具有三明治结构层的多层复合薄膜及其制备方法与应用

    公开(公告)号:CN115341177A

    公开(公告)日:2022-11-15

    申请号:CN202211011215.4

    申请日:2022-08-22

    Abstract: 本发明公开了一种具有三明治结构层的多层复合薄膜及其制备方法与应用。所述多层复合薄膜包括:依次形成于基体表面的钛粘结层、钛/二硫化钼/陶瓷/软质金属梯度过渡层及三明治结构层;其中,所述三明治结构层为二硫化钼/陶瓷/软质金属纳米多层,所述二硫化钼/陶瓷/软质金属纳米多层包括二硫化钼层、软质金属层及陶瓷层,所述软质金属层作为粘结相均匀分散在二硫化钼层和陶瓷层的界面之间。本发明提供的具有三明治结构层的多层复合薄膜在大气、高湿、高盐雾环境下均展现出优异的摩擦磨损性能,可满足航空航天机械关键运动部件在苛刻环境下的润滑稳定及长寿命服役要求。

    二硫化钼/二硫化钨多层掺钽薄膜及其制备方法与应用

    公开(公告)号:CN111621745B

    公开(公告)日:2021-10-26

    申请号:CN202010716602.2

    申请日:2020-07-23

    Abstract: 本发明公开了一种二硫化钼/二硫化钨多层掺钽薄膜及其制备方法与应用。所述二硫化钼/二硫化钨多层掺钽薄膜包括在其厚度方向上依次层叠的钛过渡层、钛/钽/二硫化钼/二硫化钨多层梯度过渡层和二硫化钼/二硫化钨多层钽掺杂层。所述制备方法包括:采用磁控溅射技术,在基体表面依次沉积钛过渡层、钛/钽/二硫化钼/二硫化钨多层梯度过渡层和二硫化钼/二硫化钨多层钽掺杂层,获得二硫化钼/二硫化钨多层掺钽薄膜。本发明的二硫化钼/二硫化钨多层掺钽薄膜具有良好的基底结合强度、硬度及弹性模量,在大气环境不同温度下均具有良好的摩擦磨损性能、良好温度自适应性能、耐湿热、耐高温氧化性能,能满足航空航天飞行器润滑稳定及长寿命服役要求。

    高熵合金/WC硬质层纳米多层薄膜、其制备方法及应用

    公开(公告)号:CN111485209A

    公开(公告)日:2020-08-04

    申请号:CN202010272907.9

    申请日:2020-04-09

    Abstract: 本发明公开了一种高熵合金/WC硬质层纳米多层薄膜、其制备方法及应用。所述高熵合金/WC硬质层纳米多层薄膜包括在其厚度方向上交替层叠的VAlTiCrCu高熵合金层和WC硬质层,其包含按照原子百分含量计算的如下元素:V 5~10%、Al 5~10%、Ti 5~10%、Cr 10~20%、Cu 10~20%、C 15~25%及W 20~35%。所述制备方法包括:采用磁控溅射技术,以磁控溅射复合靶和WC整体靶为阴极靶材,以保护性气体为工作气体,对基体施加负偏压,在基体表面沉积得到高熵合金/WC硬质层纳米多层薄膜。本发明的高熵合金/WC硬质层纳米多层薄膜具有高硬度、优异的耐磨损及磨蚀性能,可用于海水环境下的基体防护。

    一种二硫化钼/二硼化钨纳米复合多层薄膜及其制备方法与应用

    公开(公告)号:CN117187764A

    公开(公告)日:2023-12-08

    申请号:CN202311162151.2

    申请日:2023-09-08

    Abstract: 本发明提供了一种二硫化钼二硼化钨纳米复合多层薄膜及其制备方法与应用,所述二硫化钼/二硼化钨纳米复合多层薄膜采用非平衡磁控溅射技术,包括在其厚度方向上依次层叠的钛过渡层、钛/二硫化钼/二硼化钨多层梯度过渡层和二硫化钼/二硼化钨多层掺杂层,获得二硫化钼/二硼化钨纳米复合多层薄膜。本发明的二硫化钼/二硼化钨纳米复合多层薄膜具有良好的基底结合强度、硬度以及高的硬/弹比,主体相二硫化钼沿(002)晶面平行基体择优生长,大幅提升了二硫化钼的耐湿热和耐高温氧化性能,在大气常温和高温环境下均展现出优异的摩擦磨损性能,能满足航空航天和核能机械关键部件在苛刻环境下的润滑性能稳定及长寿命服役要求。

    一种高熵合金氮化物复合涂层及其制备方法与应用

    公开(公告)号:CN113025953B

    公开(公告)日:2023-06-23

    申请号:CN202110232344.5

    申请日:2021-03-02

    Abstract: 本发明公开了一种高熵合金氮化物复合涂层及其制备方法与应用。所述高熵合金氮化物复合涂层包括依次形成于基体表面的过渡层和高熵合金氮化物层,所述高熵合金氮化物层的分子式为(AlCrWTiMo)N,所述高熵合金氮化物层表面呈花椰菜状结构,所述高熵合金氮化物层具有非晶‑纳米晶的梯度结构。本发明中的复合涂层采用磁控溅射技术获得,生产工艺可重复性好、沉积速度快、对涂层损伤小,所得涂层纯度高、致密性好、成膜均匀性好、易于实现工业化,可用于高端装备的机械运动部件。

    具有异质界面的耐辐照复合薄膜及其制备方法与应用

    公开(公告)号:CN115404443A

    公开(公告)日:2022-11-29

    申请号:CN202211011353.2

    申请日:2022-08-22

    Abstract: 本发明公开了一种具有异质界面的耐辐照复合薄膜及其制备方法与应用。所述耐辐照复合薄膜包括:依次形成于基体表面的钛过渡层、钛/钨/二硫化钼梯度过渡层及二硫化钼/钨异质多层结构层;其中,所述二硫化钼/钨异质多层结构层包括复数个异质界面;所述二硫化钼/钨异质多层结构层是由二硫化钼层和钨层交替层叠形成的纳米多层涂层。本发明提供的耐辐照复合薄膜中含有大量异质界面结构,二硫化钼沿(002)基面平行于基底生长,大幅提升了薄膜的抗氧化性能,能够耐受航天器约十五年在轨服役的原子氧辐照剂量,且辐照后具有~0.01的超低摩擦系数,适用于低地球轨道空间服役的航天器关键运动部件。

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