公开(公告)号：CN105067634A

公开(公告)日：2015-11-18

申请号：CN201510500219.2

申请日：2015-08-14

Applicant: 华侨大学

Inventor： 余卿 ,  崔长彩 ,  易定容 ,  章明 ,  孔令华 ,  叶瑞芳 ,  范伟 ,  王寅 ,  李煌 ,  张勇贞

IPC: G01N21/88 ,  G01B11/30

Abstract: 本发明公开了一种用于平板表面质量的检测系统，其系统包括沿光源发出光束的光路上依次设置准直透镜、数字微镜器件、分光镜和色散透镜；待测平板对应于色散透镜的出射侧设置，且待测平板在垂直于光轴的方向上做横向往复移动。本发明将数字微镜器件作为线型光源，结合色散透镜产生线型色散光，可对平板表面进行横向线扫描，在无需沿光轴方向做纵向扫描的前提下利用垂直于光轴方向上的一维运动获取被测平板表面的三维信息，以及其表面的瑕疵、划痕等质量信息，极大地提高了针对平板表面质量问题的检测效率。

公开(公告)号：CN104267649A

公开(公告)日：2015-01-07

申请号：CN201410545448.1

申请日：2014-10-15

Applicant: 华侨大学

Inventor： 崔长彩 ,  余卿 ,  马桂旭 ,  康伟 ,  李兵 ,  叶瑞芳 ,  李振宇

IPC: G05B19/042

CPC classification number: G05B19/0428 ,  G01B11/303 ,  G05B2219/2612

Abstract: 本发明公开了一种基于ARM的砂轮表面形貌实时处理系统，包括显微镜和处于显微镜上方的图像采集单元，还包括有ARM主控处理模块、液晶显示模块和电源模块，ARM主控处理模块包括其操作系统是Linux操作系统的ARM核心板和处于ARM核心板下方，并与ARM核心板卡接配合的底板，底板上具有显示屏接口、USB数据接口、RS232通信串口、功能按键和复位按键，功能按键、复位按键、USB数据接口和电源模块分别与ARM核心板的输入端电连接，显示屏接口与ARM核心板的输出端电连接，液晶显示模块与显示屏接口电连接，图像采集单元与USB数据接口电连接，RS232通信串口与ARM核心板双向控制连接。本发明的有益效果是：实现了微小化结构设计，安装携带较为方便，造价成本较低，并无噪音，且工作稳定性强，适宜长时间工作。

公开(公告)号：CN103506855A

公开(公告)日：2014-01-15

申请号：CN201310300432.X

申请日：2013-07-17

Applicant: 华侨大学

Inventor： 范伟 ,  金花雪 ,  余卿 ,  叶瑞芳

IPC: B23Q1/46 ,  B23Q11/00 ,  B23Q17/00

CPC classification number: F16M11/28 ,  F16F15/28

Abstract: 本发明公开一种结构新颖的大行程高精度Z轴工作台，包括有底座、第一支架、第二支架、活动支撑杆、工作台以及精密活动定位台；该第一支架和第二支架均设置于底座上；该活动支撑杆可上下活动地设于第一支架上，该活动支撑杆上固设有竖向延伸的光栅尺，该第一支架上设有光栅读数头；该精密活动定位台可上下活动地设置于第二支架上，该活动支撑杆的下端与精密活动定位台固定连接，针对该精密活动定位台设有驱动装置。藉此，通过将工作台的中心、光栅尺的中心、光栅读数头的中心以及精密活动定位台的中心设置在位于同一直线上，理论上可实现系统的零阿贝误差，以最大程度地减少了系统的阿贝误差，满足微纳米测量和微纳米加工要求。

