筑物周侧,以改变地震波在地震防护装置中不同位置处的等效折射率,形成从外层至内层折射率逐渐变小的结构趋势。该地震防护装置通过在建筑物周围的基底中嵌入金属或混凝土等高强度材料制成的特殊结构,改变地震波在建筑周围土中不同位置处的等效折射率,使距离建筑物较近区域折射率低,较远区域折射率高,由折射定律:n1·sinθ1=n2·sinθ2可知,波会从折射率低的位置向折射率高的位置偏转,故地震波会在折射率梯度作用下向建筑物外侧偏转,达到保护建筑物的目的,此外,该地震防护装置可防护地震波频率带宽大,且可实现全方向防护。

    一种基于声子晶体连续域中束缚态的窄带带阻滤波器

    公开(公告)号:CN117978122B

    公开(公告)日:2024-08-23

    申请号:CN202211305594.8

    申请日:2022-10-24

    Applicant: 南京大学

    Abstract: 本发明涉及了滤波器领域,尤其涉及一种基于声子晶体连续域中束缚态的窄带带阻滤波器。该滤波器包括基底,基底上设置有压电薄膜,压电薄膜上设置有输入叉指电极、声子晶体微腔结构和输出叉指电极,声子晶体微腔结构包括第一Type II声子晶体、Type I声子晶体、第二Type II声子晶体,第一Type II声子晶体、第二Type II声子晶体对称设置在Type I声子晶体的两侧,第一Type II声子晶体、第二Type II声子晶体具有相同的晶格常数,且与Type I声子晶体的晶格常数不相同,第一Type II声子晶体、第二Type II声子晶体形成对称性A0模式,在微腔结构中产生S0模式的束缚态。本发明具有带阻特性的同时,还可以在连续域实现,且具有窄带、模式体积小、高Q值等显著优势。

    一种基于声子晶体连续域中束缚态的窄带带阻滤波器

    公开(公告)号:CN117978122A

    公开(公告)日:2024-05-03

    申请号:CN202211305594.8

    申请日:2022-10-24

    Applicant: 南京大学

    Abstract: 本发明涉及了滤波器领域,尤其涉及一种基于声子晶体连续域中束缚态的窄带带阻滤波器。该滤波器包括基底,基底上设置有压电薄膜,压电薄膜上设置有输入叉指电极、声子晶体微腔结构和输出叉指电极,声子晶体微腔结构包括第一Type II声子晶体、Type I声子晶体、第二Type II声子晶体,第一Type II声子晶体、第二Type II声子晶体对称设置在Type I声子晶体的两侧,第一Type II声子晶体、第二Type II声子晶体具有相同的晶格常数,且与Type I声子晶体的晶格常数不相同,第一Type II声子晶体、第二Type II声子晶体形成对称性A0模式,在微腔结构中产生S0模式的束缚态。本发明具有带阻特性的同时,还可以在连续域实现,且具有窄带、模式体积小、高Q值等显著优势。

    测量三维振动与声场旋转特性的涡旋光干涉装置及方法

    公开(公告)号:CN117553900A

    公开(公告)日:2024-02-13

    申请号:CN202311758644.2

    申请日:2023-12-20

    Applicant: 南京大学

    Abstract: 本发明公开了一种测量三维振动与声场旋转特性的涡旋光干涉装置及方法,所述装置氦氖激光器发出激光,激光通过二分之一波片和第一偏振分光棱镜,分为物光和参考光;物光通过第一螺旋相位片变为涡旋物光,涡旋物光通过第二偏振分光棱镜、四分之一波片、扩束透镜后照射在测试样品表面,样品表面反射光通过扩束透镜,四分之一波片、第二偏振分光棱镜、分光棱镜和聚焦透镜后照射在光电探测器上;所述参考光通过声光调制器发生调频,通过反射镜和第二螺旋相位片后变为调频的涡旋光,该涡旋光通过分光棱镜和聚焦透镜后照射在光电探测器上;计算机对光电探测器的调频信号和声光调制器的调制信号进行计算解调,最终获得样品的三维振动信息与声场旋转特性。

