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公开(公告)号:CN111304634B
公开(公告)日:2022-05-13
申请号:CN202010231957.2
申请日:2020-03-27
Applicant: 华中科技大学无锡研究院
IPC: C23C16/455 , C23C16/40 , A61K41/00 , A61K9/50 , A61K47/36 , A61K47/02 , B82Y25/00 , B82Y30/00 , B82Y40/00
Abstract: 本发明属于纳米淀粉微球改性技术领域,具体涉及一种利用原子层沉积包覆纳米淀粉微球的方法。本发明通过将纳米淀粉微球置于超声垂直流化原子层沉积设备中,开启超声振动,在适当的反应温度和压力下,选择合适活性与蒸汽压的前驱体交替通入,在纳米淀粉微球表面通过活性官能团的交换形成单层化学吸附并完成自限制化学半反应,生成致密的薄膜,对表面的各个部位进行厚度均匀一致的薄膜包覆。本发明采用原子层沉积技术生成的纳米薄膜包覆均匀性较高,尤其对于颗粒较小的纳米淀粉微球可实现其均匀包覆,形成的纳米薄膜结构致密,具有均匀的厚度、优异的一致性,由于其反应机理的特点,可实现对不同粒径纳米淀粉微球的包覆。
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公开(公告)号:CN114075659A
公开(公告)日:2022-02-22
申请号:CN202111163408.7
申请日:2021-09-30
Applicant: 华中科技大学
IPC: C23C16/442 , C23C16/455 , H01M4/36
Abstract: 本发明提供了一种粉体包覆反应器、超声流化原子层沉积包覆装置及其应用。该粉体包覆反应器包括反应筒和多个传振片;反应筒的两端具有开口,反应筒的侧壁上开设有多个第一通孔;多个传振片依次间隔设置于反应筒内,每个传振片的边缘密封连接于反应筒的内壁,多个传振片将反应筒的内腔分隔为沿一端开口至另一端开口方向上依次分布的多个子腔体,传振片上设置有用于供粉体在该传振片相邻的两个子腔体之间通过的第二通孔。上述粉体包覆反应器能够有效保持纳米颗粒的分散状态,实现大批量粉末的均匀包覆。
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公开(公告)号:CN109881180B
公开(公告)日:2020-07-07
申请号:CN201910095421.X
申请日:2019-01-31
Applicant: 华中科技大学
IPC: C23C16/455 , C23C16/52
Abstract: 本发明属于镀膜设备制造领域,并公开了一种用于微纳米颗粒的快速循环原子层沉积设备,该设备由两个直线运动装置和两个回转运动装置首尾相连,组成一个封闭的椭圆形,其中直线运动装置包括沿竖直方向从下到上依次连接的直线振动电机、第一水冷却板、第一支撑板、第一加热片和料槽,料槽的一端为原子层沉积反应区域,并且该区域上方安装有前驱体喷头;回转运动装置包括沿竖直方向从下到上依次连接的回转振动电机、第二水冷却板、第二支撑板、第二加热片和回转运动料槽。本发明能够实现颗粒以稳定的运动速度在料槽中循环运动,并通过控制微纳米颗粒经过原子层沉积反应区域的次数,实现对微纳米颗粒表面薄膜的厚度的控制。
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公开(公告)号:CN111364023A
公开(公告)日:2020-07-03
申请号:CN202010231952.X
申请日:2020-03-27
Applicant: 华中科技大学无锡研究院
IPC: C23C16/455 , B22F1/02 , C23C16/40
Abstract: 本发明属于原子层沉积技术领域,具体涉及一种基于原子层沉积的光伏正面导电银浆银粉的表面改性方法。本发明通过将银粉置于离心流化微纳米颗粒原子层沉积设备中,在适当的反应温度、压力及转速条件下,通过原子层沉积反应在银粉表面进行厚度均匀一致的纳米级致密氧化物薄膜包覆。本发明利用原子层沉积技术在光伏正面导电银浆银粉表面包覆纳米级厚度可控致密氧化物薄膜,对银粉进行表面改性改善其表面粗糙度,制备表面光滑的球形银粉,提升其在导电银浆中的分散稳定性,从而减少了银粉颗粒表面的孔隙,提升银粉在有机溶剂中的浸润性,进而提升由其制备的导电银浆的印刷性能,获得更高的光电转换效率。
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公开(公告)号:CN111304634A
公开(公告)日:2020-06-19
申请号:CN202010231957.2
申请日:2020-03-27
Applicant: 华中科技大学无锡研究院
IPC: C23C16/455 , C23C16/40 , A61K41/00 , A61K9/50 , A61K47/36 , A61K47/02 , B82Y25/00 , B82Y30/00 , B82Y40/00
Abstract: 本发明属于纳米淀粉微球改性技术领域,具体涉及一种利用原子层沉积包覆纳米淀粉微球的方法。本发明通过将纳米淀粉微球置于超声垂直流化原子层沉积设备中,开启超声振动,在适当的反应温度和压力下,选择合适活性与蒸汽压的前驱体交替通入,在纳米淀粉微球表面通过活性官能团的交换形成单层化学吸附并完成自限制化学半反应,生成致密的薄膜,对表面的各个部位进行厚度均匀一致的薄膜包覆。本发明采用原子层沉积技术生成的纳米薄膜包覆均匀性较高,尤其对于颗粒较小的纳米淀粉微球可实现其均匀包覆,形成的纳米薄膜结构致密,具有均匀的厚度、优异的一致性,由于其反应机理的特点,可实现对不同粒径纳米淀粉微球的包覆。
