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公开(公告)号：CN106976884B
公开(公告)日：2019-09-27
申请号：CN201710051831.5
申请日：2013-02-19
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: C01B33/035
Abstract: 本申请发明涉及一种多晶硅棒的制造方法。在钟形玻璃罩(1)内配置的2对牌坊型的硅芯线(12)之间设置的电路(16)的串联/并联的切换通过开关(S1～S3)来进行。该电路(16)中，从供给低频电流的一个低频电源(15L)、或供给具有2kHz以上的频率的高频电流的一个高频电源(15H)供给电流。若关闭开关(S1)且打开开关(S2)以及(S3)而将2对牌坊型的硅芯线(12)(或多晶硅棒(11))串联连接，并将开关(S4)切换至高频电源(15H)侧，则可以对被串联连结的牌坊型的硅芯线(12)(或多晶硅棒(11))供给2kHz以上的频率的高频电流来进行通电加热。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104066678B
公开(公告)日：2018-05-04
申请号：CN201380006277.9
申请日：2013-02-19
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: C01B33/035 , C23C16/46
CPC classification number: C23C16/46 , C01B33/035 , C23C16/24 , C23C16/4418 , C23C16/50 , C23C16/52
Abstract: 在钟形玻璃罩(1)内所配置的两对牌坊型的硅芯线(12)之间设置的电路(16)的串联/并联的切换是通过开关(S1～S3)进行的。电流从供给低频率电流的一个低频电源(15L)或供给具有2kHz以上的频率的频率可变的高频电流的一个高频电源(15H)被供给到该电路(16)。若关闭开关(S1)且打开开关(S2)以及(S3)从而将两对牌坊型的硅芯线(12)(或多晶硅棒(11))串联连接，并将开关(S4)切换到高频电源(15H)侧，则能够对串联连接的牌坊型的硅芯线(12)(或多晶硅棒(11))供给2kHz以上的频率的高频电流而进行通电加热。
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公开(公告)号：CN102985364B
公开(公告)日：2015-05-20
申请号：CN201180029911.1
申请日：2011-03-07
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: C01B33/035
CPC classification number: F26B5/042 , B08B3/04 , B08B3/10 , C01B33/035 , C23C16/4407 , F26B5/12 , F28G13/00
Abstract: 钟罩具备金属性钟罩(1)和用于设置该钟罩(1)的金属性基板(2)，通过填料(3)使容器内部密闭。在基板(2)上连接压力计(4)、气体导入管路(5)、气体排气管路(6)，使钟罩(1)的内部压力的监测以及气体的导入和排气成为可能。在气体排气管路(6)的路线上设置真空泵(7)，通过该真空泵(7)，以使钟罩的内部压力低于水的蒸气压的方式进行减压。通过该真空泵(7)，以使钟罩的内部压力低于水的蒸气压的方式进行减压，由此有效地进行水分除去，在短时间内结束钟罩的干燥。通过本发明，提供提高钟罩内表面的清洁度从而有助于高纯度多晶硅的制造的技术。
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公开(公告)号：CN104066679A
公开(公告)日：2014-09-24
申请号：CN201380006296.1
申请日：2013-02-19
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: C01B33/035
CPC classification number: C23C16/46 , C01B33/035 , C23C16/24 , C23C16/50
Abstract: 在钟形玻璃罩(1)内配置的2对牌坊型的硅芯线(12)之间设置的电路(16)的串联/并联的切换通过开关(S1～S3)来进行。该电路(16)中，从供给低频电流的一个低频电源(15L)、或供给具有2kHz以上的频率的高频电流的一个高频电源(15H)供给电流。若关闭开关(S1)且打开开关(S2)以及(S3)而将2对牌坊型的硅芯线(12)(或多晶硅棒(11))串联连接，并将开关(S4)切换至高频电源(15H)侧，则可以对被串联连结的牌坊型的硅芯线(12)(或多晶硅棒(11))供给2kHz以上的频率的高频电流来进行通电加热。
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公开(公告)号：CN104066678A
公开(公告)日：2014-09-24
申请号：CN201380006277.9
申请日：2013-02-19
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: C01B33/035 , C23C16/46
CPC classification number: C23C16/46 , C01B33/035 , C23C16/24 , C23C16/4418 , C23C16/50 , C23C16/52
Abstract: 在钟形玻璃罩(1)内所配置的两对牌坊型的硅芯线(12)之间设置的电路(16)的串联/并联的切换是通过开关(S1～S3)进行的。电流从供给低频率电流的一个低频电源(15L)或供给具有2kHz以上的频率的频率可变的高频电流的一个高频电源(15H)被供给到该电路(16)。若关闭开关(S1)且打开开关(S2)以及(S3)从而将两对牌坊型的硅芯线(12)(或多晶硅棒(11))串联连接，并将开关(S4)切换到高频电源(15H)侧，则能够对串联连接的牌坊型的硅芯线(12)(或多晶硅棒(11))供给2kHz以上的频率的高频电流而进行通电加热。
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公开(公告)号：CN104066677A
公开(公告)日：2014-09-24
申请号：CN201380006275.X
申请日：2013-01-29
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: C01B33/035 , C01B33/02
CPC classification number: B66C3/02 , B66F11/00 , C01B33/035
Abstract: 在筒状部件(210)的内周面的彼此相对的两个平面双方设有安全气囊(220A、220B)。在多晶硅棒(11)的获取作业时，将搬出夹具(200)的筒状部件(210)从上方被覆于(一对)多晶硅棒(11)等而收容于内部，如果向安全气囊(220)的内部注入气体使之膨胀，则该安全气囊(220)从与包含牌坊型的两柱部的平面垂直的方向按压多晶硅棒(11)的侧面而保持于筒状部件(210)内。而且，在该保持状态下，将多晶硅棒(11)向反应炉外取出。即使在多晶硅棒(11)产生龟裂，由于来自外部的冲击等被安全气囊(220)吸收，所以也会避免崩塌等。
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