公开(公告)号：CN109883362B

公开(公告)日：2024-02-02

申请号：CN201910180509.1

申请日：2019-03-11

Applicant: 华侨大学

Inventor： 叶瑞芳 ,  程方 ,  苏杭 ,  崔长彩 ,  余卿 ,  王寅

IPC: G01B11/27

Abstract: 一种基于光栅干涉原理的直线度测量系统，包括半导体激光器、第一偏振分光棱镜、激光多普勒干涉单元和激光迈克尔逊干涉单元；该第一偏振分光棱镜位于半导体激光器的发射端以将光束分成S偏振分量和P偏振分量；该激光多普勒干涉单元接收P偏振分量，用于采集四路相位差为90°的干涉信号以供测量线性直线度误差；该激光迈克尔逊干涉单元接收S偏振分量，用于采集四路相位差为90°的干涉信号以供测量角度直线度误差。本发明系统不仅拥有较高的精度，还简化了系统结构与检测过程，能够提供完备的直线度信息。

公开(公告)号：CN116712872A

公开(公告)日：2023-09-08

申请号：CN202211651112.4

申请日：2022-12-21

Applicant: 华侨大学 ,  厦门纳莱科技有限公司

Inventor： 叶瑞芳 ,  杨晓光 ,  张宏浩 ,  何广奇 ,  郑高峰

IPC: B01D71/38 ,  B01D71/40 ,  B01D69/08 ,  B01D69/12 ,  B01D69/02 ,  B01J20/28 ,  B01J20/26 ,  B01D53/22 ,  B01D46/54 ,  B01D53/04

Abstract: 本发明涉及电纺纤维膜领域，公开了一种复合抗菌高效空气过滤膜及其制备方法和应用，其中制备方法包括如下步骤：(1)配置改性的改性玉米醇溶蛋白、聚乙烯醇溶液、聚乙烯醇缩丁醛酯乙醇溶液和聚乙烯乙酸酯溶液；(2)将改性玉米醇溶蛋白与聚乙烯醇溶液混合溶解得混合溶液A；使用混合溶液A作为电纺溶液进行静电纺丝得到第一层纤维膜；(3)使用聚乙烯醇缩丁醛酯乙醇溶液在第一层纤维膜上进行静电纺丝得到两层纤维膜；(4)将盐酸环丙沙星、聚乙烯醇溶液和聚乙烯乙酸酯溶液混合得到混合溶液C；使用混合溶液C在两层纤维膜上进行静电纺丝得到复合抗菌高效空气过滤膜，本发明的过滤膜具有良好的空气过滤性能和抑菌性能。

公开(公告)号：CN114485476A

公开(公告)日：2022-05-13

申请号：CN202210207622.6

申请日：2022-03-03

Applicant: 华侨大学

Inventor： 叶瑞芳 ,  施哲钰 ,  苏毓杰 ,  崔长彩 ,  程方

IPC: G01B11/24

Abstract: 本发明提供了一种晶圆测量设备、系统及方法，包括：减震平台、配置在减震平台上的二维运动模组、配置在二维运动模组上的晶圆放置台、配置在晶圆放置台上方的滑轨、可移动配置在滑轨上的光路产生系统、以及可移动配置在滑轨上的光路接收系统；晶圆放置台用于放置待测晶圆和基准平晶；二维运动模组用于带动所述晶圆放置台在平行与所述减震平台的平面进行二维平面运动；所述光路产生系统用于产生照射在所述待测晶圆和所述基准平晶上的准直光束；所述光路接收系统用于接收所述准直光束在所述待测晶圆和所述基准平晶反射产生的干涉图像。解决了现有技术中的测量系统无法测量面积较大的晶圆的问题和避免因光路细微的偏离，导致测量的结果存在误差。

公开(公告)号：CN112857253A

公开(公告)日：2021-05-28

申请号：CN202110089853.7

申请日：2021-01-22

Applicant: 华侨大学

Inventor： 叶瑞芳 ,  苏毓杰 ,  程方 ,  崔长彩

IPC: G01B11/24 ,  G01N21/45

Abstract: 本发明提供了一种大尺寸晶圆的表面三维形貌测量装置,包括:基座、配置在所述基座上的运动模组和支架组件、配置在所述运动模组的光学测量模块；其中，所述支架组上配置有平晶以及被测晶圆；其中，所述光学测量模块包括配置在所述运动模组上的支撑板、配置在支撑板上的发光组件、依次配置在所述发光组件的出射光路上的平凸透镜组件和90°离轴抛物面镜组件、用于采集所述发光组件的出射光在所述平晶以及所述被测晶圆上所形成干涉条纹图像的相机组件。解决现有测量系统无法同时兼顾大范围测量和高精度测量的要求。

