一种施加垂直于悬臂梁的作用力的方法及装置

    公开(公告)号:CN102967510B

    公开(公告)日:2014-11-05

    申请号:CN201210397912.8

    申请日:2012-10-18

    Applicant: 北京大学

    Abstract: 本发明涉及一种施加垂直于悬臂梁的作用力的方法和装置,通过探针台探针向具有曲面探针头的片上力学微探针施加负载力;片上力学微探针通过曲面探针头向悬臂梁施加作用力,同时该片上力学微探针进行转动以使该悬臂梁在弯曲过程中受到的作用力始终垂直于该悬臂梁。本发明在对被测悬臂梁施加作用力的过程中不会产生沿悬臂梁方向上的弹力,也不会产生摩擦力;并且由于力学微探针的缓冲作用使得负载力的施加更稳定,测量结果更准确。

    纳米宽度梁结构的制备方法

    公开(公告)号:CN100478271C

    公开(公告)日:2009-04-15

    申请号:CN200610011781.X

    申请日:2006-04-25

    Applicant: 北京大学

    Abstract: 本发明提供一种纳米宽度梁结构的加工方法,属于纳电子机械系统(NEMS)加工工艺领域。该方法的工艺流程包括:台阶刻蚀、纳米宽度侧墙形成、纳米宽度梁结构形成和纳米宽度梁结构释放四个步骤。本发明能够加工出纳米宽度的梁结构,准确控制梁结构的纳米级厚度,并且梁结构形状规则,工艺流程简单,不使用湿法腐蚀释放,成品率高,重复性好,效率高。

    薄膜气体传感器的制备方法

    公开(公告)号:CN100389508C

    公开(公告)日:2008-05-21

    申请号:CN200410101832.9

    申请日:2004-12-27

    Applicant: 北京大学

    Abstract: 本发明提供一种薄膜气体传感器的制备方法,属于气体传感器工艺技术领域。该方法包括:基片清洗和腐蚀,采用溅射和剥离方法制备铬/铂电极,得到表面平整的带有电极图形的基片;在带有电极图形的基片上使用直流反应磁控技术淀积氧化锡纳米敏感薄膜,并且剥离薄膜敏感材料,使之图形化;高温退火后,划片、封装。由于在表面较平坦的基片上使用直流磁控反应溅射的方法制得氧化锡薄膜,薄膜敏感材料厚度及成分均匀可控、灵敏度高、响应快、一致性好、稳定性好。该制备加工方法对传感器自身的污染小、使用的薄膜材料较少,可降低对环境的污染、与集成电路工艺相兼容,工艺重复性好、适合于批量生产。

    聚合酶链式反应芯片微系统

    公开(公告)号:CN100376683C

    公开(公告)日:2008-03-26

    申请号:CN200510011180.4

    申请日:2005-01-14

    Applicant: 北京大学

    Abstract: 本发明提供一种微型聚合酶链式反应(PCR)芯片系统及其制备方法,涉及生物微机电系统技术领域。该PCR芯片包括若干个用于DNA扩增的阱式反应池,反应池通过若干流道与进出液口连接。在芯片上集成微加热器和微传感器,通过温度循环控制系统进行DNA扩增。可以在该芯片上设置微泵,在反应池入口处设置微阀,用于DNA引物的导入及反应池间的隔离。也可以在上述系统中设置荧光激发光源、荧光探测装置及荧光信号检测分析系统进行PCR产物的荧光在位检测。采用MEMS技术加工技术或微模型制备该芯片系统,该生物芯片系统提供了高通量和快速的DNA扩增手段,并具有便于携带、成本低和性能可靠的优点。

    微型射流泵及其制备方法
    30.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100356071C

    公开(公告)日:2007-12-19

    申请号:CN200410009702.2

    申请日:2004-10-25

    Applicant: 北京大学

    Abstract: 本发明提供了一种微型射流泵及其制备方法,泵体包括驱动结构和抽吸结构,驱动结构是由射流喷嘴和与之相连的驱动腔组成,驱动腔上设有驱动流体人口孔,抽吸结构包括抽吸入口端、抽吸流道和扩散出口,射流喷嘴位于扩散出口处,抽吸流道设在射流喷嘴的两侧,高压驱动气体或液体经过驱动流体人口孔进入驱动腔,在射流喷嘴出口处产生高速射流,同时在其边界处产生涡旋,涡旋卷吸抽吸流道内的流体进入射流,两种不同流速的混合流体共同流入扩散出口。微型射流泵的制备利用MEMS工艺设计,通过两张光刻版就可以实现,泵体材料的可选择范围大、易于和大多数微流体系统集成。

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