公开(公告)号：CN118553672A

公开(公告)日：2024-08-27

申请号：CN202410506269.0

申请日：2024-04-25

Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司

Inventor： 刘瑞强 ,  喻晓 ,  季杰 ,  吴莹莹 ,  李进 ,  李士会 ,  尹聪 ,  陈辉

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明的一种低温静电吸盘，吸附基板上设有吸附电极层，吸附电极层上设有介电层，吸附电极层中设有六相吸附电极，以实现承载物被吸附在介电层上，介电层与承载物之间形成气密空间；吸附基板与冷却基座连接，吸附基板与冷却基座之间设有导电垫圈，吸附基板的圆周面设有导电环，导电垫圈分别与导电环和冷却基座导通，冷却基座连接地线，以导走吸附基板上无用或有害的电荷；冷却基座与外部设备连接，以实现吸盘安装固定；冷却基座中设有冷却组件和背气组件，当静电吸盘在常温或是超低温条件下使用时，冷却组件和背气组件将发挥不同的作用。本发明具有结构紧凑、拆装便捷、温度均匀性高等特点，在低温使用时，降温速率高，还可兼容常温静电吸盘使用。

公开(公告)号：CN117976602A

公开(公告)日：2024-05-03

申请号：CN202410019471.0

申请日：2024-01-05

Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司

Inventor： 刘瑞强 ,  喻晓 ,  赵官源 ,  李进 ,  李士会 ,  陈辉 ,  王晓刚 ,  王璐 ,  王帅 ,  任含玉

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明公开一种高温静电吸盘，包括：加热线圈组件、电极吸附组件、测温组件以及由上至下依次重叠的陶瓷基体、隔热板和水冷基座，当高温静电吸盘处于工作状态时，陶瓷基体处于真空环境，水冷基座处于标准大气压环境；陶瓷基体顶部设有介质层，介质层与承载物接触；电极吸附组件、加热线圈组件和测温组件由上至下依次设置在陶瓷基体内，电极吸附组件与标准大气压环境内的六相电源连接，以实现高温静电吸盘产生吸附力；加热线圈单元与标准大气压环境内的加热控制器连接，以实现高温静电吸盘加热升温；测温组件与标准大气压环境内的温控器连接，以实时监测高温静电吸盘的温度。本发明具有结构紧凑、拆装便捷、稳定可靠、功能全面等优点。

公开(公告)号：CN221860557U

公开(公告)日：2024-10-18

申请号：CN202323571693.3

申请日：2023-12-26

Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司

Inventor： 张冰 ,  季杰 ,  郭森 ,  南晓青 ,  耿冬冬 ,  李进 ,  李士会 ,  陈辉

IPC: G01R27/02 ,  G01R31/52

Abstract: 本实用新型公开了一种排废管道电阻率检测装置及排废管道系统，检测装置包括采集管道、排废检测接口板和排废控制器，所述采集管道安装于排废管道上，所述排废检测接口板安装于所述采集管道上，所述排废检测接口板包括地线接线端E0、电流测试端E1、电流采集端E2和信号输出端J1；所述地线接线端E0接地，所述电流采集端E2与信号输出端J1之间设有惠斯通电桥；所述电流测试端E1和信号输出端J1均与所述排废控制器通讯相连。本实用新型整体结构简单可靠且能实时检测排废管道电阻率，保障产品的工艺要求。

公开(公告)号：CN221860628U

公开(公告)日：2024-10-18

申请号：CN202323647930.X

申请日：2023-12-29

Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司

Inventor： 吴悦 ,  喻晓 ,  郭静 ,  李进 ,  李士会 ,  陈辉

IPC: G01R31/40 ,  H05B3/02 ,  H01J37/317

Abstract: 本实用新型公开了一种离子注入机加热电源的校准装置，包括上位机、加热电源和用于替代高温靶盘的靶盘替代单元；所述靶盘替代单元包括用于替代靶盘盘体的绝缘衬底、电阻单元、电极单元和测温单元；所述电阻单元内嵌于绝缘衬底内，所述电极单元的两端连接电阻单元和加热电源，所述加热电源与所述上位机通讯相连；所述测温单元与上位机通讯相连，用于监测绝缘衬底的温度并发送至上位机。本实用新型具有结构简单、成本低、避免高温靶盘破裂等优点。

公开(公告)号：CN221727509U

公开(公告)日：2024-09-17

申请号：CN202323473321.7

申请日：2023-12-19

Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司

Inventor： 张冰 ,  季杰 ,  刘洪虎 ,  何珍光 ,  郭森 ,  李进 ,  李士会 ,  陈辉

IPC: H01R13/405

Abstract: 本实用新型公开一种高压电连接器及包含其的静电吸附装置，高压电连接器包括外壳，所述外壳的两端分别设有真空灌胶区和常压灌胶区，所述外壳内部设有两端贯穿的通孔，导针通过绝缘填充层固定于外壳的通孔内且伸出通孔的两端，所述导针的两端分别延伸至真空灌胶区和常压灌胶区；所述导针在真空灌胶区内与弹性探针套连接，且弹性探针套延伸至外壳外部；所述导针在常压灌胶区与单芯线缆连接，单芯线缆延伸至外壳外部。本实用新型具有结构紧凑、拆装便捷、稳定可靠、绝缘性能佳等优点，在保证了静电吸附功能正常的同时，又不影响机台的真空度。

公开(公告)号：CN221885064U

公开(公告)日：2024-10-22

申请号：CN202420445953.8

申请日：2024-03-07

Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司

Inventor： 高瑞松 ,  王若愚 ,  尚成国 ,  李进 ,  李士会 ,  陈辉

IPC: H01L21/67

Abstract: 本实用新型公开了一种晶圆非接触式预加热装置，包括预加热腔室、预加热电源和预加热灯具；所述预加热电源和预加热灯具位于预加热腔室外部，所述预加热腔室上设有圆形石英窗，所述预加热灯具正对于所述石英窗；所述预加热电源与预加热灯具相连，用于给预加热灯具提供电源以加热产生热源，并透过石英窗辐射入预加热腔室内的晶圆表面，来实现对晶圆的非接触式加热。本实用新型的整体结构简单、操作便捷，加热速度快，解决了高温注入中晶圆传输前的预加热问题，能大大降低冷片接触热盘时带来的热膨胀和摩擦损伤。