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公开(公告)号：CN115404443B
公开(公告)日：2024-05-03
申请号：CN202211011353.2
申请日：2022-08-22
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明公开了一种具有异质界面的耐辐照复合薄膜及其制备方法与应用。所述耐辐照复合薄膜包括：依次形成于基体表面的钛过渡层、钛/钨/二硫化钼梯度过渡层及二硫化钼/钨异质多层结构层；其中，所述二硫化钼/钨异质多层结构层包括复数个异质界面；所述二硫化钼/钨异质多层结构层是由二硫化钼层和钨层交替层叠形成的纳米多层涂层。本发明提供的耐辐照复合薄膜中含有大量异质界面结构，二硫化钼沿(002)基面平行于基底生长，大幅提升了薄膜的抗氧化性能，能够耐受航天器约十五年在轨服役的原子氧辐照剂量，且辐照后具有～0.01的超低摩擦系数，适用于低地球轨道空间服役的航天器关键运动部件。
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公开(公告)号：CN117187764A
公开(公告)日：2023-12-08
申请号：CN202311162151.2
申请日：2023-09-08
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明提供了一种二硫化钼二硼化钨纳米复合多层薄膜及其制备方法与应用，所述二硫化钼/二硼化钨纳米复合多层薄膜采用非平衡磁控溅射技术，包括在其厚度方向上依次层叠的钛过渡层、钛/二硫化钼/二硼化钨多层梯度过渡层和二硫化钼/二硼化钨多层掺杂层，获得二硫化钼/二硼化钨纳米复合多层薄膜。本发明的二硫化钼/二硼化钨纳米复合多层薄膜具有良好的基底结合强度、硬度以及高的硬/弹比，主体相二硫化钼沿(002)晶面平行基体择优生长，大幅提升了二硫化钼的耐湿热和耐高温氧化性能，在大气常温和高温环境下均展现出优异的摩擦磨损性能，能满足航空航天和核能机械关键部件在苛刻环境下的润滑性能稳定及长寿命服役要求。
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公开(公告)号：CN115404443A
公开(公告)日：2022-11-29
申请号：CN202211011353.2
申请日：2022-08-22
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明公开了一种具有异质界面的耐辐照复合薄膜及其制备方法与应用。所述耐辐照复合薄膜包括：依次形成于基体表面的钛过渡层、钛/钨/二硫化钼梯度过渡层及二硫化钼/钨异质多层结构层；其中，所述二硫化钼/钨异质多层结构层包括复数个异质界面；所述二硫化钼/钨异质多层结构层是由二硫化钼层和钨层交替层叠形成的纳米多层涂层。本发明提供的耐辐照复合薄膜中含有大量异质界面结构，二硫化钼沿(002)基面平行于基底生长，大幅提升了薄膜的抗氧化性能，能够耐受航天器约十五年在轨服役的原子氧辐照剂量，且辐照后具有～0.01的超低摩擦系数，适用于低地球轨道空间服役的航天器关键运动部件。
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公开(公告)号：CN110453195B
公开(公告)日：2021-09-28
申请号：CN201810428024.5
申请日：2018-05-07
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
IPC: C23C16/34 , C23C16/40 , C23C16/44 , C23C16/455
Abstract: 本发明公开了一种用于金属表面腐蚀防护的氮化硼复合薄膜、其制法与应用。所述氮化硼复合薄膜包括在其厚度方向上交替层叠的氮化硼膜层和金属氧化物膜层，其中任一金属氧化物膜层包含的金属氧化物颗粒至少均匀分布于相应氮化硼膜层的空位、晶界和褶皱缺陷处，同时还吸附于该相应氮化硼膜层表面。所述制法包括：采用化学气相沉积方法、原子层沉积方法在衬底上交替沉积氮化硼膜层和金属氧化物膜层，从而形成氮化硼复合薄膜。本发明中原子层沉积的金属氧化物膜层可显著降低腐蚀离子的渗透和侵蚀速率；同时，所述氮化硼复合薄膜中多层界面的构筑延长了腐蚀介质的路径，增强了复合薄膜对基底金属的防护效应。
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公开(公告)号：CN112251726B
公开(公告)日：2021-08-13
申请号：CN202011125592.1
申请日：2020-10-20
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明公开了一种二硫化钼基掺杂陶瓷相多元复合薄膜及其制备方法与应用。所述二硫化钼基掺杂陶瓷相多元复合薄膜包括在其厚度方向上依次层叠的钛过渡层、钛/碳化硅/二硫化钼多层梯度过渡层和二硫化钼/碳化硅掺杂层。所述制备方法包括：采用磁控溅射技术，在基体表面依次沉积钛过渡层、钛/碳化硅/二硫化钼多层梯度过渡层和二硫化钼/碳化硅掺杂层，获得二硫化钼/碳化硅复合薄膜。本发明的二硫化钼基掺杂陶瓷相多元复合薄膜具有高硬度(不小于8GPa)及弹性模量，结合力达到20N，真空环境摩擦系数达到0.01，不同湿度环境下均具有良好的摩擦磨损性能、良好温度自适应性能、耐湿热性能，能满足航空航天飞行器润滑稳定及长寿命服役要求。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112251726A