    一种微区电镀装置及其在制备声表面波声子晶体中的应用

    公开(公告)号:CN114703536B

    公开(公告)日:2023-12-05

    申请号:CN202111126039.4

    申请日:2021-09-24

    Applicant: 南京大学

    Abstract: 本发明提供了一种微区电镀装置及其在制备声表面波声子晶体中的应用。该装置包括直流恒流源、电镀槽、阳极板、电镀液、温控系统、搅拌系统、夹具及电镀片。电镀片上包括一个声表面波声子晶体区域及至少两个陪镀区域;陪镀区域对称分布在声表面波声子晶体区域的两侧。本发明采用电化学沉积(电镀)法,可以精确制备基于多类单晶、多晶及非晶基底(如铌酸锂、钽酸锂、硅、二氧化硅、氮化铝、氮化镓、玻璃等)的金属材料(如镍、铜、金等)基的声表面波声子晶体。(56)对比文件Oudich, M 等.Photonic analog ofbilayer graphene《.PHYSICAL REVIEW B》.2021,第103卷(第21期),摘要.Aurélie Lecestre 等.Electroplated Nimask for plasma etching of submicron-sized features in LiNbO3《.MicroelectronicEngineering》.2013,第105卷95-98.Erik Brachmann 等.Pt-wire bondingoptimization for electroplated Pt filmson γ-Al2O3 for high temperature andharsh environment applications《.Sensors &Actuators: A. Physical》.2018,第284卷129-134.

    基于氮化铝薄膜的声表面波脊状波导及集成器件

    公开(公告)号:CN115913161A

    公开(公告)日:2023-04-04

    申请号:CN202210893803.9

    申请日:2022-07-27

    Applicant: 南京大学

    Abstract: 本发明提供基于氮化铝薄膜的声表面波脊状波导及集成器件。本发明的声表面波波导至少包括基底和压电薄膜,所述压电薄膜设置在所述基底上,所述压电薄膜的宽度不小于所述压电薄膜的厚度;所述压电薄膜包括压电材料;所述压电薄膜还包括脊状结构。本发明的声表面波波导在面内呈现近似的各向同性,当压电薄膜的延伸方向发生弯曲转角后,可以保证声表面波的传导模式基本不发生改变,从而减小声表面波的传导损耗。本发明的声表面波波导更利于得到高性能的集成声路,优选用于制备SAW分束器、环形谐振腔等集成声路的基本元件。

    基于铌酸锂单晶薄膜的勒夫波声子晶体谐振器

    公开(公告)号:CN119448973A

    公开(公告)日:2025-02-14

    申请号:CN202411508522.2

    申请日:2024-10-25

    Applicant: 南京大学

    Abstract: 本发明涉及声表面波器件技术领域,公开了基于铌酸锂单晶薄膜的勒夫波声子晶体谐振器,包括:功能基底以及位于功能基底上表面的压电薄膜层,所述压电薄膜层上表面中间区域设置叉指换能器,所述叉指换能器的两侧设置声子晶体;所述压电薄膜层为铌酸锂单晶薄膜,所述铌酸锂单晶薄膜的切向为X切中的任意一种,包括X切,‑15°~15°Y方向。本发明利用声子晶体替代传统声表面波谐振器中的反射栅,通过结合功能基底与铌酸锂单晶薄膜构建的材料体系实现更高的声速和更低的纵向损耗,具有结构简单、体积较小、易于制备与集成的特点,相较于同尺寸的布拉格反射栅谐振器具有更高的Q值。

    基于双层铌酸锂单晶薄膜的体声波谐振器

    公开(公告)号:CN116073789B

    公开(公告)日:2024-08-23

    申请号:CN202111284913.7

    申请日:2021-11-01

    Applicant: 南京大学

    Abstract: 本发明公了一种基于双层铌酸锂单晶薄膜的体声波谐振器,所述谐振器从上至下依次包括顶电极、第一层压电薄膜、第二层压电薄膜、底电极、基底;所述底电极和基底之间为悬空结构或者为布拉格反射栅层。本发明的谐振器采用了+X切向(第一层)以及‑X切向(第二层)或‑X切向(第一层)以及+X切向(第二层)的双层铌酸锂单晶薄膜,既保留了X切铌酸锂所具有的大压电系数的优势,同时又可以抑制寄生模式,使得谐振器具有极佳的导纳频谱,具有较大的应用价值。

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