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公开(公告)号:CN1763919A
公开(公告)日:2006-04-26
申请号:CN200510093982.4
申请日:2005-09-01
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/28 , H01L21/768 , H01L21/3205 , H01J9/02
CPC classification number: H01J9/027 , G03F7/0047 , G03F7/405 , H01J2201/3165 , H05K3/105 , H05K2203/1105 , H05K2203/121
Abstract: 提供一种膜图形的制造方法及其应用。在该膜图形的制造方法中,具有在基板表面上形成树脂膜的工序;使上述树脂膜包含导电性膜或半导电性膜的构成成分的工序;在上述树脂膜上照射紫外线的工序;以及将上述树脂膜加热到该树脂的分解温度以上的温度,形成导电性膜或半导电性膜的工序。由此,难于产生树脂的分解残渣而使制造的膜图形的精度及质量得到提高。
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公开(公告)号:CN1763889A
公开(公告)日:2006-04-26
申请号:CN200510099007.4
申请日:2005-08-31
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: C23C18/06 , C23C18/1216 , H01J9/027 , H01J31/127 , H01J2201/3165 , H05K3/105 , H05K2203/0522 , H05K2203/121
Abstract: 提供一种导电性图形,使用它的电子源及图像显示装置的制造方法。在树脂膜中包含含有第一金属成分的液体,通过对该树脂膜进行烧焙,形成导电性膜,在这样的导电性图形的制造方法中,在使树脂膜包含该液体之前,使该液体接触能使该液体中作为夹杂物含有的第二金属成分络合物化的化合物。由此,阻止第二金属成分对树脂中包含的第一金属成分产生的不良影响。
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公开(公告)号:CN1744796A
公开(公告)日:2006-03-08
申请号:CN200510093981.X
申请日:2005-09-01
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: H01J9/027 , H01J31/127 , H01J2201/3165 , H05K3/105 , H05K3/386 , H05K2203/121
Abstract: 提供一种导电性图形的制造方法及其应用。在对含有金属的树脂膜进行烧焙形成导电性部件图形的方法中,烧焙树脂膜之前,将含有金属络合盐、其pH值调整为5~7的液体赋予具有酸性基的树脂膜,使该树脂膜中包含上述金属络合盐的金属成分。由此,可以提供使树脂膜中吸收金属成分的速度高、具有均匀化的均匀特性的导电图形。
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公开(公告)号:CN1487781A
公开(公告)日:2004-04-07
申请号:CN03133092.4
申请日:2003-07-25
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: H01J9/027 , G03F7/0047 , G03F7/405 , H05K3/02 , H05K3/105 , H05K2203/0514 , H05K2203/121
Abstract: 提供一种电极和布线材料吸收用底层图形形成材料、电极和布线形成方法和图像形成装置的制造方法。用电极和布线材料吸收用底层图形形成材料形成底层图形,在该底层图形上吸收有机金属化合物后进行烧制,形成电极和布线。上述电极和布线材料吸收用底层图形形成材料是含有水溶性感光性树脂成分和含包含铑、铋、钌、钒、铬、锡、铅或硅的水溶性金属化合物的水溶液。由此可以容易地形成密合性好的微细的电极和布线图形,且在用于图像形成装置的制造方法时提高该工艺的稳定性。
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