公开(公告)号：CN107389981B

公开(公告)日：2019-07-05

申请号：CN201710423163.4

申请日：2017-06-07

Applicant: 中国科学院地质与地球物理研究所

Inventor： 李航 ,  于连忠 ,  仇旭萍

IPC: G01P15/125

Abstract: 本发明涉及传感器领域，尤其涉及一种转换测量方向的MEMS加速度计及其制造工艺，包括上盖板、器件层以及下盖板；所述器件层包括：锚点、质量块以及连接所述锚点和质量块的弹性梁；所述锚点与所述上盖板以及下盖板相固定；所述质量块的一端连接有弹性梁组，所述弹性梁组包括至少两根对称设置的弹性梁；每根所述弹性梁包括末端和折叠端，所述弹性梁的末端分别与锚点和质量块相连接；每根所述弹性梁的折叠端形成有梳齿结构；两根所述弹性梁上的梳齿结构相互重叠形成加速度检测结构，所述加速度检测结构通过检测所述梳齿结构之间的间距变化来检测加速度；所述梳齿之间的间距变化与所述加速度方向相垂直。

公开(公告)号：CN107389981A

公开(公告)日：2017-11-24

申请号：CN201710423163.4

申请日：2017-06-07

Applicant: 中国科学院地质与地球物理研究所

Inventor： 李航 ,  于连忠 ,  仇旭萍

IPC: G01P15/125

CPC classification number: G01P15/125 ,  G01P2015/0862

Abstract: 本发明涉及传感器领域，尤其涉及一种转换测量方向的MEMS加速度计及其制造工艺，包括上盖板、器件层以及下盖板；所述器件层包括：锚点、质量块以及连接所述锚点和质量块的弹性梁；所述锚点与所述上盖板以及下盖板相固定；所述质量块的一端连接有弹性梁组，所述弹性梁组包括至少两根对称设置的弹性梁；每根所述弹性梁包括末端和折叠端，所述弹性梁的末端分别与锚点和质量块相连接；每根所述弹性梁的折叠端形成有梳齿结构；两根所述弹性梁上的梳齿结构相互重叠形成加速度检测结构，所述加速度检测结构通过检测所述梳齿结构之间的间距变化来检测加速度；所述梳齿之间的间距变化与所述加速度方向相垂直。