公开(公告)号：CN109001207B

公开(公告)日：2021-04-13

申请号：CN201810426578.1

申请日：2018-05-07

Applicant: 华侨大学

Inventor： 余卿 ,  崔长彩 ,  李子清 ,  周瑞兰 ,  杨成 ,  张昆 ,  叶瑞芳

IPC: G01N21/88 ,  G01N21/01

Abstract: 本发明公开了一种透明材料表面及内部缺陷的检测方法和检测系统，检测系统包括：光学测量系统、光学分析系统和彩色共焦数据处理程序。光学测量系统用于光的输出并接收被测透明材料表面及内部缺陷的反射光，将其输出到光学分析系统；光学分析系统，用于接收透明材料表面及内部缺陷的反射光；彩色共焦数据处理程序，用于对光学分析系统获取的反射光进行分析以获取反射峰对应的波长值，再对此波长值进行处理以获取被测透明材料的表面及内部缺陷信息。本发明还提供了基于上述检测系统的透明材料表面及内部缺陷的检测方法。本发明的透明材料表面及内部缺陷的检测方法和检测系统，能够快速、无损、准确的对透明材料表面及内部缺陷进行定性定量地测量。

公开(公告)号：CN109373927A

公开(公告)日：2019-02-22

申请号：CN201811141205.6

申请日：2018-09-28

Applicant: 华侨大学

Inventor： 余卿 ,  崔长彩 ,  程方 ,  张昆 ,  张一 ,  周瑞兰 ,  訾梦超 ,  邹景武 ,  叶瑞芳 ,  王寅

IPC: G01B11/24

Abstract: 本发明涉及彩色共焦三维形貌测量方法与系统，采用的是复色光源，通过轴向色散来获得波长颜色和位移的关系，可以避免轴向扫描带来的耗时问题，提高了测量速度；通过小孔滤除非焦平面的杂散信号，获取位于焦平面的锐利信号，具有很高的轴向分辨率；采用彩色相机作为数据接收端，一次拍照即可获取视场内被测物表面全部的高度信息，提高了测量速度，尤其适用于彩色共焦并行扫描系统。本发明的实施，仅需一次成像即可完成对被测物点的高度信息提取，结合二维位移系统提供的二维信息，获取被测物面的三维形貌特征。本发明将为物体表面三维形貌检测提供新的途径。

公开(公告)号：CN108592814A

公开(公告)日：2018-09-28

申请号：CN201810186622.6

申请日：2018-03-07

Applicant: 华侨大学

Inventor： 余卿 ,  崔长彩 ,  章明 ,  叶瑞芳 ,  王寅 ,  周瑞兰 ,  张昆

IPC: G01B11/24

Abstract: 本发明公开的用于彩色共焦测量的颜色标定方法，包括以能够完全反射入射光的物面作为标准反射面，得到彩色共焦测量系统的基本“位移-波长”曲线；以色卡为被测物，得到各波长的“位移-波长”曲线；计算各波长的“位移-波长”曲线相对于基本“位移-波长”曲线的偏移量Δi的大小和方向，将这些偏移量和中心波长制成颜色偏移表；利用光谱仪获取被测物面上各颜色的中心波长信息，从颜色偏移表找到相对应的偏移量Δi；利用已标定的基本“位移-波长”曲线，得到对应被测物面上各颜色的“位移-波长”曲线；根据步骤四得到的“位移-波长”曲线，计算有颜色的被测物面的形貌特征。本发明能够修正因为被测物颜色给彩色共焦测量系统带来的测量误差。