公开(公告)号：CN113564564A

公开(公告)日：2021-10-29

申请号：CN202110753358.1

申请日：2021-07-02

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 陈蓉 ,  邵华晨 ,  刘潇 ,  向俊任 ,  李嘉伟 ,  弋戈

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/458

Abstract: 本发明涉及一种原子层沉积装置，反应室包括反应室主体与腔门，反应室主体的内部形成反应腔体，反应室主体上设有进气口与抽气口，腔门与反应室主体可拆卸连接；安装架与腔门固定连接，腔门与反应室主体连接时，安装架位于反应腔体的内部；第一承载件用于承载块状待包覆物，第一承载件与安装架可拆卸连接；第二承载件用于承载粉状待包覆物，第二承载件与安装架可拆卸连接；第一使用状态下，第一承载件与安装架固定连接；第二使用状态下，第二承载件与安装架连接，且驱动件与第二承载件连接，驱动件用于驱动第二承载件相对于安装架转动。该原子层沉积装置可以对不同类型的待包覆物进行沉积，适用范围更广。

公开(公告)号：CN110931713A

公开(公告)日：2020-03-27

申请号：CN201911292224.3

申请日：2019-12-13

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 陈蓉 ,  向俊任 ,  单斌 ,  刘潇 ,  李嘉伟 ,  张晶

IPC: H01M4/1391 ,  H01M4/04 ,  H01M4/131

Abstract: 本发明属于锂离子电池领域，并具体公开了一种锂离子电池正极及其制备方法，包括如下步骤：S1将待修饰粉体装入反应腔体内，并使反应腔体处于真空状态，然后转动反应腔体并对其进行加热，使待修饰粉体均匀分布在反应腔体内；S2向反应腔体内交替通入前驱体和吹扫气体，前驱体与待修饰粉体反应，使待修饰粉体表面形成一层氧化物薄膜；S3重复S2若干次，使待修饰粉体表面形成若干层氧化物薄膜，完成粉体修饰；S4将修饰后的粉体调配成浆料涂覆在金属片上，并真空干燥，完成锂离子电池正极制备。本发明通过在锂离子电池正极材料粉末表面沉积氧化物膜，提高锂离子电池正极在充电和放电过程中的稳定性，增加锂离子电池的使用寿命。

公开(公告)号：CN109576673A

公开(公告)日：2019-04-05

申请号：CN201811502555.0

申请日：2018-12-10

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 陈蓉 ,  刘潇 ,  单斌 ,  曲锴 ,  李嘉伟 ,  张晶

IPC: C23C16/455 ,  B82Y40/00

Abstract: 本发明属于真空镀膜相关技术领域，并公开了一种用于微纳米颗粒充分分散包覆的超声流化原子层沉积装置，其包括载气及反应前驱体供给组件、反应腔体和超声振动组件，其中载气及反应前驱体供给组件为原子层沉积反应提供全区体反应物、载气和吹扫过程中需要的惰性气体；反应腔体作为原子层沉积反应的发生区域，前驱体进入反应腔体部分在基底表面沉积成膜；超声振动组件用于产生超声振动并传递给反应腔体部分，破解微纳米颗粒之间的软团聚，使颗粒在原子层沉积反应过程中处于分散状态，实现薄膜在单个颗粒表面的生长。通过本发明，能够克服大批量粉体颗粒仅在气流作用下无法完全流化分散的缺点，使纳米颗粒在气流和超声振动作用下获得更充分的分散。

公开(公告)号：CN107502873B

公开(公告)日：2019-02-15

申请号：CN201710945497.8

申请日：2017-09-30

Applicant: 华中科技大学无锡研究院

Inventor： 陈蓉 ,  张晶 ,  王禄荣 ,  曲锴 ,  李嘉伟 ,  段晨龙 ,  竹鹏辉 ,  葛浩然

IPC: C23C16/455

Abstract: 本发明公开了一种粉末包覆原子层沉积装置，其包括粉末容器和反应腔体，反应腔体的一端设置有进源口，进源口中密封设置有用于输入反应气体或载气的进气管，反应腔体的另一端开设有腔门，粉末容器设置于腔门内侧，在动力装置的驱动下可实现旋转，粉末容器上开设有进气孔，进气管通过进气孔进入粉末容器的内腔，反应腔体的内部设置有超声振动杆，粉末容器通过导向装置进入反应腔体后，粉末容器的外侧壁与超声振动杆接触。本发明将旋转方法和超声振动方法相结合，可以利用旋转增大粉末与反应气体的接触概率，也可以利用振动产生的能量解除粉末团聚，使粉末分散，最终在粉末表面包覆均匀致密的薄膜。