公开(公告)日：2021-01-22
申请号：CN202011125592.1
申请日：2020-10-20
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明公开了一种二硫化钼基掺杂陶瓷相多元复合薄膜及其制备方法与应用。所述二硫化钼基掺杂陶瓷相多元复合薄膜包括在其厚度方向上依次层叠的钛过渡层、钛/碳化硅/二硫化钼多层梯度过渡层和二硫化钼/碳化硅掺杂层。所述制备方法包括：采用磁控溅射技术，在基体表面依次沉积钛过渡层、钛/碳化硅/二硫化钼多层梯度过渡层和二硫化钼/碳化硅掺杂层，获得二硫化钼/碳化硅复合薄膜。本发明的二硫化钼基掺杂陶瓷相多元复合薄膜具有高硬度(不小于8GPa)及弹性模量，结合力达到20N，真空环境摩擦系数达到0.01，不同湿度环境下均具有良好的摩擦磨损性能、良好温度自适应性能、耐湿热性能，能满足航空航天飞行器润滑稳定及长寿命服役要求。
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公开(公告)号：CN119710588A
公开(公告)日：2025-03-28
申请号：CN202411897708.1
申请日：2024-12-20
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 , 宁波杭州湾新材料研究院
Abstract: 本发明公开了一种具有双功能组元结构层的复合薄膜及其制备方法与应用。所述复合薄膜包括依次形成于基体表面的钛过渡层、钛/银/二硫化钼梯度过渡层及双功能组元结构层；其中，所述双功能组元结构层包括二硫化钼/钛‑银双金属复合层，所述二硫化钼/钛‑银双金属复合层是由二硫化钼层和钛‑银双金属层交替层叠形成的，所述钛‑银双金属层中钛、银以非晶和/或纳米晶的形式存在。本发明提供的具有双功能组元结构层的复合薄膜在大气、高湿及高盐雾环境下均展现出优异的摩擦磨损性能，可满足航空航天机械关键运动部件在苛刻环境下的润滑稳定及长寿命服役要求。
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公开(公告)号：CN118957495A
公开(公告)日：2024-11-15
申请号：CN202411025844.1
申请日：2024-07-29
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明公开了一种软金属掺杂二硫化钨基的复合薄膜及其制法与应用。所述复合薄膜包括依次形成于基体表面的钛过渡层、钛/二硫化钨/镍/铜梯度层及二硫化钨/镍/铜层；其中，在沿逐渐远离所述基体的方向上，所述钛/二硫化钨/镍/铜梯度层中钛的含量逐渐减小，二硫化钼的含量逐渐增大，镍的含量逐渐增大，铜的含量逐渐增大；同时所述二硫化钨/镍/铜层是由镍‑二硫化钨层与铜‑二硫化钨层交替层叠形成的。本发明提供的复合薄膜具有高硬度、弹性模量及结合力，高温环境摩擦系数达到0.04，具有更好的热稳定性和抗氧化性，能满足航空航天飞行器润滑稳定及长寿命服役要求。
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公开(公告)号：CN115341177B
公开(公告)日：2023-12-12
申请号：CN202211011215.4
申请日：2022-08-22
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明公开了一种具有三明治结构层的多层复合薄膜及其制备方法与应用。所述多层复合薄膜包括：依次形成于基体表面的钛粘结层、钛/二硫化钼/陶瓷/软质金属梯度过渡层及三明治结构层；其中，所述三明治结构层为二硫化钼/陶瓷/软质金属纳米多层，所述二硫化钼/陶瓷/软质金属纳米多层包括二硫化钼层、软质金属层及陶瓷层，所述软质金属层作为粘结相均匀分散在二硫化钼层和陶瓷层的界面之间。本发明提供的具有三明治结构层的多层复合薄膜在大气、高湿、高盐雾环境下均展现出优异的摩擦磨损性能，可满足航空航天机械关键运动部件在苛刻环境下的润滑稳定及长寿命服役要求。
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公开(公告)号：CN115341177A
公开(公告)日：2022-11-15
申请号：CN202211011215.4
申请日：2022-08-22
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明公开了一种具有三明治结构层的多层复合薄膜及其制备方法与应用。所述多层复合薄膜包括：依次形成于基体表面的钛粘结层、钛/二硫化钼/陶瓷/软质金属梯度过渡层及三明治结构层；其中，所述三明治结构层为二硫化钼/陶瓷/软质金属纳米多层，所述二硫化钼/陶瓷/软质金属纳米多层包括二硫化钼层、软质金属层及陶瓷层，所述软质金属层作为粘结相均匀分散在二硫化钼层和陶瓷层的界面之间。本发明提供的具有三明治结构层的多层复合薄膜在大气、高湿、高盐雾环境下均展现出优异的摩擦磨损性能，可满足航空航天机械关键运动部件在苛刻环境下的润滑稳定及长寿命服役要求。
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