公开(公告)号：CN106500682B

公开(公告)日：2019-10-22

申请号：CN201610891762.4

申请日：2016-10-12

Applicant: 中国科学院地质与地球物理研究所

Inventor： 李航 ,  于连忠 ,  胡宗达

IPC: G01C19/5656 ,  G01C19/5663

Abstract: 本发明涉及传感器领域，尤其涉及一种MEMS陀螺仪，包括上盖板、测量体以及下盖板，所述测量体设置于所述上盖板及下盖板之间，所述测量体中设置有与所述上盖板以及下盖板相连接的锚点；所述测量体包括相互对称设置的质量块组；每组质量块组包括：驱动质量块、传动质量块以及检测质量块；驱动质量块设置在所述传动质量块中；传动质量块通过连接梁与检测质量块相连接；每组所述质量块组中的驱动质量块与锚点之间形成有驱动梳齿结构；一组质量块组中的检测质量块相连接的检测梳齿与另一组与所述质量块组中的检测质量块相连接的检测梳齿相互交叉，形成所述检测梳齿结构。

公开(公告)号：CN107064555A

公开(公告)日：2017-08-18

申请号：CN201710140855.8

申请日：2017-03-10

Applicant: 中国科学院地质与地球物理研究所

Inventor： 胡宗达 ,  李航 ,  于连忠 ,  杨燕

IPC: G01P15/08 ,  B81B7/02 ,  B81C1/00

CPC classification number: G01P15/08 ,  B81B7/02 ,  B81C1/00142 ,  B81C1/00349 ,  B81C1/00531 ,  B81C1/00539 ,  B81C2201/0132 ,  B81C2201/0133 ,  G01P2015/0862

Abstract: 本发明涉及传感器领域，尤其涉及一种MEMS加速度计，上盖板、器件层以及下盖板；所述器件层包括：锚点、质量块、解耦梁以及加速度检测结构；所述解耦梁用于连接所述锚点以及所述质量块，所述加速度检测结构轴对称设置在所述质量块中，所述加速度检测结构包括：谐振梁以及驱动电极；所述谐振梁的两侧形成有梳齿；所述谐振梁一侧的梳齿与所述驱动电极相叠加；另一侧的梳齿与所述质量块上的梳齿相叠加；所述驱动电极向所述谐振梁施加电驱动信号，所述加速度检测结构通过检测谐振梁的谐振频率来检测加速度。

公开(公告)号：CN106500682A

公开(公告)日：2017-03-15

申请号：CN201610891762.4

申请日：2016-10-12

Applicant: 中国科学院地质与地球物理研究所

Inventor： 李航 ,  于连忠 ,  胡宗达

IPC: G01C19/5656 ,  G01C19/5663

Abstract: 本发明涉及传感器领域，尤其涉及一种MEMS陀螺仪，包括上盖板、测量体以及下盖板，所述测量体设置于所述上盖板及下盖板之间，所述测量体中设置有与所述上盖板以及下盖板相连接的锚点；所述测量体包括相互对称设置的质量块组；每组质量块组包括：驱动质量块、传动质量块以及检测质量块；驱动质量块设置在所述传动质量块中；传动质量块通过连接梁与检测质量块相连接；每组所述质量块组中的驱动质量块与锚点之间形成有驱动梳齿结构；一组质量块组中的检测质量块相连接的检测梳齿与另一组与所述质量块组中的检测质量块相连接的检测梳齿相互交叉，形成所述检测梳齿结构。

公开(公告)号：CN107064555B

公开(公告)日：2020-09-04

申请号：CN201710140855.8

申请日：2017-03-10

Applicant: 中国科学院地质与地球物理研究所

Inventor： 胡宗达 ,  李航 ,  于连忠 ,  杨燕

IPC: G01P15/08 ,  B81B7/02 ,  B81C1/00

Abstract: 本发明涉及传感器领域，尤其涉及一种MEMS加速度计，上盖板、器件层以及下盖板；所述器件层包括：锚点、质量块、解耦梁以及加速度检测结构；所述解耦梁用于连接所述锚点以及所述质量块，所述加速度检测结构轴对称设置在所述质量块中，所述加速度检测结构包括：谐振梁以及驱动电极；所述谐振梁的两侧形成有梳齿；所述谐振梁一侧的梳齿与所述驱动电极相叠加；另一侧的梳齿与所述质量块上的梳齿相叠加；所述驱动电极向所述谐振梁施加电驱动信号，所述加速度检测结构通过检测谐振梁的谐振频率来检测加速度。