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公开(公告)号：CN104215232A
公开(公告)日：2014-12-17
申请号：CN201310221525.3
申请日：2013-06-05
Applicant: 中国科学院地质与地球物理研究所
IPC: G01C19/567 , G01C25/00
CPC classification number: G01C19/5656 , G01C19/5663
Abstract: 一种MEMS陀螺仪，包括：测量体、与所述测量体相连接的上盖板硅片以及下盖板硅片；所述测量体包括外框架、位于所述外框架内的内框架以及质量块；所述外框架与所述内框架之间通过第一弹性梁相连接；所述质量块与所述内框架通过所述第二弹性梁相连接。所述质量块和内框架之间设置有四组相互对应的梳状耦合结构。所述测量体的上下表面上均键合有带电极的盖板硅片。并与测量体之间形成一电容。本发明通过测量盖板硅片与测量体之间的平板电容的变化来计算出旋转的角速度。本发明具有检测灵敏度、准确度高等特点。
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公开(公告)号：CN104215231A
公开(公告)日：2014-12-17
申请号：CN201310221840.6
申请日：2013-06-05
Applicant: 中国科学院地质与地球物理研究所
IPC: G01C19/5656 , G01C19/5663
CPC classification number: G01C19/5656 , G01C19/5663
Abstract: 一种MEMS高精度谐振梁闭环控制陀螺仪，包括：测量体、上盖板及下盖板，所述测量体包括基座、耦合框、与耦合框相连接的质量块以及位于所述质量块中心的固定块；所述基座以及所述固定块与所述上盖板及所述下盖板相固定连接；所述质量块与所述耦合框通过多个弹性梁相连接；所述质量块与所述固定块之间设置有第一梳状耦合结构；所述耦合框的一侧设置有支撑梁；所述耦合框通过所述支撑梁与所述基座相连接；所述耦合框的侧壁的上部及下部分别设置有谐振梁，所述谐振梁一端与所述耦合框相连接，另一端分别与基座相连接；所述谐振梁与所述基座之间还设置有第二梳状耦合结构；所述谐振梁以及所述第二梳状耦合结构用于检测转动角速度。
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公开(公告)号：CN103675347A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201210357089.8
申请日：2012-09-21
Applicant: 中国科学院地质与地球物理研究所
IPC: G01P15/125 , B81C1/00
Abstract: 一种加速度计，包括：测量体、与所述测量体相连接的上盖板硅片以及下盖板硅片；所述测量体包括框架、位于所述框架内的弹性梁和质量块；所述质量块与所述框架通过多组所述弹性梁相连接，每组所述弹性梁包括两根弹性折叠梁,所述弹性折叠梁以所述质量块的中线为轴对称设置；所述测量体的上下表面上均键合有带电极的盖板硅片。并与测量体之间形成一电容。本加速度计具有检测精确度高、稳定性强、噪声低等优点。
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公开(公告)号：CN103675344A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201210356535.3
申请日：2012-09-21
Applicant: 中国科学院地质与地球物理研究所
IPC: G01P15/125 , B81C1/00
Abstract: 一种加速度计，包括：测量体、与所述测量体相连接的上盖板硅片以及下盖板硅片；所述测量体包括框架、位于所述框架内的活动限位体、弹性梁和质量块；所述活动限位体远离所述框架，并通过连接臂与所述框架相连接；所述质量块与所述活动限位体通过所述弹性梁相连接，每组所述弹性梁包括一根竖梁及四根横梁，每组位于所述竖梁两端的两端横梁与所述活动限位体相连接；位于所述竖梁中部的两根中部横梁与所述质量块相连接。所述测量体的上下表面上均键合有带电极的盖板硅片。并与测量体之间形成一电容。本发明采用了应力隔离设计，具有检测准确度高的特点，并且在芯片封装的过程中，本发明的加速度计结构大大减少了因封装应力而产生变形，提高了本发明的稳定性。此外，本发明的几何形状以及受力振型均为对称结构，因此具有检测准确度高的特点。
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公开(公告)号：CN110346930B
公开(公告)日：2020-08-04
申请号：CN201910771820.3
申请日：2019-08-21
Applicant: 中国科学院地质与地球物理研究所
Abstract: 本发明涉及一种MEMS微镜及MEMS光开关，该MEMS微镜包括：驱动镜面结构，驱动镜面结构位于衬底上，包括两个L型结构，两个L型结构的首尾相对排布，每个L型结构包括第二扭转梁、L型横板和第二梳齿状结构，L型横板的首端下方衬底上设置有第一驱动电极，且该首端通过第二扭转梁支撑旋转，L型横板的尾端上有第二梳齿状结构；微镜镜面层位于驱动镜面结构的上方，第一扭转梁通过衬底固定且用于支撑微镜镜面层的两侧，微镜镜面层上与第二梳齿状结构相对应的两侧分别有第一梳齿状结构，使得对第一驱动电极施加较小的驱动电压时，第一、第二梳齿状结构的正对面积有较大的改变，产生的静电吸引力作用与第一梳齿状结构，使得微镜镜面层转动。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106500682B