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公开(公告)号:CN109881180A
公开(公告)日:2019-06-14
申请号:CN201910095421.X
申请日:2019-01-31
Applicant: 华中科技大学
IPC: C23C16/455 , C23C16/52
Abstract: 本发明属于镀膜设备制造领域,并公开了一种用于微纳米颗粒的快速循环原子层沉积设备,该设备由两个直线运动装置和两个回转运动装置首尾相连,组成一个封闭的椭圆形,其中直线运动装置包括沿竖直方向从下到上依次连接的直线振动电机、第一水冷却板、第一支撑板、第一加热片和料槽,料槽的一端为原子层沉积反应区域,并且该区域上方安装有前驱体喷头;回转运动装置包括沿竖直方向从下到上依次连接的回转振动电机、第二水冷却板、第二支撑板、第二加热片和回转运动料槽。本发明能够实现颗粒以稳定的运动速度在料槽中循环运动,并通过控制微纳米颗粒经过原子层沉积反应区域的次数,实现对微纳米颗粒表面薄膜的厚度的控制。
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公开(公告)号:CN109355641A
公开(公告)日:2019-02-19
申请号:CN201811313431.8
申请日:2018-11-06
Applicant: 华中科技大学无锡研究院
IPC: C23C16/455 , C23C16/44
Abstract: 本发明涉及一种无机颜料表面改性的方法,属于工业无机颜料改性技术领域。其通过对无机颜料进行球磨粉碎后将其置于粉末原子层沉积设备中,在适当的反应温度和压力下,选择合适活性与蒸汽压的前驱体交替通入,在无机颜料表面通过活性官能团的交换形成单层化学吸附并完成自限制化学半反应,生成致密的薄膜,对表面的各个部位进行厚度均匀一致的薄膜包覆。本发明采用的原子层沉积生成的纳米薄膜包覆均匀性较高,尤其对于颗粒较小的无机颜料可实现其均匀包覆。本发明通过原子层沉积生成的纳米薄膜结构致密,具有均匀的厚度、优异的一致性,由于其反应机理的特点,可实现对不同粒径的无机颜料的包覆。
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公开(公告)号:CN109183004A
公开(公告)日:2019-01-11
申请号:CN201810727091.7
申请日:2018-07-05
Applicant: 华中科技大学
IPC: C23C16/54 , C23C16/455 , C23C16/46 , C23C16/40 , H01M4/04 , H01M2/14 , H01M10/058
Abstract: 本发明属于新能源材料领域,并公开了采用循环卷绕式原子层沉积设备提高电池稳定性的方法,循环卷绕式原子层沉积设备包括包括加热板、反应喷头组、驱动辊筒和伺服电机,该方法包括以下步骤:(1)将待沉积薄片绕过各驱动辊筒,再用胶布使该待沉积薄片首尾相连形成封闭的环;(2)将待沉积薄片加热到原子层沉积反应所需的温度;(3)反应喷头组对待沉积薄片上被加热的部分进行吹气和喷反应前驱体,在待沉积薄片表面沉积氧化物薄膜。本发明采用原子层沉积技术包覆锂离子电池中的正极、负极和隔膜,解决了锂离子电池正极和负极在充放电过程中的稳定性问题,提高了隔膜的结构强度,防止隔膜破裂导致的电池短路危险,沉积工艺简单,效率高,成本低。
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公开(公告)号:CN104624184A
公开(公告)日:2015-05-20
申请号:CN201310571863.X
申请日:2013-11-15
Applicant: 华中科技大学
IPC: B01J23/34 , B01J23/889 , B01J23/83 , B01D53/94 , B01D53/56
Abstract: 本发明公开了一种用于一氧化氮氧化的催化剂,其特征在于,所述催化剂为莫来石型复合氧化物,化学通式为A1-xA'xB2-yB'yO5,其中,A和A'各自独立地为稀土金属或碱土金属元素中的一种,B和B'各自独立地为过渡族金属元素中的一种,且0≤x≤1,0≤y≤2。该催化剂可以在较宽的温度范围内高效地将一氧化氮催化氧化为二氧化氮,且成本低,具有很好的热稳定性,能长时间保持较高的催化活性,明显提高汽车尾气中氮氧化物的去除效率,且制备方法简单,易于操作,适合大规模工业化应用。
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公开(公告)号:CN119092728A
公开(公告)日:2024-12-06
申请号:CN202411047992.3
申请日:2024-08-01
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于铂碳催化剂改性领域,并具体公开了一种选择性钝化低配位点的铂碳催化剂改性方法及铂碳催化剂,其包括:对初始铂碳催化剂进行还原活化,以充分暴露铂颗粒上的低配位点;使钝化剂前体吸附在暴露的低配位点上,然后通过活化剂使低配位点上的钝化剂前体转化成钝化剂,得到钝化剂修饰的铂碳催化剂前体;将铂碳催化剂前体在还原气氛中热处理,得到铂碳催化剂。本发明可精确抑制铂碳催化剂中铂颗粒低配位点的活性,提高铂碳催化剂稳定性,还可还进一步提高其氧还原反应本征活性,便于规模化应用。
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