公开(公告)日：2019-10-22
申请号：CN201610891762.4
申请日：2016-10-12
Applicant: 中国科学院地质与地球物理研究所
IPC: G01C19/5656 , G01C19/5663
Abstract: 本发明涉及传感器领域，尤其涉及一种MEMS陀螺仪，包括上盖板、测量体以及下盖板，所述测量体设置于所述上盖板及下盖板之间，所述测量体中设置有与所述上盖板以及下盖板相连接的锚点；所述测量体包括相互对称设置的质量块组；每组质量块组包括：驱动质量块、传动质量块以及检测质量块；驱动质量块设置在所述传动质量块中；传动质量块通过连接梁与检测质量块相连接；每组所述质量块组中的驱动质量块与锚点之间形成有驱动梳齿结构；一组质量块组中的检测质量块相连接的检测梳齿与另一组与所述质量块组中的检测质量块相连接的检测梳齿相互交叉，形成所述检测梳齿结构。
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公开(公告)号：CN107389981B
公开(公告)日：2019-07-05
申请号：CN201710423163.4
申请日：2017-06-07
Applicant: 中国科学院地质与地球物理研究所
IPC: G01P15/125
Abstract: 本发明涉及传感器领域，尤其涉及一种转换测量方向的MEMS加速度计及其制造工艺，包括上盖板、器件层以及下盖板；所述器件层包括：锚点、质量块以及连接所述锚点和质量块的弹性梁；所述锚点与所述上盖板以及下盖板相固定；所述质量块的一端连接有弹性梁组，所述弹性梁组包括至少两根对称设置的弹性梁；每根所述弹性梁包括末端和折叠端，所述弹性梁的末端分别与锚点和质量块相连接；每根所述弹性梁的折叠端形成有梳齿结构；两根所述弹性梁上的梳齿结构相互重叠形成加速度检测结构，所述加速度检测结构通过检测所述梳齿结构之间的间距变化来检测加速度；所述梳齿之间的间距变化与所述加速度方向相垂直。
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公开(公告)号：CN105277741B
公开(公告)日：2018-12-07
申请号：CN201410340386.0
申请日：2014-07-16
Applicant: 中国科学院地质与地球物理研究所
IPC: G01P15/125 , B81B3/00 , B81C1/00
Abstract: 一种MEMS横向加速度敏感芯片，包括框架，设置在所述框架内的质量块，以及用于连接所述框架及所述质量块的弹性梁，所述质量块上形成有多个凹陷部及第一连接部，所述框架上形成有第二连接部，所述弹性梁连接所述第一连接部和第二连接部；所述凹陷部上方设置有多组梳齿结构；每组所述梳齿结构包括从所述第一连接部延伸出的活动梳齿以及从所述第二连接部延伸出的固定梳齿；所述活动梳齿与所述固定梳齿之间形成有活动间隙，所述活动间隙形成差分检测电容，本横向加速度敏感芯片有机结合了平板式和梳齿式加速度计的优点，实现同时具有大质量块，大电容，低阻尼，高灵敏度横向加速度计。
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公开(公告)号：CN103675344B
公开(公告)日：2017-12-22
申请号：CN201210356535.3
申请日：2012-09-21
Applicant: 中国科学院地质与地球物理研究所
IPC: G01P15/125 , B81C1/00
Abstract: 一种加速度计，包括：测量体、与所述测量体相连接的上盖板硅片以及下盖板硅片；所述测量体包括框架、位于所述框架内的活动限位体、弹性梁和质量块；所述活动限位体远离所述框架，并通过连接臂与所述框架相连接；所述质量块与所述活动限位体通过所述弹性梁相连接，每组所述弹性梁包括一根竖梁及四根横梁，每组位于所述竖梁两端的两端横梁与所述活动限位体相连接；位于所述竖梁中部的两根中部横梁与所述质量块相连接。所述测量体的上下表面上均键合有带电极的盖板硅片。并与测量体之间形成一电容。本发明采用了应力隔离设计，具有检测准确度高的特点，并且在芯片封装的过程中，本发明的加速度计结构大大减少了因封装应力而产生变形，提高了本发明的稳定性。此外，本发明的几何形状以及受力振型均为对称结构，因此具有检测准确度高的特点。
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公开(公告)号：CN107064555A
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201710140855.8
申请日：2017-03-10
Applicant: 中国科学院地质与地球物理研究所
CPC classification number: G01P15/08 , B81B7/02 , B81C1/00142 , B81C1/00349 , B81C1/00531 , B81C1/00539 , B81C2201/0132 , B81C2201/0133 , G01P2015/0862
Abstract: 本发明涉及传感器领域，尤其涉及一种MEMS加速度计，上盖板、器件层以及下盖板；所述器件层包括：锚点、质量块、解耦梁以及加速度检测结构；所述解耦梁用于连接所述锚点以及所述质量块，所述加速度检测结构轴对称设置在所述质量块中，所述加速度检测结构包括：谐振梁以及驱动电极；所述谐振梁的两侧形成有梳齿；所述谐振梁一侧的梳齿与所述驱动电极相叠加；另一侧的梳齿与所述质量块上的梳齿相叠加；所述驱动电极向所述谐振梁施加电驱动信号，所述加速度检测结构通过检测谐振梁的谐振频率来检测加速度。
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